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2、與傳統(tǒng)激光位移傳感器相比，本發(fā)明所涉及的激光位移傳感器在光學(xué)系統(tǒng)中，S方向的成像質(zhì)量更高，進(jìn)而從理論上可提高其測量精度；3、通過增加像散使線陣感光元件上的光斑信號呈現(xiàn)長條狀態(tài)，增大光斑信號與像元之間的接觸面積，進(jìn)而降低機(jī)械件變形對信噪比的影響。在以上描述的...

光譜共焦技術(shù)是在共焦顯微術(shù)基礎(chǔ)上發(fā)展而來的技術(shù)，在測量過程中無需軸向掃描，直接由波長對應(yīng)軸向距離信息，因此可以大幅提高測量速度。基于光譜共焦技術(shù)的傳感器是近年來出現(xiàn)的一種高精度、非接觸式的新型傳感器，精度理論上可達(dá)到納米級。由于光譜共焦傳感器對被測表面狀況要求...

光譜共焦技術(shù)主要包括成像、位置確認(rèn)和檢測三個(gè)步驟。首先，使用顯微鏡對樣品進(jìn)行成像，并將圖像傳遞給計(jì)算機(jī)處理。然后通過算法對圖像進(jìn)行位置確認(rèn)，以確定樣品的空間位置。之后，通過對樣品的光譜信息分析，實(shí)現(xiàn)對其成分的檢測。在點(diǎn)膠行業(yè)中，光譜共焦技術(shù)可以準(zhǔn)確地檢測點(diǎn)膠的...

采用峰峰值法處理光譜數(shù)據(jù)時(shí) ，被測光程差的分辨率取決于光譜儀或CCD的分辨率。我們只需獲得相鄰的兩干涉峰值處的波長信息即可得出光程差，不必關(guān)心此波長處的光強(qiáng)大小，從而降低數(shù)據(jù)處理的難度。也可以利用多組相鄰的干涉光譜極值對應(yīng)的波長來分別求出光程差，然后再求平均值...

隨著精密儀器制造業(yè)的發(fā)展，對工業(yè)生產(chǎn)測量的精度和適應(yīng)性要求越來越高，需要具有高精度、適應(yīng)性強(qiáng)和實(shí)時(shí)無損檢測等特性的位移傳感器。光譜共焦位移傳感器的問世解決了這個(gè)問題，它是一種非接觸式光電位移傳感器，可達(dá)到亞微米級甚至更高的測量精度。傳感器對于雜光等干擾光線并不...

白光干涉光譜分析是目前白光干涉測量的一個(gè)重要方向，此項(xiàng)技術(shù)主要是利用光譜儀將對條紋的測量轉(zhuǎn)變成為對不同波長光譜的測量。通過分析被測物體的光譜特性，就能夠得到相應(yīng)的長度信息和形貌信息。相比于白光掃描干涉術(shù)，它不需要大量的掃描過程，因此提高了測量效率，而且也減小了...

光譜共焦測量原理是使用多透鏡光學(xué)系統(tǒng)將多色白光聚焦到目標(biāo)表面上。透鏡的排列方式是通過控制色差（像差）將白光分散成單色光。每個(gè)波長都有一定的偏差（特定距離）進(jìn)行工廠校準(zhǔn)。只有精確聚焦在目標(biāo)表面或材料上的波長才能用于測量。通過共焦孔徑反射到目標(biāo)表面的光會被光譜儀檢...

這篇文章介紹了一種具有1毫米縱向色差的超色差攝像鏡頭，它具有0.4436的圖像室內(nèi)空間NA和0.991的線性相關(guān)系數(shù)R2，其構(gòu)造達(dá)到了原始設(shè)計(jì)要求并顯示出了良好的光學(xué)性能。實(shí)現(xiàn)線性散射需要考慮一些關(guān)鍵條件，并可以采用不同的優(yōu)化方法來改進(jìn)設(shè)計(jì)。首先，線性散射的實(shí)...

光譜共焦技術(shù)主要包括成像和檢測。首先，通過顯微鏡對樣品進(jìn)行成像，然后將圖像傳遞給計(jì)算機(jī)進(jìn)行處理。接著，利用算法對圖像進(jìn)行位置校準(zhǔn)，以確定樣品的空間位置。通過分析樣品的光譜信息，實(shí)現(xiàn)對其成分的檢測。在點(diǎn)膠行業(yè)中，光譜共焦技術(shù)可以準(zhǔn)確地檢測出點(diǎn)膠的位置和尺寸，確保...

干涉法作為面掃描方式可以一次性對薄膜局域內(nèi)的厚度進(jìn)行解算 ，適用于對面型整體形貌特征要求較高的測量對象。干涉法算法在于相位信息的提取，借助多種復(fù)合算法通常可以達(dá)到納米級的測量準(zhǔn)確度。然而主動干涉法對條紋穩(wěn)定性不佳，光學(xué)元件表面的不清潔、光照度不均勻、光源不穩(wěn)定...

