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1. 利用DLC來制備晶體硅表面的減反射膜,用于提高太陽能電池的光電轉化效率。使用磁控濺射沉積設備在單晶硅基體上制備了系列DLC薄膜,薄膜的折射率和與sp3含量有關,sp3含量越高,折射率越高。改變工藝參數,DLC薄膜的折射率可在1.64～2.18之間變化。DLC薄膜消光系數與DLC薄膜中sp2相的含量有關。sp2含量越高,消光系數越高。甲烷濃度對DLC薄膜光學性質的影響,隨著甲烷濃度的增加,DLC薄膜的透射率呈現逐漸減少的趨勢。當甲烷濃度在5SCCM以下時,薄膜的透光性比較好，在硅基底上添加多層DLC薄膜能夠實現在可見光區的多波段減反射效果。在玻璃基底上添加DLC薄膜能夠實現在可見光區的多波...

1.通過調節DLC薄膜的沉積工藝可以改變DLC薄膜中sp2雜化碳的含量以及氫的含量,進而影響DLC薄膜的摩擦性能;真空、惰性氣體和低濕環境有利于獲得更好的摩擦效果;過渡層和偏壓有利于提高DLC薄膜與基底之間的附著力,其摩擦性能也會得到提升。 2.類金剛石膜是無定形碳中含sp3鍵的亞穩態結構。由于它的組成、光學透過率、硬度、折射率和在化學腐蝕劑中的惰性以及抗摩擦性能十分相似于金剛石,其應用領域不斷被拓寬,因此對類金剛石的研究也日益成為熱點。 400℃下制備的碳摻雜氮化鈦涂層(C-TiN-400℃),其導電性與耐蝕性均得到明顯提升。常州潤滑DLC生產企業DLC1. DLC薄膜結構、性能及...

DLC涂層的主要性能1、力學性能a、硬度及彈性模量。不同的沉積方法制備的DLC膜硬度及彈性模量差異很大，用磁過濾陰極電弧法可以制備出硬度達到甚至超過金剛石的DLC膜，用陰極電弧法制備的DLC膜比較高硬度可達50GPa以上，而用離子源結合非平衡磁控濺射法制備的DLC膜硬度達21GPa。膜層內的成分對膜層的硬度有一定的影響，Si、N的摻入可以提高DLC膜的硬度。DLC膜具有較高的彈性模量，雖低于金剛石（110GPa），但明顯高于一般金屬和陶瓷的彈性模量。b、內應力和結合強度。薄膜的內應力和結合強度是決定薄膜的穩定性和使用壽命，影響薄膜性能的兩個重要因素，內應力高和結合強度低的DLC膜容易在應用中產...

醫用植入器件的生物相容性與表面性能密切相關，對其進行有效的表面改性處理是提高其生物相容性的途徑之一。類金剛石薄膜具有良好的細胞相容性、血液相容性及彈性、化學惰性等特點，而成為一種很有應用前景的生物膜材料。本文針對植入器件用316L不銹鋼材料，分析發現：上述膜改性體系的耐蝕性能與薄膜的結構和成分密切相關。它們的腐蝕是由于膜層中存在的缺陷導致的，膜層本身并不參加電化學反應。電化學腐蝕反應過程為：1)形成閉塞電池；2)自催化過程促進基體材料的腐蝕；3)由于基體材料被破壞，薄膜出現剝離現象。DLC膜表面一般較光潔，對基材的表面光潔度沒有太大的影響，但隨著膜厚的增加，表面光潔度會下降。溫州真空鍍膜DLC...

DLC涂層與天然鉆石一樣硬，甚至更硬,切削刀具涂上極高硬度和低摩擦的DLC，它可以劃傷鉆石，在上面留下劃痕。類金剛石碳(DLC)涂層在維氏硬度測試中測量4000-9000HV，其他類型硬度范圍1000-4000HV。因此，DLC涂層可以代替鉆石的某些特性，應用于許多常見材料的表面。DLC涂層較好用于：各種模具、五金模具、五金沖壓模、沖針、鎢鋼模具、五金拉伸成型模具、各種塑膠模具以及各種鏡面模具、、各種鎢鋼刀具、各種鋸片、沖針、各種工具刀具、各種抗磨軸承、齒輪、各種醫療器械、人造關節、各種精密五金零配件、五金電子零件及汽車、摩托車零配件、航天航空配件、新能源等行業。DLC幾種常見制備方法:等離子...

