圖1為本發(fā)明實施例提供的一種拋光減薄裝置的結(jié)構(gòu)示意圖；圖2為本發(fā)明實施例提供的一種托盤和待加工部件的鍵合固定方式示意圖；圖3為本發(fā)明實施例提供的一種磁轉(zhuǎn)子的結(jié)構(gòu)示意圖；圖4為本發(fā)明實施例提供一種磁轉(zhuǎn)子的旋轉(zhuǎn)方式的示意圖；圖5為本發(fā)明實施例提供的一種拋光減薄方法的流程示意圖。具體實施方式以上是本發(fā)明的思想，為使本發(fā)明的上述目的、特征和優(yōu)點能夠更加明顯易懂，下面將結(jié)合本發(fā)明實施例中的附圖，對本發(fā)明實施例中的技術(shù)方案進行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實施例是本發(fā)明一部分實施例，而不是全部的實施例。基于本發(fā)明中的實施例，本領域普通技術(shù)人員在沒有做出創(chuàng)造性勞動前提下所獲得的所有其他實施例，都屬于本發(fā)明保護的范圍。本發(fā)明實施例提供了一種拋光減薄裝置，用于對inp基晶圓等部件進行拋光減薄，如圖1所示，包括托盤10、噴頭11和磁轉(zhuǎn)子12，當然，本發(fā)明實施例中的拋光減薄裝置還包括反應室13等，托盤10、噴頭11和磁轉(zhuǎn)子12等在反應室13內(nèi)進行拋光和減薄反應。其中，托盤10，可選為石英托盤，用于固定待加工部件20，待加工部件20包括inp基晶圓。噴頭11用于向待加工部件20的待加工表面噴涂拋光液110，以對待加工表面進行拋光。蘇州質(zhì)量好的減薄用清洗劑的公司。南通什么是減薄用清洗劑銷售廠

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