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來源: 發(fā)布時間:2024-03-07

    較佳的,所述沖洗區(qū)包括沖洗區(qū)、第二沖洗區(qū)和第三沖洗區(qū),所述第二沖洗區(qū)設(shè)置于所述沖洗區(qū)和所述第三沖洗區(qū)之間,所述沖洗區(qū)設(shè)置于所述第二沖洗區(qū)和所述轉(zhuǎn)換區(qū)之間,所述第三沖洗區(qū)設(shè)置于所述第二沖洗區(qū)和所述蝕刻區(qū)之間。較佳的,所述沖洗區(qū)設(shè)置有輔助厚度測量儀。較佳的,所述第三沖洗區(qū)設(shè)置有第二輔助厚度測量儀。較佳的,所述轉(zhuǎn)換區(qū)設(shè)置為可升降的折疊式結(jié)構(gòu)。較佳的,所述轉(zhuǎn)換區(qū)設(shè)置有裝卸臂。與現(xiàn)有技術(shù)比較本發(fā)明的有益效果在于:1,本發(fā)明中所述玻璃減薄生產(chǎn)線采用噴淋減薄的方式對豎直容納在玻璃加工治具中的玻璃進(jìn)行減薄處理,可實現(xiàn)單次多片玻璃減薄,同時避免浸泡式減薄法中反應(yīng)產(chǎn)物粘附在玻璃上造成不良品的問題;2,本發(fā)明中所述玻璃加工治具在減薄處理時進(jìn)行往復(fù)移動使側(cè)支撐件與玻璃之間接觸點產(chǎn)生變化,從而避免所述側(cè)支撐件與玻璃之間的接觸點因所述側(cè)支撐件的長期接觸造成接觸點無法被噴淋液噴淋而產(chǎn)生的不良次品問題;3,本發(fā)明通過所述側(cè)支撐件的固定結(jié)構(gòu),可實現(xiàn)所述側(cè)支撐件的位置調(diào)節(jié),從而使玻璃加工治具適用于不同尺寸的玻璃并可將不同尺寸的玻璃同時設(shè)置于玻璃加工治具上同時進(jìn)行減薄處理。附圖說明圖1為所述玻璃減薄設(shè)備的結(jié)構(gòu)示意圖。減薄清洗劑,讓您的產(chǎn)品更加完美,滿足高精度要求。惠州顯示面板用減薄用清洗劑商家

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    可有效穩(wěn)定所述固定板423的豎直放置位置。同時,值得指出的時,所述豎直平板421上所述側(cè)支撐件44的固定方式也可采用板加槽的方式,具體的,所述豎直平板421上設(shè)置有若干豎槽,所述豎槽單側(cè)豎直有若干定槽,對應(yīng)所述定槽設(shè)置有帶有固定塊的安裝板,所述安裝板對應(yīng)所述豎槽的側(cè)邊設(shè)置有至少2個所述固定塊,所述安裝板遠(yuǎn)離所述豎槽的側(cè)邊設(shè)置有所述側(cè)支撐件44,通過將所述固定塊分別設(shè)置于所述定槽內(nèi),從而實現(xiàn)所述側(cè)支撐件44在所述豎直平板421上的固定。通過所述豎直平板421和所述側(cè)板422上的所述側(cè)支撐件44的設(shè)置,從而實現(xiàn)對所述玻璃加工治具4上玻璃的側(cè)邊位置固定,同時,通過所述側(cè)板422上所述調(diào)節(jié)槽的設(shè)置,可實現(xiàn)所述側(cè)板422上所述側(cè)支撐件44的位置調(diào)節(jié),從而使所述玻璃加工治具4適用于不同尺寸的玻璃,并可根據(jù)具體玻璃尺寸同時放置不同尺寸的玻璃進(jìn)行減薄處理。實施例五一般的,對于實施例四中的所述玻璃加工治具4結(jié)構(gòu),可通過調(diào)節(jié)所述底支撐件43位置使所述底支撐件43適用于不同尺寸的玻璃。如圖7、圖8所示,圖7為所述底支撐件的結(jié)構(gòu)正視圖;圖8為所述底支撐件的結(jié)構(gòu)側(cè)視圖;所述底支撐件43包括支撐條431、第二支撐條432、連接部433和接觸部434。蘇州哪家公司減薄用清洗劑廠家現(xiàn)貨減薄用清洗劑的的概費用是多少?