1. 研究氮化鈦涂層對牙科鑄造合金腐蝕性能的影響。兩種義齒常用的Ni-Cr合金、Co-Cr合金經常規包埋鑄造成Ni-Cr、Co-Cr合金鑄件,模擬臨床打磨拋光形成20mm×20mm×1mm規格的試件。隨機選擇Ni-Cr、Co-Cr合金試件各6個,采用多弧離子鍍法分別在其表面上沉積一層厚為2.5μm的氮化鈦涂層(TiN)形成TiN/Ni-Cr、TiN/Co-Cr復合體。將Ni-Cr、Co-Cr合金、TiN/Ni-Cr、TiN/Co-Cr4組各6個樣品分別置于人工唾液24h后,采用電化學方法測定每個樣品在人工唾液中的腐蝕電位。【結果】Ni-Cr合金的腐蝕電位為(-0.2453±0.0067)V,涂...

1. 類金剛石碳膜（diamond-like carbon films，簡稱DLC膜），是含有類似金剛石結構的非晶碳膜，也是我們在這里真正需要介紹的一種。DLC膜的基本成分是碳，由于其碳的來源和制備方法的差異，DLC膜可分為含氫和不含氫兩大類。DLC膜是一種亞穩態長程無序的非晶材料，碳原子間的鍵合方式是共價鍵，主要包含sp2和sp3兩種雜化鍵，在含氫DLC膜中還存在一定數量的C-H鍵。我們從1996年起開始磁過濾真空弧及沉積DLC膜研究，正在完善工業化技術。如等離子體源沉積法、離子束源沉積法、孿生中頻磁控濺射法、真空陰極電弧沉積法和脈沖高壓放點等。不同的制備方法，DLC膜的成分、結構和性能不同...

1. 類金剛石薄膜通常又被人們稱為DLC薄膜，是英文詞匯Diamond Like Carbon的簡稱，它是一類性質近似于金剛石，具有高硬度.高電阻率.良好光學性能等，同時又具有自身獨特摩擦學特性的非晶碳薄膜。碳元素因碳原子和碳原子之間的不同結合方式，從而使其較為終產生不同的物質：金剛石（diamond）—碳碳以 sp3鍵的形式結合；石墨（graphite）—碳碳以sp2鍵的形式結合；而如同緒論里所述類金剛石（DLC）—碳碳則是以sp3和 sp2鍵的形式結合，生成的無定形碳的一種亞穩定形態，它沒有嚴格的定義，可以包括很寬性質范圍的非晶碳，因此兼具了金剛石和石墨的優良特性；所以由類金剛石而來的DL...

DLC涂層簡單介紹如下： 類金剛石涂層(diamondlikecarbon,簡稱DLC)是一種在微觀結構上含有金剛石成分的涂層。構成DLC的元素為碳。碳原子和碳原子之間的不同結合方式，使其比較終產生不同的物質：金剛石(Diamond)-碳碳以sp3健的形式結合；類金剛石(DLC)-碳碳以sp3和sp2健的形式結合；石墨(Graphite)-碳碳以sp2健的形式結合。DLC膜被稱為非晶碳膜，具有較好的耐磨蝕性、抗摩擦氧化性和附著性，適用于極端磨損情況和高相對速度情況下使用。 DLC膜有可能在許多摩擦學領域替代這些傳統硬膜。摻金屬DLC有抗摩擦磨損性能及低達0.13-0.15的摩擦系數。...

1. 類金剛石(diamond-like carbon,DLC)是一類含有金剛石結構(sp3雜化鍵)和石墨結構(sp2雜化鍵)的亞穩態非晶物質，具有高硬度、耐腐蝕、低摩擦因數、耐磨損等優良特性，但也存在著由于制備工藝、沉積參數等不同導致的內應力大、熱穩定性差、摩擦學行為敏感等問題，明顯限制了其產業化應用。類金剛石薄膜的幾種常見制備方法:等離子增強化學氣相沉積法(PECVD)、脈沖激光沉積法(PLD)、磁過濾陰極真空電弧法(FCVA)、磁控濺射法(MS)。類金剛石(Diamond-like Carbon,DLC)薄膜是碳以sp3和sp2雜化鍵結合形成的一種亞穩態非晶材料,具有高硬度、高耐磨性、良...

