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    本發明提供如下技術方案：一種拋光減薄裝置，包括：托盤，用于固定待加工部件，所述待加工部件包括inp基晶圓；噴頭，用于向所述待加工部件的待加工表面噴涂拋光液，以對所述待加工表面進行拋光；磁轉子，放置在所述待加工部件的待加工表面上，用于通過旋轉對所述待加工表面進行機械研磨，對所述待加工表面進行減薄。可選地，還包括控制部件；所述控制部件與所述磁轉子和所述噴頭相連，用于控制所述噴頭和所述磁轉子交替工作，以對所述待加工表面交替進行拋光和減薄。可選地，所述磁轉子包括截面為半圓形的柱狀磁性結構和位于所述磁性結構底部的研磨層，以通過所述研磨層對所述待加工表面進行機械研磨。可選地，所述研磨層為金屬氧化物層，所述金屬氧化物層包括三氧化二鋁層。可選地，還包括：熱板，設置于所述托盤底部，用于對所述托盤進行加熱，以使所述待加工部件與所述托盤鍵合固定。可選地，所述待加工部件與所述托盤通過光刻膠鍵合固定。一種拋光減薄方法，包括：將待加工部件固定在托盤上，所述待加工部件包括inp基晶圓；通過噴頭向所述待加工部件的待加工表面噴涂拋光液，來對所述待加工表面進行拋光；通過磁轉子旋轉對所述待加工表面進行機械研磨。選擇專業減薄用清洗劑，為您的產品質量保駕護航。

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    所述主厚度測量儀32布置在所述腔室31的側壁附近。所述主厚度測量儀32在所述玻璃加工治具4被加載到所述腔室31內之后用噴淋液將玻璃變薄或者減薄的同時實時測量玻璃的厚度，并且將關于測得厚度的信息發送到所述控制器。所述控制器實時確定從所述主厚度測量儀32接收的玻璃的厚度是否達到目標厚度。如果確定玻璃厚度達到目標厚度，則所述控制器停止對玻璃進行的減薄處理并且控制所述玻璃加工治具4重新移動至所述沖洗區2內。實施例三所述玻璃加工治具4經所述控制器的控制實現在所述腔室31內的往復運動，進而通過所述玻璃加工治具4的自身結構實現所述玻璃加工治具4上玻璃的擺動，從而實現玻璃與噴淋液的充分接觸，提高玻璃在所述蝕刻區3內的減薄效果。圖3為所述玻璃加工治具的種結構正視圖；圖4為所述玻璃加工治具的第二種結構正視圖；圖5為圖3中的局部放大圖；圖6為所述玻璃加工治具的結構俯視圖；具體的，所述玻璃加工治具4包括底座41、支撐架42，所述支撐架42固定設置在所述底座41上；所述底座41上設置有底支撐件43，所述底支撐件43用于與玻璃的底部接觸，在玻璃底部提供支撐效果；所述支撐架42上設置有側支撐件44，所述側支撐件44限制玻璃側部邊緣位置。廣東顯示面板用減薄用清洗劑哪里買