本實(shí)用新型的工作原理如下:1)鹵素?zé)艄庠窗l(fā)出的光,通過Y型光纖后,一端經(jīng)光譜共焦透鏡組后,照射到被測物體表面,經(jīng)過光譜共焦透鏡組后買不同波長的光產(chǎn)生光譜的色散。2)光源通過光譜共焦透鏡組后,照射到某一位置的被測物體,經(jīng)被測物體表面反射的某一波長的單色光,反向回...

無論是醫(yī)療設(shè)備 、智能手機(jī)還是機(jī)床，幾乎每個(gè)電子設(shè)備內(nèi)部都有一塊PCB板。這些設(shè)備正被要求變得更高效、更小、更快，而開發(fā)周期卻越來越短。這也意味著電路板必須通過使用高度集成的組件變得更加強(qiáng)大。除了不斷增長的封裝密度之外，單個(gè)組件和開關(guān)的小型化是滿足所需性能的關(guān)...

在一個(gè)實(shí)施例中，上述感光元件7可以為線陣CCD感光芯片，或者也可以是線陣CMOS感光芯片。在線陣CCD感光芯片或線陣CMOS感光芯片中，包括線形排列的多個(gè)感光單元，通常為直線排列，該直線的延伸方向?yàn)楦泄鈫卧闹饕帕蟹较颍@些感光單元沿著水平方向(弧矢方向)排...

在一個(gè)實(shí)施例中，激光位移傳感器通過調(diào)整成像物鏡6與感光元件7之間的距離，在空間頻率為62.5lp/mm處，MTFS大于10倍的MTFT，其中，MTFS為量程內(nèi)被測點(diǎn)在S方向的MTF值，MTFT為量程內(nèi)被測點(diǎn)在T方向的MTF值，曲線1為物點(diǎn)在子午方向和弧矢方向上...

本實(shí)用新型提供了一種激光位移傳感器檢驗(yàn)校準(zhǔn)裝置，包括一可伸縮導(dǎo)軌、一微調(diào)裝置、一傳感器夾持裝置、一激光位移傳感器以及一激光紅外線接收擋板；所述微調(diào)裝置和傳感器夾持裝置設(shè)于所述可伸縮導(dǎo)軌的上端；所述激光位移傳感器夾持在所述傳感器夾持裝置上，且使所述激光位移傳感器...

根據(jù)權(quán)利要求1所述的光譜共焦傳感器,其中所述線傳感器是在使用預(yù)定基準(zhǔn)軸作為基準(zhǔn)的情況下布置的,以及所述光學(xué)系統(tǒng)是在使用所述預(yù)定基準(zhǔn)軸作為基準(zhǔn)的情況下配置的,并且所述光學(xué)系統(tǒng)包括所述多個(gè)測量光束入射的多個(gè)光入射口,其中所述多個(gè)光入射口在使用所述預(yù)定基準(zhǔn)軸作為基準(zhǔn)...

激光位移傳感器利用光學(xué)三角法原理，通過將激光發(fā)射光束投射到被測物體表面，利用漫反射效應(yīng)接收反射光并將光信號轉(zhuǎn)換為電信號輸出，從而獲取被測物體空間位置信息。隨著現(xiàn)代技術(shù)的發(fā)展，激光位移傳感器已成為非接觸測量領(lǐng)域的重要手段，并可以通過與計(jì)算機(jī)及應(yīng)用軟件配合實(shí)現(xiàn)測量...

光譜共焦測量技術(shù)由于其高精度、允許被測表面有更大的傾斜角、測量速度快、實(shí)時(shí)性高、對被測表面狀況要求低以及高分辨率等特點(diǎn)，已成為工業(yè)測量的熱門傳感器，在生物醫(yī)學(xué) 、材料科學(xué)、半導(dǎo)體制造、表面工程研究、精密測量和3C電子等領(lǐng)域廣泛應(yīng)用。本次測量場景采用了創(chuàng)視智能T...

過去,針對測量待測物體的高度等,已經(jīng)使用了光譜共焦傳感器的技術(shù)。例如,日本的intenational公開2014/141535(以下稱為專利文獻(xiàn)1)公開了使用多個(gè)頭部的共焦光學(xué)系統(tǒng)來進(jìn)行對測量對象的位移的多點(diǎn)測量的共焦測量設(shè)備。在該共焦測量設(shè)備中,在各頭部中設(shè)...

將光源耦合器與光譜共焦位移傳感探頭分開設(shè)置，設(shè)置在光源耦合器中的發(fā)光件實(shí)現(xiàn)發(fā)光，并通過導(dǎo)光光纖進(jìn)行傳導(dǎo)光后在探頭殼體上顯示，從而實(shí)現(xiàn)產(chǎn)生熱量的發(fā)光件與探頭殼體分離，而不影響探頭殼體，從而減少發(fā)光件發(fā)光時(shí)產(chǎn)生的熱量對光譜共焦位移傳感探頭精度的影響，減少測量誤差，...