DLC涂層在汽車發動機零件上的應用汽車發動機中的活塞環安裝在活塞側壁的凹槽內，環外圓面緊貼在氣缸內壁。隨著活塞在氣缸內上下往復運動，環面不斷地刮擦氣缸內壁，產生較大的摩擦功損耗，工況比較惡劣，影響到發動機整機的能耗和使用壽命；含氫DLC涂層（以下簡稱DLC）和無氫DLC涂層（以下簡稱TaC）作為一種新的涂層材料和技術，因為具有更加優異的性能得到業界的比較好的重視。與CrN相比，DLC可以有效減少摩擦，進一步降低摩擦功損耗，重要的一點是更加不易拉缸。在以非燃油為燃料的新能源汽車發動機中，DLC涂層的活塞環可以在無潤滑油的干態摩擦條件下起到良好的潤滑和耐磨減磨的作用，這也是目前解決這類活塞環壽命和...

1.類金剛石(Diamond-likeCarbon,DLC)薄膜是碳以sp3和sp2雜化鍵結合形成的一種亞穩態非晶材料,具有高硬度、高耐磨性、良好的透明性和生物相容性等獨特的性質。采用不同的工藝方法制備的DLC薄膜具有不同的微觀結構和性質。特別地,作為光學材料,DLC薄膜具有較寬的禁帶寬度和較低的折射率,且折射率可在一定范圍內調控。 2. 利用DLC來制備晶體硅表面的減反射膜,用于提高太陽能電池的光電轉化效率。使用磁控濺射沉積設備在單晶硅基體上制備了系列DLC薄膜,薄膜的折射率和與sp3含量有關,sp3含量越高,折射率越高。改變工藝參數,DLC薄膜的折射率可在1.64～2.18之間變...

1. 類金剛石(diamond-like carbon,DLC)涂層具有優異的性能,應用潛力適合.但DLC涂層的較為缺點,即內應力高和熱穩定性差,限制了DLC涂層的推廣應用.本實驗采用等離子增強化學氣相沉積(PECVD)的方法,調控涂層含氮量,調節偏壓大小,以及進行硅氮共摻.利用拉曼光譜,紅外光譜(FTIR),X射線光電子能譜(XPS)和薄膜應力測試儀,微納米力學綜合測量系統等分析測試手段對涂層組織和性能進行表征,探討了DLC涂層沉積態及退火態的組織結構和性能的變化規律.實驗獲得如下結論:(1)對摻氮含氫類金剛石(a-CN:H)涂層而言.隨著N_2流通量增加,涂層含氮量增加,sp~3含量先增加...

DLC涂層在汽車發動機零件上的應用汽車發動機中的活塞環安裝在活塞側壁的凹槽內，環外圓面緊貼在氣缸內壁。隨著活塞在氣缸內上下往復運動，環面不斷地刮擦氣缸內壁，產生較大的摩擦功損耗，工況比較惡劣，影響到發動機整機的能耗和使用壽命；含氫DLC涂層（以下簡稱DLC）和無氫DLC涂層（以下簡稱TaC）作為一種新的涂層材料和技術，因為具有更加優異的性能得到業界的比較好的重視。與CrN相比，DLC可以有效減少摩擦，進一步降低摩擦功損耗，重要的一點是更加不易拉缸。在以非燃油為燃料的新能源汽車發動機中，DLC涂層的活塞環可以在無潤滑油的干態摩擦條件下起到良好的潤滑和耐磨減磨的作用，這也是目前解決這類活塞環壽命和...

1. 為解決輪胎模具粘膠、腐蝕、積碳、易磨損、難清洗等問題,通常在輪胎模具表面噴涂Teflon涂層。但是,Teflon涂層的硬度較低,耐磨性差,需要定期重復噴涂。類金剛石涂層(DLC)作為一種新型功能涂層材料,具有高硬度和高彈性模量、耐磨損、高結合強度等優點,具有應用在輪胎模具表面的潛力。輪胎模具DLC涂層代替Teflon涂層,解決Teflon涂層的硬度較低、耐磨性差這一難題,具有重要的現實意義。為探究DLC涂層在輪胎模具上應用的可行性,本課題主要進行了以下幾個方面的研究:(1)加工并制備了基體試樣,并在試樣上沉積了含氫DLC、無氫DLC和Teflon涂層。類金剛石涂層作為質量硬質涂層的材料,...

