本發明提供如下技術方案：一種拋光減薄裝置，包括：托盤，用于固定待加工部件，所述待加工部件包括inp基晶圓；噴頭，用于向所述待加工部件的待加工表面噴涂拋光液，以對所述待加工表面進行拋光；磁轉子，放置在所述待加工部件的待加工表面上，用于通過旋轉對所述待加工表面進行機械研磨，對所述待加工表面進行減薄。可選地，還包括控制部件；所述控制部件與所述磁轉子和所述噴頭相連，用于控制所述噴頭和所述磁轉子交替工作，以對所述待加工表面交替進行拋光和減薄。可選地，所述磁轉子包括截面為半圓形的柱狀磁性結構和位于所述磁性結構底部的研磨層，以通過所述研磨層對所述待加工表面進行機械研磨。可選地，所述研磨層為金屬氧化物層，所述金屬氧化物層包括三氧化二鋁層。可選地，還包括：熱板，設置于所述托盤底部，用于對所述托盤進行加熱，以使所述待加工部件與所述托盤鍵合固定。可選地，所述待加工部件與所述托盤通過光刻膠鍵合固定。一種拋光減薄方法，包括：將待加工部件固定在托盤上，所述待加工部件包括inp基晶圓；通過噴頭向所述待加工部件的待加工表面噴涂拋光液，來對所述待加工表面進行拋光；通過磁轉子旋轉對所述待加工表面進行機械研磨。減薄清洗劑，助您輕松打造高精度產品，滿足客戶需求。江蘇哪家公司減薄用清洗劑哪里買

    產生不良次品；同時由于所述側支撐件44的移動，可帶動玻璃在所述玻璃加工治具4上的擺動，從而實現玻璃與噴淋液的充分均勻接觸。較佳的，所述底座41和實施支撐架42上均設置有若干流通孔，所述流通孔便于所述玻璃加工治具4上的所述噴淋液流至所述收集槽內。實施例四所述支撐架42包括對應設置的架體和第二架體，所述架體和所述第二架體均固定設置在所述底座41上，所述架體包括平行對應設置的兩豎直平板421，所述第二架體為與所述豎直平板421連接的對應兩側板422，所述架體和所述第二架體形成盛放部，玻璃設置在所述盛放部內；所述側板422和所述豎直平板421可均固定設置于所述底座41上，也可相互固定連接形成穩定的矩形框架。所述架體和所述第二架體均設置有若干所述側支撐件44，且所述側支撐件44對應所述底支撐件43設置。較佳的，所述架體上固定設置有若干固定孔，所述側支撐件44可根據玻璃的具體尺寸在相應所述固定孔上固定設置；所述第二架體上設置有調節槽，對應所述調節槽還設置有固定板423，所述固定板423的兩端分別設置在對應兩所述側板422的所述調節槽上，并可在所述調節槽內調節移動，從而可使所述玻璃加工治具4適用于不同尺寸的玻璃放置。一般的。南通什么是減薄用清洗劑什么價格減薄清洗劑，輕松應對各種涂層挑戰，讓您的工作更輕松。

    從而在玻璃側部提供支撐效果，通過所述底支撐件43和所述側支撐件44實現玻璃在所述玻璃加工治具4上的支撐穩定效果。較佳的，所述底支撐件43和所述側支撐件44可均采用ptfe材質。較佳的，所述側支撐件44設置為叉狀型結構，即所述側支撐件44包括兩叉腳，所述玻璃側邊邊緣設置于兩所述叉腳間，兩所述叉腳在一端連接，兩所述叉腳間距離從連接端向非連接端的方向逐漸增大，兩所述叉腳間的大距離大于玻璃的厚度，限制玻璃兩對應側部邊緣的兩所述側支撐件44之間的水平距離大于玻璃兩側部邊緣之間的水平距離，即當玻璃通過兩側的所述側支撐件44進行支撐限制時，玻璃的兩側部邊緣在兩所述叉腳間空間內均具有一定的調整間隙，從而在所述玻璃加工治具4在所述腔室31內往復運動，玻璃的兩側部邊緣相較于所述側支撐件44進行一定的位置移動，從而避免所述側支撐件44長期于玻璃的同一位置接觸緊貼。所述側支撐件44的結構設置，使所述玻璃加工治具4在所述腔室31內沿直線往復運動的過程中，所述側支撐件44與玻璃之間的接觸點發生變化，從而避免所述側支撐件44與玻璃之間的接觸點因所述側支撐件44的長期接觸造成接觸點無法被噴淋液噴淋，若接觸點無法被噴淋，易造成玻璃的減薄缺陷。

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    所述控制器控制所述玻璃加工治具4在所述蝕刻區3內作往復移動，所述主厚度測量儀32測量玻璃厚度并且將關于測得厚度的信息實時發送到所述控制器；當測得玻璃厚度達到預設目標厚度時，所述控制器停止在所述蝕刻區3中噴射噴淋液的減薄處理，并且控制所述玻璃加工治具4向所述沖洗區2移動。一般的，在所述腔室31內，減薄處理的具體工藝參數為：所述玻璃加工治具4的往復運動中單程單向時間設置為～4s，來回往復一次時間設置為3s～8s，往復移動幅度設置約為180mm左右；所述噴淋系統控制的噴淋液流量設置為1500lpm～2400lpm，在所述腔室31內的酸蝕溫度一般設置為20℃～40℃；在上述參數下，玻璃的酸蝕速率一般在μm/min～μm/min，可有效實現對玻璃的整體減薄處理。s2，完成減薄處理的所述玻璃加工治具4在所述沖洗區2內經減薄后初清洗后待機，所述控制器進行次減薄厚度確認操作；具體的，通過設置于所述沖洗區2內的所述輔助厚度測量儀，進行檢測厚度比較，從而實現所述減薄厚度確認操作，當所述減薄厚度未達到目標厚度時，所述控制器可控制所述玻璃加工治具4再次回撤至所述腔室31內進行再次減薄處理。s3，所述玻璃加工治具4移動至所述第三沖洗區2進行減薄后終清洗。江蘇哪家公司減薄用清洗劑哪里買