該宣泄孔121的上孔徑a1與下孔徑a2亦不相等,且該上孔徑a1小于該下孔徑a2,或該宣泄孔121由該第二擋板12的下表面122朝向上表面123的方向漸縮,以維持毛細現象而避免該藥液51滴入該基板20上而造成蝕刻不均的問題。當該風刀裝置40的***風刀41與該第二風刀42為了減少該基板(本圖式未標示)上所殘留的藥液51而吹出該氣體43時,該氣體43碰到該擋液板結構10后部分會往該復數個宣泄孔121流動,并朝向該第二擋板12的該上表面123宣泄而出(如圖10與圖11所示),除了保有原有擋液板的防止該藥液51噴濺而造成的顯影不均現象,亦可達到避免該氣體43在該基板20附近形成渦流而造成真空吸引問題;為了必須避免由該噴灑裝置50噴灑而出的藥液51滴入該基板20上而造成蝕刻不均的問題,故該復數個宣泄孔121的孔徑a0必須要足夠小,例如:孔徑a0小于3mm,即可因毛細現象的作用,亦即該水滴于該宣泄孔121孔洞內的夾角θ等于該水滴與該第二擋板12的該上表面123所夾的接觸角θ4,而達到防止位于該第二擋板12上表面的藥液51水滴經由該復數個宣泄孔121滴下至該基板20上(如圖12所示)。另請參閱圖13所示,為本實用新型蝕刻設備的蝕刻方法的步驟流程圖,其中本實用新型蝕刻設備的蝕刻方法主要包括有下列步驟。鋁蝕刻液的配方是什么?綿陽ITO蝕刻液蝕刻液按需定制
在上述硅烷系偶聯劑的含量處于上述含量范圍內的情況下,能夠調節添加劑本身凝膠化,且獲得合適的sio2防蝕和sin蝕刻性能。(c)水本發明的蝕刻液組合物中所包含的上述水可以為用于半導體工序的去離子水,推薦使用18mω/㎝以上的上述去離子水。上述水的含量可以為使包含本發明的必須成分以及除此以外的其他成分的組合物總重量成為100重量%的余量。推薦可以按照本發明的組合物總重量的2~45重量%來包含。<選擇添加劑的方法、由此選擇的添加劑及利用其的蝕刻方法>此外,本發明提供選擇用于在包含氧化物膜和氮化物膜的膜中*對上述氮化物膜選擇性蝕刻的蝕刻液組合物的添加劑的方法、由此選擇的添加劑以及利用該添加劑的蝕刻方法。上述蝕刻液組合物中說明的、對于添加劑選擇等的一切內容均可以同樣地應用于本發明的選擇用于在包含氧化物膜和氮化物膜的膜中*選擇性蝕刻上述氮化物膜的蝕刻液組合物的添加劑的方法、由此選擇的添加劑以及利用該添加劑的蝕刻方法。具體而言,提供選擇用于在包含氧化物膜和氮化物膜的膜中*選擇性蝕刻上述氮化物膜的蝕刻液組合物的硅烷系偶聯劑的方法、由此選擇的硅烷系偶聯劑以及包含該硅烷系偶聯劑的蝕刻方法。深圳BOE蝕刻液蝕刻液什么價格蝕刻液的價格哪家比較優惠?
本實用新型涉及一種鋁蝕刻液生產設備。背景技術:鋁蝕刻液生產設備主要包括混合罐、過濾器和儲存罐,將蝕刻液中的各組份在混合罐混合均勻,由過濾器濾去雜質后投入儲存罐中暫存,然后分裝銷售。以往,鋁蝕刻液的分裝由人工操作,隨著自動化技術的興起,全自動灌裝線在鋁蝕刻液生產企業得到廣泛應用,但是,我司的鋁蝕刻液生產車間面積較小,無法放置自動灌裝線,所以需要對現有的生產設備進行改造,以實現鋁蝕刻液的全自動灌裝。技術實現要素:本實用新型提出了一種鋁蝕刻液生產設備,以解決上述背景技術中提出的問題。為達前述目的,本實用新型提供的技術方案如下:鋁蝕刻液生產設備,包括混合罐、過濾器、數個儲存罐、數輛液壓升降式拖車和地磅,所述混合罐通過液管與所述過濾器連接,所述過濾器的出液口處安裝有氣動升降式出液管,每個所述儲存罐固定在對應的拖車頂部,所述儲存罐的進液口和出液口處安裝有單向液動閥,所述地磅位于所述過濾器的下方,所述地磅的頂部設置有將所述拖車固定的氣動夾緊機構。在本技術方案中,載有空儲存罐的拖車置于地磅上方,過濾器的出液管自動下行插入儲存罐的進液口中,當地磅所測得的重量達到系統預設重量時。