目的比較分析CrN過渡層與不同膜厚對DLC薄膜性能的影響,以及涂層模具的成型特性。方法采用PECVD方法在718合金試樣及模具表面沉積Cr N/DLC復合膜,預設Cr N過渡層厚度為0.2μm,DLC膜層厚度為0.5～1.2μm。采用無損設備對不同沉積時間(10、15、20、1. 以類金剛石(DLC)薄膜作為電極進行污水處理時,具有比IrO2/Ta2O5鈦涂層電極、PbO2等電極更好的氧化效果,這是由于DLC具有更寬的電勢窗口和更低的背景電流.此外,DLC還具有耐酸、耐腐蝕以及低吸附特性等特點,不會在酸性、腐蝕性的污水中破損,因此比其他的電極更適合在污水中長時間工作.為此,對DLC的...

DLC涂層的主要性能1、力學性能a、硬度及彈性模量。不同的沉積方法制備的DLC膜硬度及彈性模量差異很大，用磁過濾陰極電弧法可以制備出硬度達到甚至超過金剛石的DLC膜，用陰極電弧法制備的DLC膜比較高硬度可達50GPa以上，而用離子源結合非平衡磁控濺射法制備的DLC膜硬度達21GPa。膜層內的成分對膜層的硬度有一定的影響，Si、N的摻入可以提高DLC膜的硬度。DLC膜具有較高的彈性模量，雖低于金剛石（110GPa），但明顯高于一般金屬和陶瓷的彈性模量。b、內應力和結合強度。薄膜的內應力和結合強度是決定薄膜的穩定性和使用壽命，影響薄膜性能的兩個重要因素，內應力高和結合強度低的DLC膜容易在應用中產...

按輪胎模具加工工藝制備35#鋼基體試樣,Teflon涂層完全按照輪胎模具涂層的工藝噴涂,含氫DLC、無氫DLC涂層分別采用等離子體增強化學氣相沉積和電弧離子鍍沉積。 對含氫DLC、無氫DLC和Teflon涂層的結構、成分和表面形貌進行了分析和比較。三種涂層具有不同的粗糙度、斷面結構、元素組成,而不同成分、結構會對涂層的表面性能造成不同的影響,因此對三種涂層的結構、成分進行表征,為涂層表面性能的改進提供理論依據。結果表明,兩種DLC涂層粗糙度均小于Teflon涂層的粗糙度,三種涂層結構均勻致密,無明顯沉積裂紋產生。 對含氫DLC、無氫DLC和Teflon涂層的表面性能進行測量與比...

DLC涂層適用于極端磨損情況和高相對速度，甚至是在無潤滑運轉的條件下使用，具有較好的耐磨蝕性、抗摩擦氧化性和附著性（防磨損），可承受在正常條件下會立刻導致磨損和冷焊的表面壓力，將摩擦損失降至比較小，良好的耐腐蝕性使基體免受破壞性攻擊。 DLC涂層在醫療器械的應用近年研究發現，以DLC涂層具有很好的生物相容性，它對蛋白質的吸附率高，對血小板的吸附率低，促進材料表面白蛋白和內皮細胞的吸附以及減小血小板吸附，從而減少血液凝固的可能性，使生物組織與植入的人工材料和平相處，不發生排斥反應，可作為人工關節材料、齒科材料、人工骨、人工心瓣材料、手術針和醫用導管等的表面涂層。 3. 利用DLC來制備...

1.類金剛石(DLC)薄膜由于其優異的減摩耐磨性以及良好的生物相容性被引入到人工關節材質中。該文綜述了DLC薄膜在人工關節摩擦副表面改性的研究現狀,包括DLC薄膜的分類、制備方法及內應力。介紹了提高DLC膜基結合力的方法及DLC薄膜生物相容性的研究進展。接著,對不同DLC薄膜人工關節摩擦副的研究成果進行了闡述。較為終,針對DLC薄膜存在的問題提出了今后DLC薄膜人造關節的研究方向。 2.關節置換術是目前醫治關節疾病較為直接、有效的手段,隨著國民經濟的增長,人工關節在我國的需求量不斷增加。通過比較發現,類金剛石(DLC)薄膜在提高人工關節耐磨損、耐腐蝕性能方面具有更好的應用前景。 DL...