根據(jù)物體表面的散射特性，可確定入射光與成像透鏡光軸的夾角。激光入射到被測物體表面，散射光強(qiáng)度成橢球型分布[6]。當(dāng)入射光垂直入射時(shí)，α值越小，成像透鏡接收到的散射光強(qiáng)度越大，但角度過小對探測器分辨率要求及制作工藝上都有較高難度，綜合考慮取α值為21.8°，由儀...

被測物體表面反射的反射光通過探頭接收并由接收光纖選擇性的傳輸?shù)焦庾V儀，光譜儀對反射光進(jìn)行聚焦并通過設(shè)置在光譜儀中的感光元件對反射光進(jìn)行量化處理，量化后的光波在光譜儀上產(chǎn)生一個(gè)光譜波峰，光譜曲線的峰值位置與聚焦于被測物體表面的波長產(chǎn)生對應(yīng)關(guān)系；光譜儀將波長、被測...

入射光纖，接收光纖，多個(gè)導(dǎo)光光纖外表面套設(shè)有保護(hù)套，所述保護(hù)套一端固定設(shè)置在探頭殼體內(nèi)。這樣通過保護(hù)套使入射光纖，接收光纖，多個(gè)導(dǎo)光光纖形成通過光源耦合器產(chǎn)生多色光，多色光在入射光纖中傳導(dǎo)到光譜共焦位移傳感探頭內(nèi)。通過光譜共焦位移傳感探頭內(nèi)的半透半反光學(xué)鏡和色...

上三棱鏡上背向所述反光鏡的一面設(shè)置為啞光面，探頭殼體的末端固定設(shè)置有用于對光線進(jìn)行色散聚焦的色散鏡頭，色散鏡頭包括有準(zhǔn)直鏡組和色散聚焦鏡組，準(zhǔn)直鏡組設(shè)置在多色光光源的一側(cè)，用于多色光源的準(zhǔn)直；色散聚焦鏡組設(shè)置在被測物體的一側(cè)，用于將多色光分別聚焦，并產(chǎn)生軸向色...

光譜共焦位移傳感器包括光源、透鏡組和控制箱等組成部分。光源發(fā)出一束白光，透鏡組將其發(fā)散成一系列波長不同的單色光，通過同軸聚焦在一定范圍內(nèi)形成一個(gè)連續(xù)的焦點(diǎn)組，每個(gè)焦點(diǎn)的單色光波長對應(yīng)一個(gè)軸向位置。當(dāng)樣品位于焦點(diǎn)范圍內(nèi)時(shí)，樣品表面會聚焦后的光反射回去，這些反射回...

根據(jù)權(quán)利要求1所述的激光位移傳感器，其特征在于，在進(jìn)行解析時(shí)，空間頻率為62.5lp/mm，如果所述多個(gè)感光單元的主要排列方向?yàn)榛∈阜较颍瑒tMTFS≥0.5，MTFT<0.05；如果所述多個(gè)感光單元的主要排列方向?yàn)榛∈阜较颍瑒tMTFT≥0.5，MTFS<0.0...

本實(shí)用新型涉及一種檢驗(yàn)校準(zhǔn)裝置，特別指一種激光位移傳感器檢驗(yàn)校準(zhǔn)裝置。激光位移傳感器是一種利用激光技術(shù)進(jìn)行測量的傳感器，它由激光器、激光檢測器、測量電路組成。激光位移傳感器是一種新型的測量儀表，能夠非接觸測量被測物體的位移變化，并且測量精度高。在激光位移傳感器...

隨著現(xiàn)代化工業(yè)的發(fā)展，激光位移傳感器作為高精度、高響應(yīng)的非接觸測量儀器，在光電技術(shù)檢測領(lǐng)域得到了大范圍的應(yīng)用。其采用的激光三角法原理在理論上已相當(dāng)成熟，但在實(shí)際應(yīng)用中還有一定的困難。由于三角法建立在理想成像的基礎(chǔ)之上，所以三角法能否準(zhǔn)確實(shí)現(xiàn)還要依賴于所采用的光...

易于想到的是，發(fā)光件還可設(shè)置為發(fā)射多色光，如當(dāng)被測物體放置在efficient測量區(qū)域但不是best位置時(shí)，發(fā)光件發(fā)出黃光等。光源耦合器和探頭殼體之間設(shè)置有導(dǎo)光光纖，導(dǎo)光光纖的入光端可拆卸連接在光源耦合器中，preference的連接方式為導(dǎo)光光纖的入光端正對...

此外,物鏡使在聚焦位置P處被測量點(diǎn)所反射的可見光會聚到光纖處。具體地,殼體部的后端的連接口設(shè)置在聚焦于測量點(diǎn)上且被測量點(diǎn)反射的可見光由物鏡會聚至的共焦位置處。通過使光纖連接至連接口,可以選擇性地射出多個(gè)可見光束中的在聚焦位置P處被測量點(diǎn)反射的可見光作為測量光)...