降低待加工部件20如inp基晶圓的機械加工損傷。由于本發明實施例中采用光刻膠對托盤和待加工部件進行了固定，因此，對待加工部件的待加工表面進行拋光和減薄之后，還包括：對待加工部件進行清洗；采用特定溶液對光刻膠進行腐蝕，以將待加工部件與托盤分離。具體地，在完成拋光和減薄后，可以采用直鏈烷基苯磺酸鹽溶劑對待加工部件20進行清洗，用di水沖洗干凈，40℃的氮氣吹干。之后，將清洗后的待加工部件20和托盤10侵入60℃的nmp(n甲基吡咯烷酮)30min，使得待加工部件20和托盤10自動分離，取出待加工部件20后清洗干凈即可。本發明實施例提供的方法，還包括：在磁轉子運行一段時間后，更換磁轉子。如磁轉子12工作1小時后，可以將磁轉子12更換為新的磁轉子，以使磁轉子與待加工表面貼合緊密，避免了傳統減薄工藝中由于轉子形變誤差造成的加工精度失真。本說明書中各個實施例采用遞進的方式描述，每個實施例重點說明的都是與其他實施例的不同之處，各個實施例之間相同相似部分互相參見即可。對于實施例公開的裝置而言，由于其與實施例公開的方法相對應，所以描述的比較簡單，相關之處參見方法部分說明即可。對所公開的實施例的上述說明。蘇州哪家公司的減薄用清洗劑的價格比較劃算？廣州哪家公司減薄用清洗劑配方技術

    所述支撐條431和所述第二支撐條432一一平行對應設置，所述連接部433活動連接所述支撐條431和所述第二支撐條432，所述支撐條431固定設置于所述底座41上，所述接觸部434均勻設置在所述第二支撐條432上。同時可通過設置所述支撐條431的高度或所述支撐條431的固定位置從而調節所述底支撐件43的高度，如通過將上述支撐條431的兩端固定在兩所述豎直平板421上。較佳的，所述支撐條431和所述第二支撐條432上設置有磁性組，所述支撐條431和所述第二支撐條432在所述磁性組提供的磁性斥力作用下具有調節間隙。所述磁性組包括磁性件435和第二磁性件436，所述磁性件435和所述第二磁性件436分別設置于所述支撐條431和所述第二支撐條432上，且所述磁性件435和所述第二磁性件436之間具有磁性斥力，從而使所述第二支撐條432懸浮于所述支撐條431的上方。所述連接部433設置有限位孔437，所述限位孔437設置為腰型孔，所述支撐條431的水平兩側均設置有若干限位塊438，所述第二支撐條432的水平兩側均設置有若干第二限位塊439，所述限位塊438和所述第二限位塊439一一對應設置，對應設置的所述限位塊438和所述第二限位塊439均設置在同一所述連接部433的所述限位孔437內。池州顯示面板用減薄用清洗劑技術指標減薄用清洗劑的適用人群有哪些？

    實現玻璃與噴淋液充分均勻接觸的同時，控制玻璃的擺動幅度，提高玻璃在減薄過程中的安全性。實施例六所述主厚度測量儀32與所述蝕刻區3的內壁相鄰，并且具有滑動結構以移動到豎直容納在所述玻璃加工治具4內的玻璃之中的靠外玻璃附近，從而便于對玻璃厚度進行檢測；具體的，在所述控制器的控制下，所述主厚度測量儀32通過向玻璃發射激光束來實時測量玻璃厚度并且在玻璃正經歷滑動處理的同時將關于測得厚度的信息發送到所述控制器；所述控制器實時將預設的目標厚度與從所述主厚度測量儀32接收的測得玻璃厚度進行比較。如果確定從所述主厚度測量儀32接收的測得玻璃厚度達到目標厚度，則所述控制器停止減薄處理等操作，并且將所述玻璃加工治具4向所述沖洗區2移動。較佳的，所述主厚度測量儀32可包括：發射器，其用于發射激光束；接收器，其用于接收被玻璃反射的光束；以及分析器，其用于分析接收器中接收的光束并且計算玻璃厚度。所述主厚度測量儀32還可包括空氣噴射器，用于將空氣噴射到玻璃的將被暴露于從發射器發射的激光束的那部分。在通過發射器發射激光束之前，所述主厚度測量儀32控制所述空氣噴射器。

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    來對所述待加工表面進行減薄。可選地，還包括：在所述磁轉子運行一段時間后，更換所述磁轉子。可選地，將待加工部件固定在托盤上包括：采用光刻膠將所述待加工部件固定在所述托盤上。可選地，對所述待加工部件的待加工表面進行拋光和減薄之后，還包括：對所述待加工部件進行清洗；采用特定溶液對所述光刻膠進行腐蝕，以將所述待加工部件與所述托盤分離。與現有技術相比，本發明所提供的技術方案具有以下優點：本發明所提供的拋光減薄裝置和拋光減薄方法，采用托盤固定待加工部件，采用噴頭向待加工部件的待加工表面噴涂拋光液，來對所述待加工表面進行拋光，采用磁轉子旋轉對待加工表面進行機械研磨，來對所述待加工表面進行減薄，由于減薄過程中待加工部件如inp基晶圓本身不旋轉，因此，可以降低拋光減薄過程中對待加工部件如inp基晶圓的擠壓應力，降低待加工部件如inp基晶圓的機械加工損傷。附圖說明為了更清楚地說明本發明實施例或現有技術中的技術方案，下面將對實施例或現有技術描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖是本發明的實施例，對于本領域普通技術人員來講，在不付出創造性勞動的前提下，還可以根據提供的附圖獲得其他的附圖。廣州哪家公司減薄用清洗劑配方技術