具體實施方式現有技術中剝離液廢液中含有光刻膠樹脂、水和某些金屬雜質,而剝離液廢液的處理主要是通過焚燒或者低水平回收,其大量的使用但不能夠有效地回收,或者回收后需要通過大量的時間分析其含量以及花大量時間進行再生處理,影響了剝離液廢液的利用率。本發明對于已知的剝離液的含量以及比例有預先的了解,通過預先制定添加劑的方法,將添加劑以及某些原材料加入后重新制備剝離液新液。本發明中對于回收的剝離液廢液的進一步處理加工,是采用現有技術中加壓、蒸餾等方式,可以是采用階段性變壓精餾塔進行加壓、蒸餾處理。表1:已知的剝離液新液的組分:表二:添加劑的組分組分比例:純化液體的組分表四:制備剝離液新液在對純化液體進行加工處理,重新制備剝離液新液的過程中,需要預先制備添加劑,該添加劑中不含有酰胺化合物,而通過表四中可以得出,制備過程中在純化液體中加入添加劑以及nmf或bdg重新得出與表1組分相同的剝離液新液,該剝離液新液能夠達到表1中剝離液新液相同的成分以及相同或大致相同的技術效果。對所公開的實施例的上述說明,使本領域專業技術人員能夠實現或使用本發明。對這些實施例的多種修改對本領域的專業技術人員來說將是顯而易見的。什么制程中需要使用剝離液。杭州鋁鉬鋁蝕刻液剝離液銷售電話
上述組分中,酰胺是用于溶解光刻膠;醇醚是用于潤濕、膨潤、溶解光刻膠的;環胺與鏈胺,用于滲透、斷開光刻膠分子間弱結合力;緩蝕劑,用于降低對金屬的腐蝕速度;潤濕劑,能夠增強親水性,使得剝離液親水性良好,能快速高效地剝離溶解光刻膠。進一步技術方案中,所述的步驟s3中重新制備剝離液新液,制備過程中加入酰胺化合物或醇醚化合物,其中重新制備新液時,加入的純化液體質量分數為:70%-95%,加入的添加劑質量分數為:5%-10%;加入的酰胺化合物質量分數為:0-15%;加入的醇醚化合物質量分數為0-5%。在制備過程中額外加入酰胺化合物以及醇醚化合物是為了調節中心制備的剝離液新液中各組分的質量分數,將配比調節到更優的比例,使得剝離液新液的效果更好。經由上述的技術方案可知,與現有技術相比,本發明具有以下有益效果:本發明對剝離液廢液進行加壓、蒸餾等處理,得出純化液體,該純化液體中所含的物質是剝離液新液中所含有的某些組分,而通過預先制備添加劑,可以在得出純化液體后直接加入添加劑以及原材料,重新配備剝離液新液,使得剝離液廢液得以循環再生,減少資源的浪費以及對環境的危害。滁州半導體剝離液質量好的剝離液的公司聯系方式。
需要說明的是,本發明剝離液中,推薦*由上述成分構成,但只要不阻礙本發明的效果,可以含有例如聚氧化烯烷基醚系、硅系的消泡劑等其它成分。以上說明的本發明剝離液可以通過將上述成分溶于水中來制備。需要說明的是,本發明剝離液的ph若為堿性則沒有特別限定,但通常**將上述成分溶于水就成為堿性,因此沒有特別必要調整ph。另外,本發明剝離液可以通過將上述成分分別分開預先溶于水,成為抗蝕劑的剝離液套件,將它們混合來制備。具體來說,可以舉出以包含含有鉀鹽的第1液和含有溶纖劑的第2液為特征的抗蝕劑的剝離液套件、其中還包含含有硅酸鹽的第3液的抗蝕劑的剝離液套件、進而在其中使上述其它成分適當含有于各液中的抗蝕劑的剝離液套件等。通過使用本發明剝離液對施加有抗蝕劑的基材進行處理,抗蝕劑被細小地粉碎。
