產生不良次品;同時由于所述側支撐件44的移動,可帶動玻璃在所述玻璃加工治具4上的擺動,從而實現玻璃與噴淋液的充分均勻接觸。較佳的,所述底座41和實施支撐架42上均設置有若干流通孔,所述流通孔便于所述玻璃加工治具4上的所述噴淋液流至所述收集槽內。實施例四所述支撐架42包括對應設置的架體和第二架體,所述架體和所述第二架體均固定設置在所述底座41上,所述架體包括平行對應設置的兩豎直平板421,所述第二架體為與所述豎直平板421連接的對應兩側板422,所述架體和所述第二架體形成盛放部,玻璃設置在所述盛放部內;所述側板422和所述豎直平板421可均固定設置于所述底座41上,也可相互固定連接形成穩定的矩形框架。所述架體和所述第二架體均設置有若干所述側支撐件44,且所述側支撐件44對應所述底支撐件43設置。較佳的,所述架體上固定設置有若干固定孔,所述側支撐件44可根據玻璃的具體尺寸在相應所述固定孔上固定設置;所述第二架體上設置有調節槽,對應所述調節槽還設置有固定板423,所述固定板423的兩端分別設置在對應兩所述側板422的所述調節槽上,并可在所述調節槽內調節移動,從而可使所述玻璃加工治具4適用于不同尺寸的玻璃放置。一般的。減薄清洗劑,讓您的加工過程更輕松,提高生產效率。蕪湖國產減薄用清洗劑銷售價格
所述控制器控制所述玻璃加工治具4在所述蝕刻區3內作往復移動,所述主厚度測量儀32測量玻璃厚度并且將關于測得厚度的信息實時發送到所述控制器;當測得玻璃厚度達到預設目標厚度時,所述控制器停止在所述蝕刻區3中噴射噴淋液的減薄處理,并且控制所述玻璃加工治具4向所述沖洗區2移動。一般的,在所述腔室31內,減薄處理的具體工藝參數為:所述玻璃加工治具4的往復運動中單程單向時間設置為~4s,來回往復一次時間設置為3s~8s,往復移動幅度設置約為180mm左右;所述噴淋系統控制的噴淋液流量設置為1500lpm~2400lpm,在所述腔室31內的酸蝕溫度一般設置為20℃~40℃;在上述參數下,玻璃的酸蝕速率一般在μm/min~μm/min,可有效實現對玻璃的整體減薄處理。s2,完成減薄處理的所述玻璃加工治具4在所述沖洗區2內經減薄后初清洗后待機,所述控制器進行次減薄厚度確認操作;具體的,通過設置于所述沖洗區2內的所述輔助厚度測量儀,進行檢測厚度比較,從而實現所述減薄厚度確認操作,當所述減薄厚度未達到目標厚度時,所述控制器可控制所述玻璃加工治具4再次回撤至所述腔室31內進行再次減薄處理。s3,所述玻璃加工治具4移動至所述第三沖洗區2進行減薄后終清洗。上海半導體減薄用清洗劑產品介紹減薄清洗劑,采用獨特工藝,輕松去除頑固涂層。
可有效穩定所述固定板423的豎直放置位置。同時,值得指出的時,所述豎直平板421上所述側支撐件44的固定方式也可采用板加槽的方式,具體的,所述豎直平板421上設置有若干豎槽,所述豎槽單側豎直有若干定槽,對應所述定槽設置有帶有固定塊的安裝板,所述安裝板對應所述豎槽的側邊設置有至少2個所述固定塊,所述安裝板遠離所述豎槽的側邊設置有所述側支撐件44,通過將所述固定塊分別設置于所述定槽內,從而實現所述側支撐件44在所述豎直平板421上的固定。通過所述豎直平板421和所述側板422上的所述側支撐件44的設置,從而實現對所述玻璃加工治具4上玻璃的側邊位置固定,同時,通過所述側板422上所述調節槽的設置,可實現所述側板422上所述側支撐件44的位置調節,從而使所述玻璃加工治具4適用于不同尺寸的玻璃,并可根據具體玻璃尺寸同時放置不同尺寸的玻璃進行減薄處理。實施例五一般的,對于實施例四中的所述玻璃加工治具4結構,可通過調節所述底支撐件43位置使所述底支撐件43適用于不同尺寸的玻璃。如圖7、圖8所示,圖7為所述底支撐件的結構正視圖;圖8為所述底支撐件的結構側視圖;所述底支撐件43包括支撐條431、第二支撐條432、連接部433和接觸部434。
磁轉子12放置在待加工部件20的待加工表面上,用于通過旋轉對待加工部件20的待加工表面進行機械研磨,對待加工表面進行減薄。由于減薄過程中待加工部件20如inp基晶圓本身不旋轉,因此,可以降低拋光減薄過程中對待加工部件20如inp基晶圓的擠壓應力,降低待加工部件20如inp基晶圓的機械加工損傷??蛇x地,本發明實施例中通過光刻膠鍵合固定待加工部件20和托盤10。當然,本發明并不限于此,在其他實施例中,待加工部件20和托盤10還可以采用其他膠體進行鍵合固定。基于此,如圖2所示,本發明實施例中的拋光減薄裝置還包括熱板14,該熱板14設置在托盤10底部,用于對托盤10進行加熱,以使待加工部件20與托盤10鍵合固定。具體地,將待加工部件20背面噴涂厚度約為2μm的光刻膠21,如az4620光刻膠,然后在托盤10表面噴涂厚度約為3μm的光刻膠21,如az4620光刻膠,之后,將托盤10光刻膠面向上放于溫度為90℃的熱板14上,將待加工部件20光刻膠面和托盤10光刻膠面貼合,在2×10-2mabr真空下,施加1bar壓強于待加工部件20上進行鍵合,鍵合時間20min。本發明實施例中,采用噴頭11向待加工部件20的待加工表面噴涂拋光液110,來對待加工部件20的待加工表面進行拋光。需要說明的是。減薄清洗劑,良好品質,值得信賴,讓您的加工更輕松。
通過旋緊螺釘使螺釘的端頭部分與所述支撐條431或所述第二支撐條432接觸,從而實現對所述連接部433的固定,避免所述連接部433在振動時發生脫離等情況。同時螺釘的設置,可實現所述底支撐件43結構的快速裝卸,便于維修更換。值得指出的是,為達到防止所述連接部433脫離的效果,所述限位塊438和所述第二限位塊439并非于設置為螺釘,通過在所述限位塊438和所述第二限位塊439的端部設置橫截面合適的部件,使所述限位塊438、所述第二限位塊439與所述連接部433卡接,即可實現螺釘的效果。所述接觸部434設置有弧形槽,玻璃的下邊緣設置于所述弧形槽內,從而實現所述底支撐件43對玻璃的位置固定。在進行減薄或其他加工過程中,玻璃通過所述玻璃加工治具4進行移動或放置時,均會產生振動;同時在進行蝕刻沖刷時,在酸液沖擊的作用下由于玻璃底部固定,易使玻璃產生彎曲,通過所述底支撐件43的結構設置,可實現設置于所述接觸部434上玻璃的懸浮柔性支撐,有效緩沖玻璃所受到的外界壓力或沖擊力,避免振動或沖擊對玻璃帶來的損傷;同時可有效降低所述玻璃加工治具4往復移動帶來的振動,使玻璃底部在所述連接部433的限制下進行小幅度的移動,在保證玻璃在所述玻璃加工治具4上有效擺動。減薄清洗劑,專為提升產品質量而設計,讓您的產品更出色。浙江哪家減薄用清洗劑銷售電話
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