來對(duì)所述待加工表面進(jìn)行減薄。可選地，還包括：在所述磁轉(zhuǎn)子運(yùn)行一段時(shí)間后，更換所述磁轉(zhuǎn)子。可選地，將待加工部件固定在托盤上包括：采用光刻膠將所述待加工部件固定在所述托盤上。可選地，對(duì)所述待加工部件的待加工表面進(jìn)行拋光和減薄之后，還包括：對(duì)所述待加工部件進(jìn)行清洗；采用特定溶液對(duì)所述光刻膠進(jìn)行腐蝕，以將所述待加工部件與所述托盤分離。與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明所提供的技術(shù)方案具有以下優(yōu)點(diǎn)：本發(fā)明所提供的拋光減薄裝置和拋光減薄方法，采用托盤固定待加工部件，采用噴頭向待加工部件的待加工表面噴涂拋光液，來對(duì)所述待加工表面進(jìn)行拋光，采用磁轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)對(duì)待加工表面進(jìn)行機(jī)械研磨，來對(duì)所述待加工表面進(jìn)行減薄，由于減薄過程中待加工部件如inp基晶圓本身不旋轉(zhuǎn)，因此，可以降低拋光減薄過程中對(duì)待加工部件如inp基晶圓的擠壓應(yīng)力，降低待加工部件如inp基晶圓的機(jī)械加工損傷。附圖說明為了更清楚地說明本發(fā)明實(shí)施例或現(xiàn)有技術(shù)中的技術(shù)方案，下面將對(duì)實(shí)施例或現(xiàn)有技術(shù)描述中所需要使用的附圖作簡(jiǎn)單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖是本發(fā)明的實(shí)施例，對(duì)于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來講，在不付出創(chuàng)造性勞動(dòng)的前提下，還可以根據(jù)提供的附圖獲得其他的附圖。減薄用清洗劑，專為去除多余涂層設(shè)計(jì)，不留痕跡。。蘇州玻璃用減薄用清洗劑批量定制

    用于將空氣噴射到玻璃的將被暴露于激光束的預(yù)定部分并因此瞬時(shí)去除噴淋液，從而可得到更準(zhǔn)確地玻璃厚度測(cè)量數(shù)據(jù)。一般的，所述目標(biāo)厚度為減薄處理后所需求玻璃的理論厚度值，所述理論厚度值為具有公差的范圍值。所述玻璃減薄生產(chǎn)線還包括輔助厚度測(cè)量?jī)x，所述輔助厚度測(cè)量?jī)x設(shè)置在所述沖洗區(qū)2中并用于再次測(cè)量經(jīng)減薄處理后的玻璃厚度，所述輔助厚度測(cè)量?jī)x將測(cè)得玻璃厚度發(fā)送到所述控制器。所述輔助厚度測(cè)量?jī)x的設(shè)置可降低所述主厚度測(cè)量?jī)x32失靈或因所述蝕刻區(qū)3中的阻礙因素不能正確測(cè)量玻璃厚度時(shí)異常操作而造成的玻璃減薄缺陷，所述阻礙因素可以為噴淋液的噴淋阻礙或所述玻璃加工治具4的振動(dòng)。所述控制器基于所述輔助厚度測(cè)量?jī)x測(cè)得的玻璃厚度確定在所述蝕刻區(qū)3中是否正常執(zhí)行減薄處理或者所述主厚度測(cè)量?jī)x32是否正確工作。一般的，從所述輔助厚度測(cè)量?jī)x接收的玻璃的厚度超出目標(biāo)厚度的公差范圍，則所述控制器確定所述主厚度測(cè)量?jī)x32無法正確工作或者在所述蝕刻區(qū)3中沒有正常執(zhí)行減薄處理。在這種情況下，所述控制器發(fā)出警報(bào)來通知管理者，所述主厚度測(cè)量?jī)x32失靈或者所述蝕刻區(qū)3中的減薄處理異常。所述主厚度測(cè)量?jī)x32失靈或所述者蝕刻區(qū)3中的減薄處理異常可能是暫時(shí)的。浙江半導(dǎo)體減薄用清洗劑推薦貨源清洗劑的分類有哪些；