按輪胎模具加工工藝制備35#鋼基體試樣,Teflon涂層完全按照輪胎模具涂層的工藝噴涂,含氫DLC、無氫DLC涂層分別采用等離子體增強化學氣相沉積和電弧離子鍍沉積。 對含氫DLC、無氫DLC和Teflon涂層的結構、成分和表面形貌進行了分析和比較。三種涂層具有不同的粗糙度、斷面結構、元素組成,而不同成分、結構會對涂層的表面性能造成不同的影響,因此對三種涂層的結構、成分進行表征,為涂層表面性能的改進提供理論依據。結果表明,兩種DLC涂層粗糙度均小于Teflon涂層的粗糙度,三種涂層結構均勻致密,無明顯沉積裂紋產生。 對含氫DLC、無氫DLC和Teflon涂層的表面性能進行測量與比...

1.類金剛石薄膜(DLC)具有優良的摩擦性能和力學性能，也具有較好的耐腐蝕性、組織相容性和血液相容性，可被廣泛應用于骨科、心血管和牙科等領域，是一種很有前途的生物醫學材料。 2.實驗結論表明DLC有著較好的抗凝血性能，并且與其他醫用材料對比其抗凝血效果也更佳。另外發現DLC抑菌能力并不突出，但可通過摻雜其他元素、改變工藝參數等措施使其成為較為理想的無機抑菌薄膜材料。兩種性能的結合使DLC可能成為人體植入材料的表面鍍層。 DLC膜表面一般較光潔，對基材的表面光潔度沒有太大的影響，但隨著膜厚的增加，表面光潔度會下降。威海潤滑DLC生產企業DLC 類金剛石涂層是一種與金剛石涂層性能相似的...

DLC涂層適用于極端磨損情況和高相對速度，甚至是在無潤滑運轉的條件下使用，具有較好的耐磨蝕性、抗摩擦氧化性和附著性（防磨損），可承受在正常條件下會立刻導致磨損和冷焊的表面壓力，將摩擦損失降至比較小，良好的耐腐蝕性使基體免受破壞性攻擊。 DLC涂層在醫療器械的應用近年研究發現，以DLC涂層具有很好的生物相容性，它對蛋白質的吸附率高，對血小板的吸附率低，促進材料表面白蛋白和內皮細胞的吸附以及減小血小板吸附，從而減少血液凝固的可能性，使生物組織與植入的人工材料和平相處，不發生排斥反應，可作為人工關節材料、齒科材料、人工骨、人工心瓣材料、手術針和醫用導管等的表面涂層。 DLC涂層在醫療器械的...

耐腐蝕性純DLC膜具有優異的耐蝕性，各類酸、堿甚至王水都很難侵蝕它。但摻雜有其他元素的DLC膜的耐蝕性有所下降，這是由于摻雜的元素首先被侵蝕，從而破壞了膜的連續性所致。 表面狀態DLC膜表面一般較光潔，對基材的表面光潔度沒有太大的影響，但隨著膜厚的增加，表面光潔度會下降。不同的沉積方法所得到的DLC膜表面光潔度也是不同的，采用離子源技術沉積的DLC膜表面質量明顯優于電弧離子鍍。DLC膜具有很好的抗粘結性，特別是對有色金屬（如銅、鋁、鋅等），對塑料、橡膠、陶瓷等也有抗粘結性。? DLC涂層的工業化生產開始于上世紀末和本世紀初，和普通的應用于模具上的硬質涂層比是一種嶄新的涂層技術。南京防...

1. 類金剛石(DLC)薄膜由于其優異的減摩耐磨性以及良好的生物相容性被引入到人工關節材質中。該文綜述了DLC薄膜在人工關節摩擦副表面改性的研究現狀,包括DLC薄膜的分類、制備方法及內應力。介紹了提高DLC膜基結合力的方法及DLC薄膜生物相容性的研究進展。接著,對不同DLC薄膜人工關節摩擦副的研究成果進行了闡述。然后,針對DLC薄膜存在的問題提出了今后DLC薄膜人造關節的研究方向。關節置換術是目前解決關節疾病明顯直接、有效的手段,隨著國民經濟的增長,人工關節在我國的需求量不斷增加。通過比較發現,類金剛石(DLC)薄膜在提高人工關節耐磨損、耐腐蝕性能方面具有更好的應用前景。適當厚度的DLC微/納...

