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來源: 發布時間:2024-03-07

    實現玻璃與噴淋液充分均勻接觸的同時,控制玻璃的擺動幅度,提高玻璃在減薄過程中的安全性。實施例六所述主厚度測量儀32與所述蝕刻區3的內壁相鄰,并且具有滑動結構以移動到豎直容納在所述玻璃加工治具4內的玻璃之中的靠外玻璃附近,從而便于對玻璃厚度進行檢測;具體的,在所述控制器的控制下,所述主厚度測量儀32通過向玻璃發射激光束來實時測量玻璃厚度并且在玻璃正經歷滑動處理的同時將關于測得厚度的信息發送到所述控制器;所述控制器實時將預設的目標厚度與從所述主厚度測量儀32接收的測得玻璃厚度進行比較。如果確定從所述主厚度測量儀32接收的測得玻璃厚度達到目標厚度,則所述控制器停止減薄處理等操作,并且將所述玻璃加工治具4向所述沖洗區2移動。較佳的,所述主厚度測量儀32可包括:發射器,其用于發射激光束;接收器,其用于接收被玻璃反射的光束;以及分析器,其用于分析接收器中接收的光束并且計算玻璃厚度。所述主厚度測量儀32還可包括空氣噴射器,用于將空氣噴射到玻璃的將被暴露于從發射器發射的激光束的那部分。在通過發射器發射激光束之前,所述主厚度測量儀32控制所述空氣噴射器。什么地方需要使用 減薄用清洗劑。惠州哪里減薄用清洗劑銷售廠家

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    故所述控制器在從所述輔助厚度測量儀接收的玻璃厚度超出目標厚度的公差范圍時,可再次控制所述玻璃加工治具4回到所述蝕刻區3,并且控制玻璃在所述蝕刻區3中再次經歷減薄處理,以將玻璃處理為目標厚度。同時通過所述輔助厚度測量儀提前測量待經歷減薄處理的玻璃厚度,可與所述主厚度測量儀32檢測的初始厚度作對比,可判斷所述主厚度測量儀32是否失靈,從而在后期根據所述輔助厚度測量儀的檢測數據判斷是否需再次進入所述腔室31。具體的,當所述輔助厚度測量儀檢測厚度與所述主厚度測量儀32檢測的初始檢測厚度不在公差范圍之內,可判斷所述主厚度測量儀32失靈;在當后期減薄后所述輔助厚度測量儀的檢測厚度不符合目標厚度時,可判斷所述主厚度測量儀32非暫時失靈,所述控制器警報提醒并不再將所述玻璃加工治具4回撤至所述腔室31內,而將所述玻璃加工治具4從所述刻蝕區撤出,并等待所述主厚度測量儀32的維修完成。實施例七采用本發明所述玻璃減薄生產線的具體工藝流程為:s1,將豎直容納玻璃的所述玻璃加工治具4放置在所述轉換區1內,經所述沖洗區2減薄前清洗后轉移至所述蝕刻區3,所述玻璃加工治具4在所述蝕刻區3中經歷減薄處理;具體的,在所述蝕刻區3中進行減薄處理期間。減薄清洗劑,輕松解決涂層過厚問題,讓您的產品更好。

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    來對所述待加工表面進行減薄。可選地,還包括:在所述磁轉子運行一段時間后,更換所述磁轉子。可選地,將待加工部件固定在托盤上包括:采用光刻膠將所述待加工部件固定在所述托盤上。可選地,對所述待加工部件的待加工表面進行拋光和減薄之后,還包括:對所述待加工部件進行清洗;采用特定溶液對所述光刻膠進行腐蝕,以將所述待加工部件與所述托盤分離。與現有技術相比,本發明所提供的技術方案具有以下優點:本發明所提供的拋光減薄裝置和拋光減薄方法,采用托盤固定待加工部件,采用噴頭向待加工部件的待加工表面噴涂拋光液,來對所述待加工表面進行拋光,采用磁轉子旋轉對待加工表面進行機械研磨,來對所述待加工表面進行減薄,由于減薄過程中待加工部件如inp基晶圓本身不旋轉,因此,可以降低拋光減薄過程中對待加工部件如inp基晶圓的擠壓應力,降低待加工部件如inp基晶圓的機械加工損傷。附圖說明為了更清楚地說明本發明實施例或現有技術中的技術方案,下面將對實施例或現有技術描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹,顯而易見地,下面描述中的附圖是本發明的實施例,對于本領域普通技術人員來講,在不付出創造性勞動的前提下,還可以根據提供的附圖獲得其他的附圖。哪家公司的減薄用清洗劑的是有質量保障的?蕪湖半導體減薄用清洗劑溶劑

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    所述主厚度測量儀32布置在所述腔室31的側壁附近。所述主厚度測量儀32在所述玻璃加工治具4被加載到所述腔室31內之后用噴淋液將玻璃變薄或者減薄的同時實時測量玻璃的厚度,并且將關于測得厚度的信息發送到所述控制器。所述控制器實時確定從所述主厚度測量儀32接收的玻璃的厚度是否達到目標厚度。如果確定玻璃厚度達到目標厚度,則所述控制器停止對玻璃進行的減薄處理并且控制所述玻璃加工治具4重新移動至所述沖洗區2內。實施例三所述玻璃加工治具4經所述控制器的控制實現在所述腔室31內的往復運動,進而通過所述玻璃加工治具4的自身結構實現所述玻璃加工治具4上玻璃的擺動,從而實現玻璃與噴淋液的充分接觸,提高玻璃在所述蝕刻區3內的減薄效果。圖3為所述玻璃加工治具的種結構正視圖;圖4為所述玻璃加工治具的第二種結構正視圖;圖5為圖3中的局部放大圖;圖6為所述玻璃加工治具的結構俯視圖;具體的,所述玻璃加工治具4包括底座41、支撐架42,所述支撐架42固定設置在所述底座41上;所述底座41上設置有底支撐件43,所述底支撐件43用于與玻璃的底部接觸,在玻璃底部提供支撐效果;所述支撐架42上設置有側支撐件44,所述側支撐件44限制玻璃側部邊緣位置。惠州哪里減薄用清洗劑銷售廠家