產(chǎn)生不良次品;同時(shí)由于所述側(cè)支撐件44的移動(dòng),可帶動(dòng)玻璃在所述玻璃加工治具4上的擺動(dòng),從而實(shí)現(xiàn)玻璃與噴淋液的充分均勻接觸。較佳的,所述底座41和實(shí)施支撐架42上均設(shè)置有若干流通孔,所述流通孔便于所述玻璃加工治具4上的所述噴淋液流至所述收集槽內(nèi)。實(shí)施例四所述支撐架42包括對(duì)應(yīng)設(shè)置的架體和第二架體,所述架體和所述第二架體均固定設(shè)置在所述底座41上,所述架體包括平行對(duì)應(yīng)設(shè)置的兩豎直平板421,所述第二架體為與所述豎直平板421連接的對(duì)應(yīng)兩側(cè)板422,所述架體和所述第二架體形成盛放部,玻璃設(shè)置在所述盛放部?jī)?nèi);所述側(cè)板422和所述豎直平板421可均固定設(shè)置于所述底座41上,也可相互固定連接形成穩(wěn)定的矩形框架。所述架體和所述第二架體均設(shè)置有若干所述側(cè)支撐件44,且所述側(cè)支撐件44對(duì)應(yīng)所述底支撐件43設(shè)置。較佳的,所述架體上固定設(shè)置有若干固定孔,所述側(cè)支撐件44可根據(jù)玻璃的具體尺寸在相應(yīng)所述固定孔上固定設(shè)置;所述第二架體上設(shè)置有調(diào)節(jié)槽,對(duì)應(yīng)所述調(diào)節(jié)槽還設(shè)置有固定板423,所述固定板423的兩端分別設(shè)置在對(duì)應(yīng)兩所述側(cè)板422的所述調(diào)節(jié)槽上,并可在所述調(diào)節(jié)槽內(nèi)調(diào)節(jié)移動(dòng),從而可使所述玻璃加工治具4適用于不同尺寸的玻璃放置。一般的。減薄用清洗劑的的概費(fèi)用是多少?嘉興什么是減薄用清洗劑配方技術(shù)
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在本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例中,拋光液110的主要成分包括:碳化硅顆粒,顆粒直徑為50nm~200nm,體積比為3%~5%;次氯酸鹽,體積比為30%~40%;氫溴酸,體積比為5%~7%,di水,體積比50~60%。本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例中,如圖3所示,磁轉(zhuǎn)子12包括截面為半圓形的柱狀磁性結(jié)構(gòu)120和位于柱狀磁性結(jié)構(gòu)120的底部平面的研磨層121,以通過研磨層121對(duì)待加工部件20的待加工表面進(jìn)行機(jī)械研磨。當(dāng)然,本發(fā)明并不僅限于此,在其他實(shí)施例中,可以根據(jù)實(shí)際需求選擇合適的磁轉(zhuǎn)子形狀。可選地,研磨層121為金屬氧化物層,進(jìn)一步可選地,金屬氧化物層包括三氧化二鋁層。可選地,研磨層121的厚度為10μm。本發(fā)明實(shí)施例中,如圖4所示,磁轉(zhuǎn)子12沿箭頭所示方向旋轉(zhuǎn),如沿逆時(shí)針或順時(shí)針方向旋轉(zhuǎn),并且,磁轉(zhuǎn)子12的長(zhǎng)度近似等于待加工部件20如inp基晶圓的直徑,以對(duì)整個(gè)待加工表面進(jìn)行研磨。本發(fā)明實(shí)施例中,拋光減薄裝置還包括控制部件。控制部件與磁轉(zhuǎn)子12和噴頭11相連,用于控制噴頭11和磁轉(zhuǎn)子12交替工作,以對(duì)待加工表面交替進(jìn)行拋光和減薄。其中,控制部件通過脈沖方式控制噴頭11和磁轉(zhuǎn)子12交替工作。可選地,控制部件控制磁轉(zhuǎn)子12的轉(zhuǎn)速為80rpm~200rpm。質(zhì)量比較好的減薄用清洗劑的公司找誰(shuí)?
磁轉(zhuǎn)子12放置在待加工部件20的待加工表面上,用于通過旋轉(zhuǎn)對(duì)待加工部件20的待加工表面進(jìn)行機(jī)械研磨,對(duì)待加工表面進(jìn)行減薄。由于減薄過程中待加工部件20如inp基晶圓本身不旋轉(zhuǎn),因此,可以降低拋光減薄過程中對(duì)待加工部件20如inp基晶圓的擠壓應(yīng)力,降低待加工部件20如inp基晶圓的機(jī)械加工損傷。可選地,本發(fā)明實(shí)施例中通過光刻膠鍵合固定待加工部件20和托盤10。當(dāng)然,本發(fā)明并不限于此,在其他實(shí)施例中,待加工部件20和托盤10還可以采用其他膠體進(jìn)行鍵合固定。基于此,如圖2所示,本發(fā)明實(shí)施例中的拋光減薄裝置還包括熱板14,該熱板14設(shè)置在托盤10底部,用于對(duì)托盤10進(jìn)行加熱,以使待加工部件20與托盤10鍵合固定。具體地,將待加工部件20背面噴涂厚度約為2μm的光刻膠21,如az4620光刻膠,然后在托盤10表面噴涂厚度約為3μm的光刻膠21,如az4620光刻膠,之后,將托盤10光刻膠面向上放于溫度為90℃的熱板14上,將待加工部件20光刻膠面和托盤10光刻膠面貼合,在2×10-2mabr真空下,施加1bar壓強(qiáng)于待加工部件20上進(jìn)行鍵合,鍵合時(shí)間20min。本發(fā)明實(shí)施例中,采用噴頭11向待加工部件20的待加工表面噴涂拋光液110,來(lái)對(duì)待加工部件20的待加工表面進(jìn)行拋光。需要說(shuō)明的是。哪家的減薄用清洗劑成本價(jià)比較低?廣東哪家減薄用清洗劑推薦廠家
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