可有效穩定所述固定板423的豎直放置位置。同時,值得指出的時,所述豎直平板421上所述側支撐件44的固定方式也可采用板加槽的方式,具體的,所述豎直平板421上設置有若干豎槽,所述豎槽單側豎直有若干定槽,對應所述定槽設置有帶有固定塊的安裝板,所述安裝板對應所述豎槽的側邊設置有至少2個所述固定塊,所述安裝板遠離所述豎槽的側邊設置有所述側支撐件44,通過將所述固定塊分別設置于所述定槽內,從而實現所述側支撐件44在所述豎直平板421上的固定。通過所述豎直平板421和所述側板422上的所述側支撐件44的設置,從而實現對所述玻璃加工治具4上玻璃的側邊位置固定,同時,通過所述側板422上所述調節槽的設置,可實現所述側板422上所述側支撐件44的位置調節,從而使所述玻璃加工治具4適用于不同尺寸的玻璃,并可根據具體玻璃尺寸同時放置不同尺寸的玻璃進行減薄處理。實施例五一般的,對于實施例四中的所述玻璃加工治具4結構,可通過調節所述底支撐件43位置使所述底支撐件43適用于不同尺寸的玻璃。如圖7、圖8所示,圖7為所述底支撐件的結構正視圖;圖8為所述底支撐件的結構側視圖;所述底支撐件43包括支撐條431、第二支撐條432、連接部433和接觸部434。專業減薄用清洗劑,讓您的生產更高效,成本更低。南京什么是減薄用清洗劑什么價格
本發明提供如下技術方案:一種拋光減薄裝置,包括:托盤,用于固定待加工部件,所述待加工部件包括inp基晶圓;噴頭,用于向所述待加工部件的待加工表面噴涂拋光液,以對所述待加工表面進行拋光;磁轉子,放置在所述待加工部件的待加工表面上,用于通過旋轉對所述待加工表面進行機械研磨,對所述待加工表面進行減薄。可選地,還包括控制部件;所述控制部件與所述磁轉子和所述噴頭相連,用于控制所述噴頭和所述磁轉子交替工作,以對所述待加工表面交替進行拋光和減薄。可選地,所述磁轉子包括截面為半圓形的柱狀磁性結構和位于所述磁性結構底部的研磨層,以通過所述研磨層對所述待加工表面進行機械研磨。可選地,所述研磨層為金屬氧化物層,所述金屬氧化物層包括三氧化二鋁層。可選地,還包括:熱板,設置于所述托盤底部,用于對所述托盤進行加熱,以使所述待加工部件與所述托盤鍵合固定。可選地,所述待加工部件與所述托盤通過光刻膠鍵合固定。一種拋光減薄方法,包括:將待加工部件固定在托盤上,所述待加工部件包括inp基晶圓;通過噴頭向所述待加工部件的待加工表面噴涂拋光液,來對所述待加工表面進行拋光;通過磁轉子旋轉對所述待加工表面進行機械研磨。江蘇性價比高的減薄用清洗劑產品介紹減薄用清洗劑的使用時要注意什么?
