本實用新型公開了光譜共焦位移傳感器系統,傳感器系統由鹵素燈光源、y型光纖、光譜共焦透鏡組、共焦小孔和光譜儀組成,鹵素燈光源連接Y型光纖,光譜儀通過共焦小孔連接Y型光纖一端,Y型光纖另一端連接光譜共焦透鏡組,光譜共焦透鏡組包括盒蓋、盒體、兩個雙凸球面鏡、套筒和一...
這樣,通過棱鏡組對接收光纖的出光端發出的多色光進行色散,色散后的光通過聚焦透鏡組進行聚焦,使焦點位于感光元件上,通過感光元件與控制電路電性連接,從而實現電信號輸出,即對反射光進行量化處理,量化后的光波在光譜儀上產生一個光譜波峰,光譜曲線的峰值位置與聚焦于被測物...
在圖1所示的實施例中,成像物鏡6包含以下兩種結構形式:(形式一)成像物鏡6為物側面和像側面都為非球面的單一非球面鏡片,(形式二)成像物鏡6是由多個鏡片組合而成的透鏡組。綜上所述,本發明在激光位移傳感器的光學系統設計時,利用增加像散,在感光元件的感光單元沿著S方...
Preferencyly,在本實施例中發光件設置有2個,在保證良好提示效果的前提下,采用更少的發光件以減少發熱對探頭的影響,發光件左右對稱布置在光源耦合器中,通過卡扣和螺紋連接固定在光源耦合器中,導光光纖也設置有2個,分別通過插槽3400與發光件連接,兩個導光...
本實用新型公開了光譜共焦位移傳感器系統,傳感器系統由鹵素燈光源、y型光纖、光譜共焦透鏡組、共焦小孔和光譜儀組成,鹵素燈光源連接Y型光纖,光譜儀通過共焦小孔連接Y型光纖一端,Y型光纖另一端連接光譜共焦透鏡組,光譜共焦透鏡組包括盒蓋、盒體、兩個雙凸球面鏡、套筒和一...
通過配置線傳感器和光學系統等以使得測量對象區域變成彼此不同的區域,可以高精度地執行多點測量。多個光學頭可以是2個光學頭或者3個光學頭。利用本技術,可以使用少量的組件來執行2個或3個點的同時測量。根據本發明的實施例的測量方法包括射出具有不同波長的多個光束。通過多...
進一步地,所述蝸輪蝸桿機構包括一橫向蝸桿、一蝸輪以及一位移調節把手;所述橫向蝸桿的一端與所述激光紅外線接收擋板的背面固接,另一端與所述電子測量儀抵接;所述位移調節把手與所述蝸輪的中心固接。進一步地,所述電子測量儀包括一電子千分表以及一千分表夾持裝置;所述電...
傳統的探頭中采用的是分光鏡,分光鏡有一定厚度,使光波產生了垂直光軸方向的橫向偏移,而波長不同,其橫向偏移不相等,導致多色光的光軸發生分離,經過色散鏡頭后的聚焦點上不在光軸上,其連線也不是一條直線,所以會產生較大的軸向像差和橫向像差而降低MTF值,使整個系統產生...
如權利要求4所述的激光位移傳感器檢驗校準裝置,其特征在于:所述電子測量儀包括一電子千分表以及一千分表夾持裝置;所述電子千分表夾持在所述千分表夾持裝置上,所述千分表夾持裝置一端抵接于所述延伸部,另一端抵接于所述橫向蝸桿上。如權利要求1所述的激光位移傳感器檢驗校準...
光譜共焦位移傳感器是一種具有超高精度和超高穩定性的非接觸式位移傳感器。與激光三角法相比,光譜共焦具有更高的分辨率,并且由于光發射和接收同光路,不會出現激光三角法光路容易被遮擋或被測目標表面過于光滑而接收不到目標反射光的情況,對被測物體適應性強,適用于手機玻璃的...
將紙幣放置在平臺上,調整感測頭與紙幣的距離大約在30mm左右,直至焦點對準紙幣且監視器中顯示可變化的讀數;(2)按下人機界面中的Start按鈕,平臺將以設置好的速度、相鄰數據點物理間隔和時間間隔進行移動,直到數據采集完為止;(3)保存步驟(2)中所采集到的數據...
本發明提供一種光譜共焦傳感器和測量方法。該光譜共焦傳感器包括:光源部,用于射出具有不同波長的多個光束;多個光學頭,用于將從所述光源部射出的所述多個光束會聚于不同的聚焦位置處,并且射出在所述聚焦位置處被測量點反射的測量光:分光器,其包括:線傳感器,以及光學系統,...
提高采樣頻率,利用前一次采樣得到的結果,分析判斷物體表面的反射光強,然后適時調整激光器發射的激光束的強度,以減小由于反射光強變化大而產生的測量誤差。這種方法在很大限度上改進了由于飽和產生的誤差,但仍然無法從根本上解決由于物體表面在激光光斑散射的小范圍內的反射率...
激光三角測量是一種成熟的測量方法 ,具有原理簡單,測量精度高以及抗干擾能力強等優點。目前,國外多家公司都有這個領域的產品系列。激光位移傳感器有多種型號,適用于不同的測量距離范圍,測量精度處較高水平,但價格也普遍偏高。近年來,國內各大院校和研究機構在激光三角測...
發光件和導光光纖的入光端之間,固定設置有濾光片,濾光片固定設置在發光件和導光光纖之間,濾光片用于過濾紅外線,以減少光熱效應高的紅外線在傳遞到探頭殼體的位置時,使探頭殼體發熱變形而影響探頭精度。探頭殼體的側壁上開設有沉孔,連接導光光纖的出光端的插槽開設在沉孔底部...