使硝酸鉀儲罐21和其它儲罐的內部形成一個密閉的空間,避免環境外部的雜質進入儲罐內,有效的提高了裝置使用的密封性;緊接著,將磷酸與醋酸在個攪拌倉23中充分攪拌混合均勻,然后在第二個攪拌倉23中與硝酸充分攪拌混合均勻后,再進入配料罐中混合,將陰離子表面活性劑和聚氧乙烯型非離子表面活性劑在第三個攪拌倉23混合后再進入第四個攪拌倉23中,與氯化鉀、硝酸鉀、去離子水一起在第四個攪拌倉23中混合均勻,然后過濾后封裝,先檢查過濾板26進行更換或安裝,過濾部件9的內部兩側嵌入連接有過濾板26,常規的生產方法是將蝕刻液中的各組份在同一容器中一起混合,其分散混合性能差,蝕刻液雜質含量多,過濾板26能將蝕刻液內部的雜質進行過濾,使制備出的蝕刻液的雜質被過濾板26過濾出,得到不含雜質的蝕刻液,避免多種強酸直接共混有效的減小了蝕刻液制備的安全隱患;,通過過濾部件9將蝕刻液進行過濾,過濾部件9設置有一個,過濾部件9設置在連接構件11的內側,過濾部件9與連接構件11固定連接,過濾部件9能將制備出的蝕刻液進行過濾,且過濾部件9能將內部的過濾板26進行拆卸更換,將過濾部件9的內部進行清洗,在將過濾部件9進行連接安裝時,將滑動蓋24向外側滑動。什么制程中需要使用蝕刻液。
裝置主體1的頂部另一端固定連接有硝酸鉀儲罐21,裝置主體1的內部中間部位固定連接有連接構件11,裝置主體1的內部底部中間部位固定連接有常閉式密封電磁閥10,連接構件11的內側固定連接有過濾部件9,裝置主體1的內部底端另一側固定連接有收集倉8,收集倉8的另一側底部固定連接有密封閥門7,過濾部件9的頂端兩側活動連接有滑動蓋24,過濾部件9的內部中間兩側固定連接有收縮彈簧管25,連接構件11的內側兩端嵌入連接有螺紋管27,連接構件11的內部中間兩側活動連接有活動軸28,連接構件11的內側中間兩側嵌入連接有密封軟膠層29。推薦的,硝酸鉀儲罐21的頂部嵌入連接有密封環22,在將制備蝕刻液儲罐加入制備材料的時候,需要將儲罐進行密封,密封環22能將硝酸鉀儲罐21和其他儲罐的頂蓋與儲罐主體連接的位置進行密封,使硝酸鉀儲罐21和其它儲罐的內部形成一個密閉的空間,避免環境外部的雜質進入儲罐內,有效的提高了裝置使用的密封性。推薦的,連接構件11的兩側嵌入連接有海綿層12,在使用裝置制備蝕刻液的時候,需要通過連接構件11將裝置主體1內部的部件進行連接,在旋轉連接構件11的兩側時,操作人員的手會與連接構件11接觸,海綿層12可以將操作人員手上的水分進行吸收。哪家公司的蝕刻液是比較劃算的?綿陽ITO蝕刻液蝕刻液按需定制
蝕刻液的發展趨勢如何。綿陽ITO蝕刻液蝕刻液按需定制
更推薦滿足。參照圖4,在添加劑(硅烷系偶聯劑)的aeff處于,能夠使因副反應氧化物的殘留時間變長而氮化物膜未被完全去除的不良**少化,在硅烷系偶聯劑的aeff處于,能夠使氧化物膜損傷不良**少。因此,在利用上述范圍所重疊范圍(規格(spec)滿足區間)即aeff為2以上,能夠使因副反應氧化物的殘留時間變長而氮化物膜未被完全去除的不良以及氧化物膜損傷不良**少化。在上述添加劑的aeff值處于上述范圍內的情況下,上述添加劑可以具有適宜水平的防蝕能力,由此,即使沒有消耗費用和時間的實際的實驗過程,也能夠選擇具有目標防蝕能力的硅烷系偶聯劑等添加劑。本發明的上述硅烷系偶聯劑等添加劑推薦按照保護對象膜(氧化物膜)的蝕刻程度(etchingamount,e/a)滿足以上以下的范圍的濃度來添加。例如,對于包含氧化物膜(例如,sio2)和上述氧化物膜上的氮化物膜(例如,sin)的膜在160℃以添加劑濃度1000ppm基準處理10,000秒的情況下,推薦按照保護對象膜的蝕刻程度(etchingamount,e/a)滿足以上以下的范圍的濃度添加。本發明的添加劑的防蝕能力可以通過上述添加劑的aeff值與濃度之積來計算,由蝕刻程度(etchingamount,e/a)來表示。蝕刻程度的正的值表示蝕刻工序后厚度增加。綿陽ITO蝕刻液蝕刻液按需定制
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