通過滑動蓋24上的凸塊在過濾部件9內部頂端內壁的滑槽進行滑動,將過濾板26插入過濾部件9內部兩側的固定槽內,收縮彈簧管25設置有四處,分別設置在兩滑動蓋24的內側前面和后面,再通過收縮彈簧管25的彈力將滑動蓋24向內活動,使過濾部件9內部空間進行密封,有效的提高了裝置連接安裝的便利性。推薦的,連接構件11設置有十四個,連接構件11設置在攪拌倉23的底部,連接構件11與攪拌倉23固定連接,連接構件11能將裝置主體1內部的兩個構件進行連接并固定,且在將兩構件進行連接或拆卸的時候,不需要使用任何工具就能完成安裝和拆卸工作,在將兩構件的連接管放在連接構件11的兩端,再通過連接管與連接構件11內側兩端的螺紋管27進行連接,通過轉動連接構件11的兩側部位,同時使連接管與連接構件11的中間位置固定住,通過活動軸28的作用,使連接管通過連接有的螺紋向內來連接,使連接管將密封軟膠層29進行擠壓,使兩構件的連接管進行密封連接,有效的提高了裝置連接的實用性。工作原理:首先檢查連接構件11的完整性,連接構件11的兩側嵌入連接有海綿層12,在使用裝置制備蝕刻液的時候,需要通過連接構件11將裝置主體1內部的部件進行連接,在旋轉連接構件11的兩側時。蝕刻液的主要成分是什么?廣州銀蝕刻液蝕刻液生產
負的值表示厚度減小。上述蝕刻液組合物以在包含氧化物膜和氮化物膜的膜中*選擇性蝕刻上述氮化物膜為特征,上述氧化物膜推薦包含sio2,上述氮化物膜推薦包含sin。上述蝕刻液組合物用于3dnand閃存制造工序,能夠使上述氮化物膜去除工序中發生的副反應氧化物的殘留和氧化物膜損傷不良問題**少化。本發明的蝕刻液組合物包含如上選擇的添加劑,在包含氧化物膜和氮化物膜的膜中*選擇性蝕刻氮化物膜時,能夠使因副反應氧化物的殘留時間變長而氮化物膜未被完全去除的不良(參照圖2)以及氮化物膜雖被完全去除但也造成氧化物膜損傷(damage)的工序不良(參照圖3)的發生**少化。因副反應氧化物的殘留時間變長而氮化物膜未被完全去除的不良在添加劑的防蝕能力強于適宜水平時發生,氧化物膜不良在添加劑的防蝕能力弱于適宜水平時發生。以下,對于本發明的蝕刻液組合物中所包含的磷酸、作為添加劑的硅烷(silane)系偶聯劑以及進行更詳細的說明。(a)磷酸本發明的蝕刻液組合物中所包含的上述磷酸(phosphoricacid)作為主氧化劑可以在使氮化物膜氧化時使用。相對于組合物總重量,上述磷酸的含量為50~95重量%,推薦為80~90重量%。在上述磷酸的含量處于上述含量范圍內的情況下。四川市面上哪家蝕刻液費用蘇州性價比高的蝕刻液。
本發明涉及回收處理技術領域,具體為一種廢銅蝕刻液的回收處理裝置。背景技術:廢銅蝕刻液含有可回收的金屬,所以需要進行回收處理,目前通用的做法是,使用化學方法回收廢液內的銅,或提煉成硫酸銅產品,工藝落后,銅回收不徹底,處理的經濟效益不明顯,有二次污染污染物排放,一旦處理不當往外排放,勢必對水體生態系統造成大的沖擊。市場上的廢銅蝕刻液的回收處理裝置只能簡單的對蝕刻液進行回收處理,不能對蝕刻液進行循環電解,使得剩余蝕刻液中的銅離子轉化不充分,而且蝕刻液導入到電解池中會對電解池造成沖擊,進而影響電解池的使用壽命,并且在回收處理中會產生有害氣體而影響空氣環境,也不能在回收結束后對裝置內部進行清理,為此,我們提出一種廢銅蝕刻液的回收處理裝置。技術實現要素:本發明的目的在于提供一種廢銅蝕刻液的回收處理裝置,以解決上述背景技術中提出的市場上的廢銅蝕刻液的回收處理裝置只能簡單的對蝕刻液進行回收處理,不能對蝕刻液進行循環電解,使得剩余蝕刻液中的銅離子轉化不充分,而且蝕刻液導入到電解池中會對電解池造成沖擊,進而影響電解池的使用壽命,并且在回收處理中會產生有害氣體而影響空氣環境。
過濾器的出液管自動上行離開儲存罐,將裝滿的儲存罐從鋁蝕刻液生產車間移動至自動灌裝車間中,將灌裝頭的快速接頭插入儲存罐的出液口中便可將儲存罐內的鋁蝕刻液分裝。本實用新型除上述技術方案外,還包括以下技術特征:進一步的是,所述地磅的頂部平臺中設置有兩條卡塊,所述卡塊與平臺之間形成一插槽;所述氣動夾緊機構包括氣缸和壓緊塊,所述壓緊塊位于所述插槽中,所述氣缸的伸縮桿與所述壓緊塊固連。進一步的是,所述拖車的頂部設置有一圈圍設在所述儲存罐外部的護欄。進一步的是,所述拖車的頂部設置有一集液盒,所述儲存罐安裝在所述集液盒中。進一步的是,所述拖車的頂部于所述儲存罐的旁側設置有集液腔室。與現有技術相比,本實用新型的有益效果是:1.將原有的大型儲存罐更換成數個小型儲存罐,并采用液壓升降式拖車帶著儲存罐在鋁蝕刻液生產車間與自動灌裝車間之中周轉,如此便可為鋁蝕刻液生產設備配備全自動灌裝線,即提高了單瓶灌裝精度和效率,又降低了企業的人力成本投入;2.將原有的大型儲存罐更換成數個小型儲存罐,在儲存罐內在進液時,其它儲存罐可以進行定量灌裝,提高了鋁蝕刻液的生產效率。附圖說明為了更清楚地說明本實用新型實施例中的技術方案。天馬微電子用的哪家的蝕刻液?