用于將空氣噴射到玻璃的將被暴露于激光束的預定部分并因此瞬時去除噴淋液,從而可得到更準確地玻璃厚度測量數據。一般的,所述目標厚度為減薄處理后所需求玻璃的理論厚度值,所述理論厚度值為具有公差的范圍值。所述玻璃減薄生產線還包括輔助厚度測量儀,所述輔助厚度測量儀設置在所述沖洗區2中并用于再次測量經減薄處理后的玻璃厚度,所述輔助厚度測量儀將測得玻璃厚度發送到所述控制器。所述輔助厚度測量儀的設置可降低所述主厚度測量儀32失靈或因所述蝕刻區3中的阻礙因素不能正確測量玻璃厚度時異常操作而造成的玻璃減薄缺陷,所述阻礙因素可以為噴淋液的噴淋阻礙或所述玻璃加工治具4的振動。所述控制器基于所述輔助厚度測量儀測得的玻璃厚度確定在所述蝕刻區3中是否正常執行減薄處理或者所述主厚度測量儀32是否正確工作。一般的,從所述輔助厚度測量儀接收的玻璃的厚度超出目標厚度的公差范圍,則所述控制器確定所述主厚度測量儀32無法正確工作或者在所述蝕刻區3中沒有正常執行減薄處理。在這種情況下,所述控制器發出警報來通知管理者,所述主厚度測量儀32失靈或者所述蝕刻區3中的減薄處理異常。所述主厚度測量儀32失靈或所述者蝕刻區3中的減薄處理異常可能是暫時的。
所述控制器用于控制減薄處理過程,具體的,在所述玻璃加工治具4從所述沖洗區2移動至所述腔室31內合適位置時打開所述噴淋組件33進行減薄處理操作,并在由所述主厚度測量儀32測得的玻璃厚度達到目標厚度時關閉所述噴淋組件33停止對玻璃進行的減薄處理,以及在減薄完成后控制所述玻璃加工治具4再次向所述沖洗區2移動。所述控制器在噴淋減薄過程中控制所述玻璃加工治具4在所述腔室31內的往復移動。一般的,所述噴淋組件33包括設置于所述腔室31頂部的噴淋頭、設置于所述腔室31底部的收集槽、以及與所述噴淋頭、所述收集槽均連通的外部噴淋液管路,通過所述噴淋頭對所述玻璃加工治具4上的玻璃噴淋噴淋液從而實現玻璃的減薄處理,所述收集槽收集減薄處理后的噴淋液并傳輸至所述噴淋液管路從所述腔室31內排出。在經歷過減薄處理的玻璃從所述轉換區1被卸載之后,將容納玻璃的下一個玻璃加工治具4通過所述轉換區1加載到所述腔室31中并且如上所述經歷減薄處理。通過以上操作,玻璃順序地經歷減薄處理。值得指出的是,通過所述主厚度測量儀32測量在所述蝕刻區3中經歷過減薄處理的所述玻璃厚度達到指定尺寸后再通過所述傳輸組件將玻璃卸載到所述腔室31外部。具體地。選擇減薄用清洗劑,為您的加工過程保駕護航。
所述控制器控制所述玻璃加工治具4在所述蝕刻區3內作往復移動,所述主厚度測量儀32測量玻璃厚度并且將關于測得厚度的信息實時發送到所述控制器;當測得玻璃厚度達到預設目標厚度時,所述控制器停止在所述蝕刻區3中噴射噴淋液的減薄處理,并且控制所述玻璃加工治具4向所述沖洗區2移動。一般的,在所述腔室31內,減薄處理的具體工藝參數為:所述玻璃加工治具4的往復運動中單程單向時間設置為~4s,來回往復一次時間設置為3s~8s,往復移動幅度設置約為180mm左右;所述噴淋系統控制的噴淋液流量設置為1500lpm~2400lpm,在所述腔室31內的酸蝕溫度一般設置為20℃~40℃;在上述參數下,玻璃的酸蝕速率一般在μm/min~μm/min,可有效實現對玻璃的整體減薄處理。s2,完成減薄處理的所述玻璃加工治具4在所述沖洗區2內經減薄后初清洗后待機,所述控制器進行次減薄厚度確認操作;具體的,通過設置于所述沖洗區2內的所述輔助厚度測量儀,進行檢測厚度比較,從而實現所述減薄厚度確認操作,當所述減薄厚度未達到目標厚度時,所述控制器可控制所述玻璃加工治具4再次回撤至所述腔室31內進行再次減薄處理。s3,所述玻璃加工治具4移動至所述第三沖洗區2進行減薄后終清洗。高效、環保的減薄用清洗劑,為您的生產帶來綠色變化。紹興什么是減薄用清洗劑費用
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