【真空鍍膜機清洗工藝要求】真空工藝進行前應清洗真空材料,從工件或系統材料表面qing除污染物;真空零部件的表面清洗處理也是非常有必要的,因為由污染物所造成的氣體、蒸氣源不僅會使真空系統不能獲得所要求的真空度。而且由于污染物的存在,同時也會影響真空部件連接處的強度和密封性能。污染物可以定義為“任何一種無用的物質或能量”,根據污染物的物理狀態可分為固體、氣體及液體,它們以膜或散粒形式存在。就其化學特征來看,它可以處于離子態或共價態,可以是無機物或有機物。暴露在空氣中的表面易受到污染,污染的來源有很多種,初的污染通常是表面本身形成過程中的一部分。吸附現象、化學反應、浸析和干燥過程、機械處理以及擴散和離析過程都使各種成分的表面污染物增加。該技術可以應用于多種行業,如電子、光學、醫療、航空航天等,可以提高產品的性能和質量。天津光學薄膜卷繞真空鍍膜廠家
【真空鍍膜真空的基本概念】:真空的劃分:粗真空760Torr~10E&3Torr高真空10E&4Torr~10E&8Torr超高真空10E&9~10E&12Torr極高真空<10E&12Torr流導(導通量):表示真空管道通過氣體的能力,單位為升/秒(L/S)。一般情況下,管道越短,直徑越da,表面越光滑,越直的管道流導也越da。流量:單位時間內流過任意截面的氣體量,單位為Torr·L/s或Pa·L/s。抽氣速率:在一定的壓強和溫度下,單位時間內由泵進氣口處抽走的氣體稱為抽氣速率,簡稱抽速。單位一般為L/S或m3/hr或CFM。極限真空:真空容器經充分抽氣后,穩定在某一真空度,此真空度稱為極限真空。天津光學薄膜卷繞真空鍍膜廠家真空鍍膜機的主要用途?
【卷繞真空鍍膜設備特點】:設備特點:1.濺射源可選直流和中頻濺射2.氣氛隔離設備于不同氣氛濺射段之間3.閉環張力控制避免基材刮傷和褶皺4主輥、副輥兩級冷卻5.渦輪分子泵和深冷捕集泵組合的高真空系統6.薄膜性能在線檢測系統7.高系統的通用性和靈活性8.可鍍金屬、非金屬,膜層牢固度好。【卷繞真空鍍膜設備磁控濺射系統】:1.可選配直流、中流、射頻濺射系統。2.雙濺射系統,可實現膜的雙面同時沉積。3.可旋轉磁控管,比較大涂層寬度為2000毫米,可能的襯底輥直徑為500毫米,是高生產率的基礎。相鄰工藝段之間的可選氣體分離允許在一個過程中沉積各種各樣的金屬和電介質層。4.配備各種原位傳感器,用于連續、準確地監測所需的物理層特性,如層電阻率、反射率或透射比。
【真空鍍膜機清洗工藝之放電清洗】利用熱絲或電極作為電子源,在其相對于待清洗的表面加負偏壓可以實現離子轟擊的氣體解吸及某些碳氫化合物的去除。清洗效果取決于電極材料、幾何形狀及其與表面的關系。即取決于單位表面積上的離子數和離子能量,從而取決于有效電功率。在真空室中充入適當分壓力的惰性氣體(典型的如Ar氣),可以利用兩個適當的電極間的低壓下的輝光放電產生的離子轟擊來達到清洗的目的。該方法中,惰性氣體被離化并轟擊真空室內壁、真空室內的其它結構件及被鍍基片,它可以使某些真空系統免除被高溫烘烤。如果在充入的氣體中加入氧氣,對某些碳氫化合物可以獲得更好的清洗效果。因為氧氣可以使某些碳氫化合物氧化生成易揮發性氣體而容易被真空系統排除。不銹鋼高真空和超高真空容器表面上雜質的主要成分是碳和碳氫化合物。一般情況下,其中的碳不能單獨揮發.經化學清洗后,需要引入Ar或Ar+O2混合氣體進行輝光放電清洗,使表面上的雜質和由于化學作用被束縛在表面上的氣體得到qing除。真空鍍膜機的生產廠家。
【真空鍍膜機檢漏之氣壓檢漏】氣壓檢漏被檢零部件內腔充以氣體(一般為空氣),充氣壓力的高低視零部件的強度而定,一般為(2~4)×105帕。充壓后的零部件如發出明顯的嘶嘶聲,音響源處就是漏孔位置。用這種方法可檢較小漏率為5帕·升/秒的漏孔。如不能用聲音直接察覺漏孔,則用皂液涂于零部件可疑表面處,有氣泡出現處便是漏孔位置。用這種方法較小可檢漏率為5×10-3帕·升/秒的漏孔。此外,還可將充氣的零部件浸在清凈的水槽中,氣泡形成處便是漏孔位置。用水槽顯示漏孔,方便可靠,并能同時全部顯示出漏孔位置。如氣泡小、成泡速度均勻、氣泡持續時間長,則為×10-2~13帕·升/秒漏率的漏孔。如氣泡da、成泡持續時間短,則為13~103帕·升/秒漏率的漏孔。真空鍍膜機詳細鍍膜方法。四川金屬化鍍膜卷繞真空鍍膜制造生產廠家
真空鍍膜機為什么會越來越慢?天津光學薄膜卷繞真空鍍膜廠家
【真空鍍膜機清洗工藝之真空加熱清洗】將工件放置于常壓或真空中加熱.促使其表面上的揮發雜質蒸發來達到清洗的目的,這種方法的清洗效果與工件的環境壓力、在真空中保留時間的長短、加熱溫度、污染物的類型及工件材料有關。其原理是加熱工件.促使其表面吸附的水分子和各種碳氫化合物分子的解吸作用增強。解吸增強的程度與溫度有關。在超高真空下,為了得到原子級清潔表面,加熱溫度必高于450度才行.加熱清洗方法特別有效。但有時,這種處理方法也會產生副作用。由于加熱的結果,可能發生某些碳氫化合物聚合成較da的團粒,并同時分解成碳渣。天津光學薄膜卷繞真空鍍膜廠家