因此存在開發蝕刻液組合物時會過度耗費時間和費用的問題。美國公開**第2號公開了在3dnand閃存的制造工序中,對于硅氧化物膜和硅氮化物膜*選擇性蝕刻硅氮化物膜的蝕刻液組合物。然而,為了選擇構成成分的種類和濃度,不得不需要測試蝕刻液組合物的蝕刻性能,實際情況是,與上述同樣,仍然沒有解決在找尋蝕刻液組合物的適宜組成方面過度耗費時間和費用的問題。現有技術文獻**文獻**文獻1:美國公開**第2號技術實現要素:所要解決的課題本發明是為了改善上述以往技術問題的發明,其目的在于,提供用于選擇硅烷系偶聯劑的參數以及包含由此獲得的硅烷系偶聯劑的蝕刻液組合物,所述硅烷系偶聯劑作為添加劑即使不進行另外的實驗確認也具有在包含氧化物膜和氮化物膜的膜中*選擇性蝕刻氮化物膜的效果和防蝕能力。此外,本發明的目的在于,提供一種以在包含氧化物膜和氮化物膜的膜中能夠*選擇性蝕刻上述氮化物膜為特征的蝕刻液組合物。此外,本發明的目的在于,提供利用上述蝕刻液組合物的蝕刻方法。此外,本發明的目的在于,提供選擇上述蝕刻液組合物所包含的硅烷系偶聯劑的方法。解決課題的方法為了實現上述目的,本發明提供一種蝕刻液組合物,其特征在于,包含磷酸、硅烷。蝕刻液應用于什么樣的場合?上海ITO蝕刻液蝕刻液推薦廠家
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本發明涉及蝕刻液組合物及選擇添加于該蝕刻液組合物的硅烷系偶聯劑的方法。背景技術:參照圖1,可以確認3dnand閃存(flashmemory)制造工序中的一部分。3dnand閃存可以通過在包含氧化物膜和氮化物膜的膜中*選擇性去除氮化物膜的工序(wetremovalofnitride)來制造。在不損傷氧化物膜的同時將氮化物膜完全去除是這樣的氮化物膜去除工序(wetremovalofnitride)的**技術之一。一般而言,氮化物膜去除工序中所使用的蝕刻液組合物利用具有防蝕能力的添加劑以獲得在不損傷氧化物膜的同時*將氮化物膜完全去除的效果。但是,想要在不損傷氧化物膜的范圍內將氮化物膜完全去除時,會使用防蝕能力強的添加劑,由此可能發生氮化物膜沒有被完全去除的工序不良(參照圖2)。此外,想要將氮化物膜完全去除時,會使用防蝕能力弱的添加劑,由此雖然氮化物膜被完全去除,但是可能發生對氧化物膜也造成損傷(damage)的工序不良(參照圖3)。以往,為了在包含氧化物膜和氮化物膜的多層膜中*將氮化物膜選擇性完全去除而選擇具有適當水平的防蝕能力的添加劑時,按照添加劑的種類和濃度通過實驗進行確認。沒有這樣的實驗確認就選擇添加劑實際上是不可能的。廣州銀蝕刻液蝕刻液生產
蘇州博洋化學股份有限公司屬于精細化學品的高新企業,技術力量雄厚。是一家股份有限公司企業,隨著市場的發展和生產的需求,與多家企業合作研究,在原有產品的基礎上經過不斷改進,追求新型,在強化內部管理,完善結構調整的同時,良好的質量、合理的價格、完善的服務,在業界受到寬泛好評。公司始終堅持客戶需求優先的原則,致力于提供高質量的高純雙氧水,高純異丙醇,蝕刻液,剝離液。博洋化學以創造***產品及服務的理念,打造高指標的服務,引導行業的發展。