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    將待加工部件固定在托盤上包括:采用光刻膠將待加工部件固定在托盤上。具體地,將待加工部件背面噴涂厚度約為2μm的光刻膠,如az4620光刻膠,然后在托盤表面噴涂厚度約為3μm的光刻膠,如az4620光刻膠,之后,將托盤光刻膠面向上放于溫度為90℃的熱板上,將待加工部件光刻膠面和托盤光刻膠面貼合,在2×10-2mabr真空下,施加1bar壓強于待加工部件上進(jìn)行鍵合,鍵合時間20min。s102:通過噴頭向待加工部件的待加工表面噴涂拋光液,來對待加工表面進(jìn)行拋光;s103:通過磁轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)對待加工表面進(jìn)行機(jī)械研磨,來對待加工表面進(jìn)行減薄。可選地,本發(fā)明實施例中,s102和s103可以交替進(jìn)行,也就是說,控制磁轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)一段時間后,控制磁轉(zhuǎn)子停止旋轉(zhuǎn),并控制噴頭噴涂拋光液,停止噴涂拋光液后,再次控制磁轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn),以此類推。本發(fā)明實施例中,通過磁轉(zhuǎn)子和噴頭交替工作,實現(xiàn)了減薄和拋光兩種工藝交替作用,使得減薄和拋光一體化完成,整個過程穩(wěn)定,速度快,控制性好,重復(fù)度高,無粉塵污染,襯底減薄終厚度達(dá)到20μm,拋光面ra<2nm。由于減薄過程中待加工部件20如inp基晶圓本身不旋轉(zhuǎn),因此,可以降低拋光減薄過程中對待加工部件20如inp基晶圓的擠壓應(yīng)力。

    在本發(fā)明的一個實施例中,拋光液110的主要成分包括:碳化硅顆粒,顆粒直徑為50nm~200nm,體積比為3%~5%;次氯酸鹽,體積比為30%~40%;氫溴酸,體積比為5%~7%,di水,體積比50~60%。本發(fā)明的一個實施例中,如圖3所示,磁轉(zhuǎn)子12包括截面為半圓形的柱狀磁性結(jié)構(gòu)120和位于柱狀磁性結(jié)構(gòu)120的底部平面的研磨層121,以通過研磨層121對待加工部件20的待加工表面進(jìn)行機(jī)械研磨。當(dāng)然,本發(fā)明并不僅限于此,在其他實施例中,可以根據(jù)實際需求選擇合適的磁轉(zhuǎn)子形狀。可選地,研磨層121為金屬氧化物層,進(jìn)一步可選地,金屬氧化物層包括三氧化二鋁層。可選地,研磨層121的厚度為10μm。本發(fā)明實施例中,如圖4所示,磁轉(zhuǎn)子12沿箭頭所示方向旋轉(zhuǎn),如沿逆時針或順時針方向旋轉(zhuǎn),并且,磁轉(zhuǎn)子12的長度近似等于待加工部件20如inp基晶圓的直徑,以對整個待加工表面進(jìn)行研磨。本發(fā)明實施例中,拋光減薄裝置還包括控制部件。控制部件與磁轉(zhuǎn)子12和噴頭11相連,用于控制噴頭11和磁轉(zhuǎn)子12交替工作,以對待加工表面交替進(jìn)行拋光和減薄。其中,控制部件通過脈沖方式控制噴頭11和磁轉(zhuǎn)子12交替工作。可選地,控制部件控制磁轉(zhuǎn)子12的轉(zhuǎn)速為80rpm~200rpm。質(zhì)量好的減薄用清洗劑的找誰好?

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    用于將空氣噴射到玻璃的將被暴露于激光束的預(yù)定部分并因此瞬時去除噴淋液,從而可得到更準(zhǔn)確地玻璃厚度測量數(shù)據(jù)。一般的,所述目標(biāo)厚度為減薄處理后所需求玻璃的理論厚度值,所述理論厚度值為具有公差的范圍值。所述玻璃減薄生產(chǎn)線還包括輔助厚度測量儀,所述輔助厚度測量儀設(shè)置在所述沖洗區(qū)2中并用于再次測量經(jīng)減薄處理后的玻璃厚度,所述輔助厚度測量儀將測得玻璃厚度發(fā)送到所述控制器。所述輔助厚度測量儀的設(shè)置可降低所述主厚度測量儀32失靈或因所述蝕刻區(qū)3中的阻礙因素不能正確測量玻璃厚度時異常操作而造成的玻璃減薄缺陷,所述阻礙因素可以為噴淋液的噴淋阻礙或所述玻璃加工治具4的振動。所述控制器基于所述輔助厚度測量儀測得的玻璃厚度確定在所述蝕刻區(qū)3中是否正常執(zhí)行減薄處理或者所述主厚度測量儀32是否正確工作。一般的,從所述輔助厚度測量儀接收的玻璃的厚度超出目標(biāo)厚度的公差范圍,則所述控制器確定所述主厚度測量儀32無法正確工作或者在所述蝕刻區(qū)3中沒有正常執(zhí)行減薄處理。在這種情況下,所述控制器發(fā)出警報來通知管理者,所述主厚度測量儀32失靈或者所述蝕刻區(qū)3中的減薄處理異常。所述主厚度測量儀32失靈或所述者蝕刻區(qū)3中的減薄處理異常可能是暫時的。輕松去除過厚涂層,減薄用清洗劑是您理想的選擇。無錫國產(chǎn)減薄用清洗劑聯(lián)系方式

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