根據權利要求2所述的光譜共焦傳感器,其中,所述預定基準軸與在使所述測量光從所述分光器的虛擬光入射口入射至所述光學系統的情況下的光軸相對應。根據權利要求2或3所述的光譜共焦傳感器,其中,所述多個光入射口被設置成從所述多個光入射口入射的所述多個測量光束各自的光軸變...
根據本發明實施例的激光位移傳感器主要包括激光器(例如,可以是CN1 06855391B5激光二極管)1、聚焦透鏡2、窗口玻璃3、帶通濾光片5、成像物鏡(也可稱為接收物鏡)6、感光元件7以及反光元件8。其中,該激光位移傳感器用于對被測物體4進行測量。在圖1所示的...
通過所述控制面板14設置所述電動伸縮雙直線導軌11伸縮至特定的距離,打開所述激光位移傳感器4,使得所述激光位移傳感器4的激光照射在所述激光紅外線接收擋板5的接收面上,記錄所述激光位移傳感器4至所述激光紅外線接收擋板5的距離;旋轉所述位移調節把手212使得所述橫...
極值法求解過程計算簡單,速度快,同時能確定薄膜的多個光學常數并解決多值性問題,測試范圍廣,但沒有考慮薄膜均勻性和基底色散的因素,因此精度不夠高。此外,由于受曲線擬合精度的限制,該方法對膜厚的測量范圍有要求,通常用于測量薄膜厚度大于200納米且小于10微米的情況...
機殼設置有兩層,聚焦透鏡組位于所述機殼的上層,感光元件位于機殼的下層,所述聚焦透鏡組與所述感光元件的光路之間設置有用于轉變光線傳播方向的光線轉向鏡組,光線轉向鏡組包括有上反光鏡,設置在上反光鏡下方位置的下反光鏡,光線轉向鏡組用于使上層的聚焦透鏡組射出的光線聚焦...
激光位移傳感器利用光學三角法原理,通過將激光發射光束投射到被測物體表面,利用漫反射效應接收反射光并將光信號轉換為電信號輸出,從而獲取被測物體空間位置信息。隨著現代技術的發展,激光位移傳感器已成為非接觸測量領域的重要手段,并可以通過與計算機及應用軟件配合實現測量...
光譜法是以光的干涉效應為基礎的一種薄膜厚度測量方法 ,分為反射法和透射法兩類[12]。入射光在薄膜-基底-薄膜界面上的反射和透射會引起多光束干涉效應,不同特性的薄膜材料的反射率和透過率曲線是不同的,并且在全光譜范圍內與厚度之間是一一對應關系。因此,根據這一光譜...
系統的整體結構如圖1所示。從圖1可以看出,整個系統由上位機、激光位移傳感器和平臺運動控制系統三部分組成。激光位移傳感器由激光位移控制器、感測頭和監視器組成。平臺運動控制系統主要由平移臺運動控制器、驅動器、電源和二維電動平移臺組成。系統的部分設備如圖2所示。圖2...
本文主要研究了如何采用白光干涉法、表面等離子體共振法和外差干涉法來實現納米級薄膜厚度的準確測量,研究對象為半導體鍺和貴金屬金兩種材料。由于不同材料薄膜的特性差異,所適用的測量方法也會有所不同。對于折射率高,在通信波段(1550nm附近)不透明的半導體鍺膜,采用...
根據物體表面的散射特性,可確定入射光與成像透鏡光軸的夾角。激光入射到被測物體表面,散射光強度成橢球型分布[6]。當入射光垂直入射時,α值越小,成像透鏡接收到的散射光強度越大,但角度過小對探測器分辨率要求及制作工藝上都有較高難度,綜合考慮取α值為21.8°,由儀...
干涉測量法是一種基于光的干涉原理實現對薄膜厚度測量的光學方法,是一種高精度的測量技術,其采用光學干涉原理的測量系統具有結構簡單、成本低廉、穩定性高、抗干擾能力強、使用范圍廣等優點。對于大多數干涉測量任務,都是通過分析薄膜表面和基底表面之間產生的干涉條紋的形狀和...
本發明涉及光學測量領域,并且特別地,涉及一種激光位移傳感器;光學傳感器是依據光學原理進行測量的儀器,這類傳感器有許多優點,例如,能夠實現非接觸和非破壞性測量、測量幾乎不受干擾、能夠實現高速傳輸以及可遙測、遙控、可實時處理等優點。光學傳感器包括很多類型,其中,以...
隨著科技的不斷進步 ,手機已經成為我們日常生活中不可或缺的一部分。然而,隨著手機功能的不斷擴展和提升,手機零部件的質量和精度要求也越來越高。為了滿足這一需求,高精度光譜共焦傳感器被引入到手機零部件檢測中,為手機制造業提供了一種全新的解決方案。高精度光譜共焦傳感...
隨著科學技術的迅猛發展,具有非接觸、高精度、穩定性好、可自動化及易于與計算機相結合等特點的激光位移檢測技術在自動檢測、機器人視覺、計算機輔助設計與制造等領域得到了廣泛的應用,已將逐漸取代傳統的接觸式檢測技術,成為現代檢測技術很重要的手段和方法。非接觸式激光平面...
如權利要求4所述的激光位移傳感器檢驗校準裝置,其特征在于:所述電子測量儀包括一電子千分表以及一千分表夾持裝置;所述電子千分表夾持在所述千分表夾持裝置上,所述千分表夾持裝置一端抵接于所述延伸部,另一端抵接于所述橫向蝸桿上。如權利要求1所述的激光位移傳感器檢驗校準...