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即兩所述側板422之間設置有一排所述固定板423,從而形成對應設置有所述側支撐件44的所述豎直平板421,在各所述放置部內放置有一排玻璃,可實現所述放置部結構的小型化,便于在同一所述玻璃加工治具4上設置若干所述放置部以使各所述放置部對應不同尺寸的玻璃。圖4為所述調節槽的另一種實施方式,所述調節槽包括若干所述水平槽424和與所述水平槽424均豎直貫通連接的所述豎直槽425,所述固定槽426設置于所述水平槽424的下邊緣;兩所述豎直平板421均設置有所述側支撐件44,同一所述水平槽424可設置兩個所述固定卡塊427,即兩所述側板422之間設置有兩排所述固定板423,兩所述固定板423分別對應兩所述豎直平板421,使在同一所述放置部內分割處兩個放置空間,從而在各所述放置部內可放置兩排玻璃,便于節省所述玻璃加工治具4上的有限空間,可大尺寸玻璃和小尺寸玻璃配合設置于同一所述放置部內。較佳的,兩相鄰所述水平槽424之間還設置有至少兩個定位槽428,所述固定板423兩端設置有定位孔429,當所述固定卡塊427設置于所述固定槽426內時,所述定位槽428和所述定位孔429位置對應;通過將螺釘穿過所述固定槽426螺紋固定在所述定位孔429中,保證所述固定卡塊427在所述固定槽426內。紹興玻璃用減薄用清洗劑報價減薄用清洗劑的人概費用是多少?
磁轉子12放置在待加工部件20的待加工表面上,用于通過旋轉對待加工部件20的待加工表面進行機械研磨,對待加工表面進行減薄。由于減薄過程中待加工部件20如inp基晶圓本身不旋轉,因此,可以降低拋光減薄過程中對待加工部件20如inp基晶圓的擠壓應力,降低待加工部件20如inp基晶圓的機械加工損傷。可選地,本發明實施例中通過光刻膠鍵合固定待加工部件20和托盤10。當然,本發明并不限于此,在其他實施例中,待加工部件20和托盤10還可以采用其他膠體進行鍵合固定。基于此,如圖2所示,本發明實施例中的拋光減薄裝置還包括熱板14,該熱板14設置在托盤10底部,用于對托盤10進行加熱,以使待加工部件20與托盤10鍵合固定。具體地,將待加工部件20背面噴涂厚度約為2μm的光刻膠21,如az4620光刻膠,然后在托盤10表面噴涂厚度約為3μm的光刻膠21,如az4620光刻膠,之后,將托盤10光刻膠面向上放于溫度為90℃的熱板14上,將待加工部件20光刻膠面和托盤10光刻膠面貼合,在2×10-2mabr真空下,施加1bar壓強于待加工部件20上進行鍵合,鍵合時間20min。本發明實施例中,采用噴頭11向待加工部件20的待加工表面噴涂拋光液110,來對待加工部件20的待加工表面進行拋光。需要說明的是。
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故所述控制器在從所述輔助厚度測量儀接收的玻璃厚度超出目標厚度的公差范圍時,可再次控制所述玻璃加工治具4回到所述蝕刻區3,并且控制玻璃在所述蝕刻區3中再次經歷減薄處理,以將玻璃處理為目標厚度。同時通過所述輔助厚度測量儀提前測量待經歷減薄處理的玻璃厚度,可與所述主厚度測量儀32檢測的初始厚度作對比,可判斷所述主厚度測量儀32是否失靈,從而在后期根據所述輔助厚度測量儀的檢測數據判斷是否需再次進入所述腔室31。具體的,當所述輔助厚度測量儀檢測厚度與所述主厚度測量儀32檢測的初始檢測厚度不在公差范圍之內,可判斷所述主厚度測量儀32失靈;在當后期減薄后所述輔助厚度測量儀的檢測厚度不符合目標厚度時,可判斷所述主厚度測量儀32非暫時失靈,所述控制器警報提醒并不再將所述玻璃加工治具4回撤至所述腔室31內,而將所述玻璃加工治具4從所述刻蝕區撤出,并等待所述主厚度測量儀32的維修完成。實施例七采用本發明所述玻璃減薄生產線的具體工藝流程為:s1,將豎直容納玻璃的所述玻璃加工治具4放置在所述轉換區1內,經所述沖洗區2減薄前清洗后轉移至所述蝕刻區3,所述玻璃加工治具4在所述蝕刻區3中經歷減薄處理;具體的,在所述蝕刻區3中進行減薄處理期間。選擇專業減薄用清洗劑,為您的產品質量保駕護航。合肥半導體減薄用清洗劑替代品
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若干所述側支撐件44固定設置在所述固定板423的端面上;所述固定板423兩端均設置有至少兩個固定卡塊427,所述固定卡塊427一般設置為矩形橫截面結構,便于所述固定板423端面的朝向定位;對應的,所述調節槽內設置有固定槽426,當所述固定板423兩端各自的兩所述固定卡塊427分別設置于對應的所述固定槽426內時,設置有所述側支撐件44的端面對應所述豎直平板421上的所述側支撐件44,且設置所述側支撐件44的所述豎直平板421和所述固定板423設置在所述底支撐件43的兩側,從而實現對所述盛放部內玻璃的支撐限位。其中,如圖3所示,所述側板422上所述調節槽的一種實施方式為,所述調節槽包括若干水平槽424和與所述水平槽424均豎直貫通連接的豎直槽425,所述固定槽426設置于所述水平槽424的下邊緣,所述固定槽426對應所述固定卡塊427設置為u型槽,從而便于固定所述固定卡塊427的擺放位置。所述水平槽424和所述豎直槽425的尺寸均對應所述固定卡塊427的尺寸設置,使所述固定卡塊427可在所述水平槽424和所述豎直槽425內自由移動。在本實施方式中,兩所述豎直平板421中一所述豎直平板421上設置有所述側支撐件44,同一所述水平槽424多只設置一個所述固定卡塊427。南通哪家公司減薄用清洗劑推薦廠家