【真空鍍膜設備設計原則及常用技術指標】真空設備設計原則:(1)先功能,后結構。先給出指標參數、生產要求、功能;(2)先核xin后輔助。由內向外。先決定靶尺寸、靶基距;(3)先局部,后整體。再由整體,定局部。(4)先設計,后校核。由粗到細。鍍膜機常用技術指標:鍍膜方法:CVD,PVD(蒸發、濺射、離子鍍、復合鍍);被鍍工件的形狀、尺寸;工件架尺寸;真空室尺寸;生產方式:連續、半連續、周期式。生產周期。生產量。生產速率。技術參數;設備極限真空度、工作本底真空度工作真空度、工作氣氛;漏率、抽空時間、恢復真空時間。工作(烘烤)溫度;(熱處理爐、凍干機)膜厚不均勻程度;功率;高電壓。成都真空鍍膜機的生產廠家。四川離子束清洗射頻離子源
【真空鍍膜機鍍塑料件時抽真空時間過長是什么原因?】(1)真空室有漏氣現象:da家都知道,真空蒸發鍍膜機是的基本條件是工件在真空狀態下才能進行鍍膜加工的,若真空室有漏氣現象而沒有經過檢漏找出漏氣位置,則真空鍍很長時間都不能抽得上來的;(2)即使真空室沒有漏氣,因為塑料產品的放氣量da,所以抽真空,特別是高真空很難達到。真空室內太臟放氣,而且由于塑料產品的放氣,造成真空室內鍍膜氣體的不純,有雜氣的存在,造成鍍膜產品的顏色發暗,發黃,發黑等。(3)也許是真空機組的抽氣能力不夠了,油被污染或氧化了。上海離子束輔助沉積射頻離子源制造生產射頻離子源是一種高能離子源,可用于各種科學研究和工業應用。
【如何減少真空鍍膜的灰塵】1、使用的源材料要符合必要的純度要求。2、樣品取出后放置環境要注意清潔的問題。3、鍍膜一段時間后,真空室內壁必須要清潔處理。4、清洗襯底材料,必須要做到嚴格合乎工藝要求。5、工作人員有專門的服裝,操作要戴手套、腳套等。6、適當的增加環境的濕度,有利于降低周圍環境的懸浮固體顆粒物。7、技術上明確允許的較da顆粒尺寸和單位面積顆粒物的數量的上限da致是多少。8、室內空氣流動性低、地面干凈,如果是裸露的水泥地,需要覆蓋處理。墻壁、屋頂不能使用一般的灰質涂料粉刷。
達到修正面形誤差的目的,其加工精度達到納米級。射頻(rf)離子源采用磁感應產生等離子體,因此是無極放電,放電室內鎢燈絲作為陰極,鎢燈絲可在反應氣體中長時間工作,**降低了對離子束帶來的污染。由于射頻感應產生的等離子體中只有單電荷離子而幾乎沒有雙電荷離子,因此使屏柵濺射引起的污染尤為小,同時也增加了離子束的均勻性。rf射頻離子源采用特殊的三柵離子光學系統,既提高了拔出效率,又保證了結構的熱穩定性及防污染的可靠性。離子源工作時,氣體通過石英放電室,通過,離化氣體產生等離子體。帶電粒子經由靜電場加速,控制離子束電壓,增大放電室功率,提高放電等離子體濃度,在經過離子三柵光學系統的聚焦加速形成一定能量的離子束。現有技術中的射頻離子源離子束束徑是通過位于離子源內部的三級柵網設計的位置及形狀進行調節的,調節時需要反復更換柵網以實現束徑調節,調節效率低,同時,現有的柵網均為曲面柵網,如圖1所示,從而使得加工制造較為困難,并且很難保證曲面弧度及孔徑的加工精度,加工成本高。技術實現要素:鑒于上述問題,本發明的目的在于提供一種束徑調節方便的射頻離子源離子束束徑約束器。真空鍍膜機該如何維修。
【不同類型鍍膜機應用范圍介紹】不同類型鍍膜機的適用范圍介紹1.磁控濺射鍍膜設備:應用于信息存儲領域,如磁信息存儲、磁光信息存儲等2.磁控濺射鍍膜機:應用于防護涂層,如飛機發動機的葉片、汽車鋼板、散熱片等3.磁控濺射鍍Al膜生產線:應用于太陽能利用領域,如太陽能集熱管、太陽能電池等4.AZO透明導電膜磁控濺射鍍膜生產線:應用于信息顯示領域,如液晶屏、等離子屏等5.觸摸屏連續式鍍膜生產線:應用于觸摸屏領域,如手機、電腦、MP4等數碼產品屏幕等。6.磁控中頻多弧離子鍍膜設備:應用于硬質涂層,如切削工具、模具和耐磨耐腐蝕零件等。7.PECVD磁控生產線:應用于集成電路制造,如薄膜電阻器、薄膜電容器、薄膜溫度傳感器等。8.蒸發式真空鍍膜設備:應用于在裝飾飾品上,如手機殼、表殼、眼鏡架、五金、小飾品等鍍膜。9.低輻射玻璃鍍膜生產線:應用于建筑玻璃方面,如陽光控制膜、低輻射玻璃、防霧防露和自清潔玻璃等。10.抗反射導電膜連續磁控濺射生產線:應用于電子產品領域,如液晶顯示器、液晶電視、MP4、車載顯示、手機顯示、數碼相機和掌上電腦等。真空鍍膜機故障解決方法?山西離子束濺射射頻離子源制造生產
真空鍍膜機抽真空步驟。四川離子束清洗射頻離子源
【真空鍍膜機之輔助抽氣系統】真空腔各部分有連接閥,用來連接各抽氣泵浦。輔助抽氣系統:排氣系統為鍍膜機真空系統的重要部分,主要有由機械泵、增壓泵(主要介紹羅茨泵)、油擴散泵三da部分組成。此排氣系統采用“擴散泵+機械泵+羅茨泵+低溫冷阱+polycold”組成。排氣流程為:機械泵先將真空腔抽至小于2.0*10-2PA左右的低真空狀態,為擴散泵后繼抽真空提供前提,之后當擴散泵抽真空腔的時候,機械泵又配合油擴散泵組成串聯,以這樣的方式完成抽氣動作。四川離子束清洗射頻離子源