【真空鍍膜之磁控濺射】在陰極靶表面形成一正交電磁場,在此區電子密度高,進而提高離子密度,使得濺鍍率提高(一個數量級),濺射速度可達0.1—1um/min膜層附著力較蒸鍍佳,是目前實用的鍍膜技術之一。其它有偏壓濺射、反應濺射、離子束濺射等鍍膜技術濺鍍機設備與工藝濺鍍機由真空室,排氣系統,濺射源和控制系統組成。濺射源又分為電源和濺射qiang(sputtergun)。磁控濺射qiang分為平面型和圓柱型,其中平面型分為矩型和圓型,靶材料利用率30-40%,圓柱型靶材料利用率>50%濺射電源分為:直流(DC)、射頻(RF)、脈沖(pulse),直流:800-1000V(Max)導體用,須可災弧。射頻:13.56MHZ,非導體用。脈沖:泛用,新發展出卷繞真空鍍膜可以實現多層膜的堆疊,從而實現不同的功能,如防反射、增透、隔熱、防腐等。成都光學薄膜卷繞真空鍍膜定制化設計制造
【真空鍍膜設備維修保養技術】一、當鍍膜設備工作完成到兩百個鍍膜的時候,拆出密封圈,及時清潔設備環境(室內環境)。如何清潔保養?首先我們要使鍍上去的膜層掉落,同時釋放氫氣,清洗過程中要注意所使用到的溶液會灼傷人體的皮膚,所以通常我們要小心謹慎用堿飽和溶液不斷來回清洗真空適合內部(內壁),再用清水洗刷真空室,并通過抹布沾上汽油擦拭抽閥里面的污漬。二、當閥泵連續工作一個月之后,為保持設備的正常運轉我們需要更換油。將泵啟動,擰開放油螺栓,使泵內的舊油完全排放出來。擰回放油螺栓,觀察油視鏡倒入新油加到一定額度,平常換油時應將油蓋打開,有需要時用布擦干凈箱內污垢。三、擴散泵連續使用6個月以上,抽的速度會顯然變慢,當操作不當應拆去聯結水管,卸下電爐盤,將一級噴嘴擰出,先用汽油將泵腔及泵膽清洗一遍,再用洗衣粉兌水清洗一遍,然后用清水徹底清洗干凈,待水份揮發干以后,裝好泵膽,加入新擴散泵油,并裝回機體,接好水管,裝好電爐盤,便可以重新開機。在重新開機前,要注意檢漏工作。首先啟動維持泵,關好da門,數分鐘后,觀察擴散泵部分真空度是否達到標準,否則要進行檢漏。檢查聯接處的密封圈是否正常。陜西光學鍍膜卷繞真空鍍膜制造生產廠家卷繞真空鍍膜是一種高效、環保的表面處理技術,可以在各種材料上形成均勻、致密的薄膜。
【真空鍍膜機真空檢漏方法之靜態升壓法】靜態升壓法屬于真空檢漏法中的一種,也是簡單易行的真空系統檢漏方法,因為它不需要用額外特殊的儀器或者特殊物質,通過測量規管就可以檢測真空系統的總漏率,從而確定真空系統或部件是否滿足工作要求。雖然勝在簡單,但也存在局限。如果真空系統或容器存在漏孔的話,靜態升壓法是無法確定漏孔所在的。因此在確定系統是否有漏孔的同時還需要確定其位置的話,就需要配合其他方法來進行了。靜態升壓法的操作只要將被檢容器抽空至相應的壓力范圍,再關閉閥門,隔離真空泵與真空容器,然后用真空計測量記錄真空容器中壓力隨時間的變化過程,即可得出泄漏數據。《真空系統抽氣達不到工作壓力有哪些原因》中,螺桿真空泵廠家介紹的判斷方法即是通過靜態升壓法實現的,比較方便。當然在應用過程中,要提高準確性就要減少其他因素干擾,需要在檢測之前對容器進行凈化清洗并烘干,或者用氮氣進行沖洗。更嚴格一點可以在測量規管與容器之間設置冷阱,處理釋放的可凝氣體,而對可能存在的漏孔所漏進的空氣不會造成影響。
【真空鍍膜之電解拋光】電拋光是一種電化學過程,其中浸沒在電解質中的工件的原子轉化成離子,并由于電流的通過而從表面移除,從而達到工件表面除去細微毛刺和光亮度增da的效果。適用材料:多數金屬都可以被電解拋光,其中常用于不銹鋼的表面拋光(尤其適用于奧氏體核級不銹鋼)。2.不同材料不可同時進行電解拋光,甚至不可以放在同一個電解溶劑里。工藝成本:電解拋光整個過程基本由自動化完成,所以人工費用很低。環境影響:電解拋光采用危害較小的化學物質,整個過程需要少量的水且操作簡單,另外可以延長不銹鋼的屬性,起到讓不銹鋼延緩腐蝕的作用。離子真空鍍膜機是什么?
【真空鍍膜機沖洗工藝之反應氣體沖洗】這種方法特別適用于da型超高不銹鋼真空系統的內部洗(去除碳氫化合物污染)。通常對于某些da型超高真空系統的真空室和真空元件,為了獲得原子態的清潔表面,消除其表面污染的標準方法是化學清洗,真空爐焙燒、輝光放電清洗及原能烘烤真空系統等方法。以上的清洗和除氣方法常用于真空系統安裝前及裝配期間。在真空系統安裝后(或系統運行后),由于真空系統內的各種零部件已經被固定,這時對它們進行除氣處理就很困難,一旦系統受到(偶然)污染(主要是da原子數的分子如碳氫化合物的污染),通常要拆卸后重新處理再安裝.而用反應氣體工藝,可以進行原位在線除氣處理.有效地除去不銹鋼真空室內的碳氫化合物的污染.其清洗機理:在系統中引述氧化性氣體(O2、N0)和還原性氣體(H2、NH3)對金屬表面進行化學反應清洗,消除污染,以便獲得原子態的清潔金屬表面。表面氧化/還原的速率取決于污染的情況及金屬表面的材質,表面反應速率的da小通過調整反應氣體的壓力和溫度來控制。對于每一種基材而言,精確的參數要通過實驗來確定.對于不同的結晶取向,這些參數是不同的。真空鍍膜機使用時,需要注意哪些問題?河北鍍鋁復合膜卷繞真空鍍膜
真空鍍膜機抽真空步驟。成都光學薄膜卷繞真空鍍膜定制化設計制造
【真空鍍膜機操作工藝流程】首先開水、電、氣→總電源→開維持泵→開擴散泵加熱→開粗抽泵→開預抽閥→關預抽閥→開粗抽閥→開羅茨泵→如有離子轟擊,開轟擊30秒,關轟擊→開真空計→當真空到,關粗抽閥→開前置閥→開精抽閥,當真空達到7x10-3pa,開轉架→開始鍍膜操作→鍍膜完畢后,關閉真空計、離子源→關精抽閥,前置閥→關羅茨泵→開抽氣閥,取件→上料,反復開始操作。特別注意:1.設備停用時,鍍膜室要保持真空狀態,減少內表面氣體的吸附,防止氧化。2.冷卻水通道場下才能對擴散泵進行加熱,未經充分冷卻的泵不得與da氣接觸,防止氧化。3.要保證機器內擴散泵和機械泵的油定期檢查和更換。4.設備運行中遇有停電或其它事故發生,須先停擴散泵,關精抽閥,前置閥和真空計。5.產品做完下班后,關了擴散泵后須待溫度降低至60℃后才能關維持泵。成都光學薄膜卷繞真空鍍膜定制化設計制造