隨著電子元器件制作要求的提高,相關行業應用對濕電子化學品純度的要求也 不斷提高。為了適應電子信息產業微處理工藝技術水平不斷提高的趨勢,并規范世 界超凈高純試劑的標準,國際半導體設備與材料組織(SEMI)將濕電子化學品按金 屬雜質、控制粒徑、顆粒個數和應用范圍等指標制定國際等級分類標準。濕電子化 學品在各應用領域的產品標準有所不同,光伏太陽能電池領域一般只需要 G1 級水平;平板顯示和 LED 領域對濕電子化學品的等級要求為 G2、G3 水平;半導體領域中, 集成電路用濕電子化學品的純度要求較高,基本集中在 G3、G4 水平,分立器件對 濕電子化學品純度的要求低于集成電路,基本集中在 G2 級水平。一般認為,產生集 成電路斷絲、短路等物理性故障的雜質分子大小為**小線寬的 1/10。因此隨著集成 電路電線寬的尺寸減少,對工藝中所需的濕電子化學品純度的要求也不斷提高。從 技術趨勢上看,滿足納米級集成電路加工需求是超凈高純試劑今后發展方向之一。剝離液的主要成分是什么?
本申請實施例還提供一種剝離液機臺的工作方法,請參閱圖5,圖5為本申請實施例提供的剝離液機臺的工作方法的流程示意圖,該方法包括:步驟110、將多級腔室順序排列,按照處于剝離制程的剝離基板的傳送方向逐級向剝離基板提供剝離液;步驟120、將來自于當前級腔室經歷剝離制程的剝離液收集和存儲于當前級腔室相應的存儲箱中,所述剝離液中夾雜有薄膜碎屑;步驟130、使用當前級腔室相應的過濾器過濾來自當前級腔室的剝離液并將過濾后的剝離液傳輸至下一級腔室;步驟140、若所述過濾器被所述薄膜碎屑阻塞,則關閉連接被阻塞的所述過濾器的管道上的閥門開關;步驟150、取出被阻塞的所述過濾器。若過濾器包括多個并列排布的子過濾器,則可以關閉被阻塞的子過濾器的閥門,因此,步驟140還可以包括:若所述過濾器包括多個并列排布的子過濾器,則關閉連接被阻塞的所述子過濾器的管道上的閥門開關。在上述實施例中,對各個實施例的描述都各有側重,某個實施例中沒有詳述的部分,可以參見其他實施例的相關描述。 剝離液的類別一般有哪些。南京銅蝕刻液剝離液商家
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閥門開關60設置在每一子管道301上。在一些實施例中,閥門開關60設置在每一子管道401及每一所述第二子管道502上。在一些實施例中,閥門開關60設置在每一第二子管道502上。具體的,閥門開關60的設置位置可以設置在連接過濾器30的任意管道上,在此不做贅述。在一些實施例中,請參閱圖4,圖4為本申請實施例提供的剝離液機臺100的第四種結構示意圖。第二管道50包括多個第三子管道503,每一所述第三子管道503與一子過濾器連通301,且每一所述第三子管道503與所述下一級腔室連通102。其中,閥門開關60設置在每一第三子管道503上。本申請實施例提供的剝離液機臺,包括:依次順序排列的多級腔室、每一級所述腔室對應連接一存儲箱;過濾器,所述過濾器的一端設置通過管道與當前級腔室對應的存儲箱連接,所述過濾器的另一端通過第二管道與下一級腔室連接;其中,至少在管道或所述第二管道上設置有閥門開關。通過閥門開關控制連接每一級腔室的過濾器相互獨立,從而在過濾器被阻塞時通過閥門開關將被堵塞的過濾器取下并不影響整體的剝離進程,提高生產效率。本申請實施例還提供一種剝離液機臺的工作方法,請參閱圖5,圖5為本申請實施例提供的剝離液機臺的工作方法的流程示意圖。杭州鋁鉬鋁蝕刻液剝離液銷售電話