將待加工部件固定在托盤上包括:采用光刻膠將待加工部件固定在托盤上。具體地,將待加工部件背面噴涂厚度約為2μm的光刻膠,如az4620光刻膠,然后在托盤表面噴涂厚度約為3μm的光刻膠,如az4620光刻膠,之后,將托盤光刻膠面向上放于溫度為90℃的熱板上,將待加工部件光刻膠面和托盤光刻膠面貼合,在2×10-2mabr真空下,施加1bar壓強于待加工部件上進行鍵合,鍵合時間20min。s102:通過噴頭向待加工部件的待加工表面噴涂拋光液,來對待加工表面進行拋光;s103:通過磁轉子旋轉對待加工表面進行機械研磨,來對待加工表面進行減薄。可選地,本發明實施例中,s102和s103可以交替進行,也就是說,控制磁轉子旋轉一段時間后,控制磁轉子停止旋轉,并控制噴頭噴涂拋光液,停止噴涂拋光液后,再次控制磁轉子旋轉,以此類推。本發明實施例中,通過磁轉子和噴頭交替工作,實現了減薄和拋光兩種工藝交替作用,使得減薄和拋光一體化完成,整個過程穩定,速度快,控制性好,重復度高,無粉塵污染,襯底減薄終厚度達到20μm,拋光面ra<2nm。由于減薄過程中待加工部件20如inp基晶圓本身不旋轉,因此,可以降低拋光減薄過程中對待加工部件20如inp基晶圓的擠壓應力。減薄清洗劑,專為提升產品質量而設計,讓您的產品更出色。紹興什么是減薄用清洗劑訂做價格
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若干所述側支撐件44固定設置在所述固定板423的端面上;所述固定板423兩端均設置有至少兩個固定卡塊427,所述固定卡塊427一般設置為矩形橫截面結構,便于所述固定板423端面的朝向定位;對應的,所述調節槽內設置有固定槽426,當所述固定板423兩端各自的兩所述固定卡塊427分別設置于對應的所述固定槽426內時,設置有所述側支撐件44的端面對應所述豎直平板421上的所述側支撐件44,且設置所述側支撐件44的所述豎直平板421和所述固定板423設置在所述底支撐件43的兩側,從而實現對所述盛放部內玻璃的支撐限位。其中,如圖3所示,所述側板422上所述調節槽的一種實施方式為,所述調節槽包括若干水平槽424和與所述水平槽424均豎直貫通連接的豎直槽425,所述固定槽426設置于所述水平槽424的下邊緣,所述固定槽426對應所述固定卡塊427設置為u型槽,從而便于固定所述固定卡塊427的擺放位置。所述水平槽424和所述豎直槽425的尺寸均對應所述固定卡塊427的尺寸設置,使所述固定卡塊427可在所述水平槽424和所述豎直槽425內自由移動。在本實施方式中,兩所述豎直平板421中一所述豎直平板421上設置有所述側支撐件44,同一所述水平槽424多只設置一個所述固定卡塊427。
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可有效穩定所述固定板423的豎直放置位置。同時,值得指出的時,所述豎直平板421上所述側支撐件44的固定方式也可采用板加槽的方式,具體的,所述豎直平板421上設置有若干豎槽,所述豎槽單側豎直有若干定槽,對應所述定槽設置有帶有固定塊的安裝板,所述安裝板對應所述豎槽的側邊設置有至少2個所述固定塊,所述安裝板遠離所述豎槽的側邊設置有所述側支撐件44,通過將所述固定塊分別設置于所述定槽內,從而實現所述側支撐件44在所述豎直平板421上的固定。通過所述豎直平板421和所述側板422上的所述側支撐件44的設置,從而實現對所述玻璃加工治具4上玻璃的側邊位置固定,同時,通過所述側板422上所述調節槽的設置,可實現所述側板422上所述側支撐件44的位置調節,從而使所述玻璃加工治具4適用于不同尺寸的玻璃,并可根據具體玻璃尺寸同時放置不同尺寸的玻璃進行減薄處理。實施例五一般的,對于實施例四中的所述玻璃加工治具4結構,可通過調節所述底支撐件43位置使所述底支撐件43適用于不同尺寸的玻璃。如圖7、圖8所示,圖7為所述底支撐件的結構正視圖;圖8為所述底支撐件的結構側視圖;所述底支撐件43包括支撐條431、第二支撐條432、連接部433和接觸部434。去除多余涂層,減薄用清洗劑是您不可或缺的好幫手。減薄用清洗劑銷售公司
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