    用于實(shí)現(xiàn)將所述玻璃加工治具從所述轉(zhuǎn)換區(qū)經(jīng)所述沖洗區(qū)向所述蝕刻區(qū)的減薄前移動(dòng)，以及從所述蝕刻區(qū)經(jīng)所述沖洗區(qū)向所述轉(zhuǎn)換區(qū)的減薄后移動(dòng)；所述沖洗區(qū)設(shè)置于所述轉(zhuǎn)換區(qū)和所述蝕刻區(qū)之間。較佳的，所述蝕刻區(qū)包括腔室、主厚度測(cè)量?jī)x、噴淋組件和控制器；所述主厚度測(cè)量?jī)x、所述噴淋組件設(shè)置于所述腔室上，所述噴淋組件在所述腔室中對(duì)設(shè)置于所述玻璃加工治具上的玻璃施加減薄處理，所述主厚度測(cè)量?jī)x實(shí)時(shí)測(cè)量在所述腔室內(nèi)經(jīng)歷減薄處理的玻璃厚度；所述控制器與所述噴淋組件、所述主厚度測(cè)量?jī)x、所述傳輸組件連接。較佳的，所述噴淋組件包括設(shè)置于所述腔室頂部的噴淋頭、設(shè)置于所述腔室底部的收集槽、以及與所述噴淋頭、所述收集槽均連通的外部噴淋液管路，通過所述噴淋頭對(duì)所述玻璃加工治具上的玻璃噴淋噴淋液從而實(shí)現(xiàn)玻璃的減薄處理，所述收集槽收集減薄處理后的噴淋液并傳輸至所述噴淋液管路從所述腔室內(nèi)排出。較佳的，所述主厚度測(cè)量?jī)x包括用于發(fā)射激光束的發(fā)射器、用于接收被玻璃反射光束的接收器以及用于分析所述接收器中接收光束并且計(jì)算玻璃厚度的分析器。較佳的，所述主厚度測(cè)量?jī)x還包括空氣噴射器，用于將空氣噴射到玻璃表面，將被檢測(cè)部位暴露于所述發(fā)射器對(duì)應(yīng)位置。

    若干所述側(cè)支撐件44固定設(shè)置在所述固定板423的端面上；所述固定板423兩端均設(shè)置有至少兩個(gè)固定卡塊427，所述固定卡塊427一般設(shè)置為矩形橫截面結(jié)構(gòu)，便于所述固定板423端面的朝向定位；對(duì)應(yīng)的，所述調(diào)節(jié)槽內(nèi)設(shè)置有固定槽426，當(dāng)所述固定板423兩端各自的兩所述固定卡塊427分別設(shè)置于對(duì)應(yīng)的所述固定槽426內(nèi)時(shí)，設(shè)置有所述側(cè)支撐件44的端面對(duì)應(yīng)所述豎直平板421上的所述側(cè)支撐件44，且設(shè)置所述側(cè)支撐件44的所述豎直平板421和所述固定板423設(shè)置在所述底支撐件43的兩側(cè)，從而實(shí)現(xiàn)對(duì)所述盛放部?jī)?nèi)玻璃的支撐限位。其中，如圖3所示，所述側(cè)板422上所述調(diào)節(jié)槽的一種實(shí)施方式為，所述調(diào)節(jié)槽包括若干水平槽424和與所述水平槽424均豎直貫通連接的豎直槽425，所述固定槽426設(shè)置于所述水平槽424的下邊緣，所述固定槽426對(duì)應(yīng)所述固定卡塊427設(shè)置為u型槽，從而便于固定所述固定卡塊427的擺放位置。所述水平槽424和所述豎直槽425的尺寸均對(duì)應(yīng)所述固定卡塊427的尺寸設(shè)置，使所述固定卡塊427可在所述水平槽424和所述豎直槽425內(nèi)自由移動(dòng)。在本實(shí)施方式中，兩所述豎直平板421中一所述豎直平板421上設(shè)置有所述側(cè)支撐件44，同一所述水平槽424多只設(shè)置一個(gè)所述固定卡塊427。去除多余涂層，選擇減薄用清洗劑，效果好。

    將待加工部件固定在托盤上包括：采用光刻膠將待加工部件固定在托盤上。具體地，將待加工部件背面噴涂厚度約為2μm的光刻膠，如az4620光刻膠，然后在托盤表面噴涂厚度約為3μm的光刻膠，如az4620光刻膠，之后，將托盤光刻膠面向上放于溫度為90℃的熱板上，將待加工部件光刻膠面和托盤光刻膠面貼合，在2×10-2mabr真空下，施加1bar壓強(qiáng)于待加工部件上進(jìn)行鍵合，鍵合時(shí)間20min。s102：通過噴頭向待加工部件的待加工表面噴涂拋光液，來對(duì)待加工表面進(jìn)行拋光；s103：通過磁轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)對(duì)待加工表面進(jìn)行機(jī)械研磨，來對(duì)待加工表面進(jìn)行減薄。可選地，本發(fā)明實(shí)施例中，s102和s103可以交替進(jìn)行，也就是說，控制磁轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)一段時(shí)間后，控制磁轉(zhuǎn)子停止旋轉(zhuǎn)，并控制噴頭噴涂拋光液，停止噴涂拋光液后，再次控制磁轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)，以此類推。本發(fā)明實(shí)施例中，通過磁轉(zhuǎn)子和噴頭交替工作，實(shí)現(xiàn)了減薄和拋光兩種工藝交替作用，使得減薄和拋光一體化完成，整個(gè)過程穩(wěn)定，速度快，控制性好，重復(fù)度高，無粉塵污染，襯底減薄終厚度達(dá)到20μm，拋光面ra＜2nm。由于減薄過程中待加工部件20如inp基晶圓本身不旋轉(zhuǎn)，因此，可以降低拋光減薄過程中對(duì)待加工部件20如inp基晶圓的擠壓應(yīng)力。什么地方需要使用 減薄用清洗劑。揚(yáng)州好用的減薄用清洗劑替代品

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