1. 目的研究純鈦鑄件表面鍍制氮化鈦薄膜后在氟環境中的耐腐蝕性。方法使用電感耦合等離子體發射光譜儀測量純鈦鑄件和氮化鈦鍍膜后純鈦鑄件在氟質量濃度為0、1000、1500 mg/L的人工唾液中短期浸泡及長期浸泡后鈦離子的析出量,掃描電鏡觀察浸泡后試件表面形貌,計算腐蝕面積。結果對照組純鈦鑄件在三種氟濃度人工唾液中短期浸泡后鈦離子的析出量分別為0、(3.35±0.16)、(4.70±0.25)μg/cm2,長期浸泡后鈦離子的析出量分別為(3.30±0.23)、(15.12±1.35)、(20.07±3.21)μg/cm2。鍍膜組純鈦鑄件在三種氟濃度人工唾液中短期浸泡后鈦離子的析出量分別為0、(0....

DLC涂層簡介 DLC涂層在在刀具上的應用，采用涂層技術可有效提高切削刀具使用壽命，使刀具獲得優良的綜合機械性能，從而大幅度提高機械加工效率。DLC涂層是工業領域常用涂層之一，是一種由碳元素構成、在性質上和鉆石類似，同時又具有石墨原子組成結構的涂層物質。 類金剛石（DLC）涂層是一種非晶態薄膜，具有高硬度和高彈性模量、低摩擦因數、耐磨損以及良好的真空摩擦特性，因此通常作為耐磨涂層使用。 DLC涂層可以使用各種薄膜沉積技術生產，包括物物物理相沉積 (PVD) ，等離子增強化學氣相沉積 (PECVD) ，離子束輔助沉積 (IBAD) ，陰極電弧沉積 (CAD) 和脈沖激光沉積...

DLC涂層簡介 DLC涂層在在刀具上的應用，采用涂層技術可有效提高切削刀具使用壽命，使刀具獲得優良的綜合機械性能，從而大幅度提高機械加工效率。DLC涂層是工業領域常用涂層之一，是一種由碳元素構成、在性質上和鉆石類似，同時又具有石墨原子組成結構的涂層物質。 類金剛石（DLC）涂層是一種非晶態薄膜，具有高硬度和高彈性模量、低摩擦因數、耐磨損以及良好的真空摩擦特性，因此通常作為耐磨涂層使用。 DLC涂層可以使用各種薄膜沉積技術生產，包括物物物理相沉積 (PVD) ，等離子增強化學氣相沉積 (PECVD) ，離子束輔助沉積 (IBAD) ，陰極電弧沉積 (CAD) 和脈沖激光沉積...

1.類金剛石薄膜(DLC)具有優良的摩擦性能和力學性能，也具有較好的耐腐蝕性、組織相容性和血液相容性，可被廣泛應用于骨科、心血管和牙科等領域，是一種很有前途的生物醫學材料。 2.實驗結論表明DLC有著較好的抗凝血性能，并且與其他醫用材料對比其抗凝血效果也更佳。另外發現DLC抑菌能力并不突出，但可通過摻雜其他元素、改變工藝參數等措施使其成為較為理想的無機抑菌薄膜材料。兩種性能的結合使DLC可能成為人體植入材料的表面鍍層。 DLC涂層適合用于各種鎢鋼刀具、各種鋸片、沖針、各種工具刀具、各種抗磨軸承、齒輪。嘉興醫療器械DLC服務電話DLC DLC熱穩定性由于DLC屬亞穩態的材料，熱穩定性...

采用拉曼光譜(Raman)分析不同厚度DLC膜的峰位信息以及sp3-C/sp2-C的比例關系,用納米壓痕儀表征膜層硬度,用硬度計分析膜/基結合力,用輪廓儀表征薄膜表面特征,并探討膜厚對薄膜性能的影響機制。結果薄膜的厚度值在預設范圍以內,該方法制備的薄膜結構致密,表面光滑,無分層、凹坑、液滴粘附等缺陷。隨涂層厚度的增加,薄膜中sp3-C/sp2-C的比例呈先減小后增大的趨勢,G峰也先向D峰靠近,而后遠離。薄膜硬度同樣隨膜層厚度的增加呈先增加后減小的趨勢,1.06μm厚的Cr N/DLC膜的硬度比較高(3600HV)。薄膜的結合力等級比較高可以達到工業級的HF2。表面輪廓無較大量動,表面粗糙度Ra...