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對(duì)光譜共焦位移傳感器原理進(jìn)行理解與分析得出，想得到的理想鏡頭應(yīng)該具備以下性能：首先需要其產(chǎn)生較大的軸向色差，通常需要對(duì)鏡頭進(jìn)行消色差措施，而對(duì)于此傳感器需要利用其色差進(jìn)行測(cè)量，并且還需將其擴(kuò)大化，其次產(chǎn)生軸向色差后在軸上的焦點(diǎn)會(huì)由于單色光球差的問題導(dǎo)致光譜曲線...

為了提高加工檢測(cè)效率，實(shí)現(xiàn)尺寸形位公差與微觀輪廓的同平臺(tái)測(cè)量，提出一種基于光譜共焦位移傳感器在現(xiàn)場(chǎng)坐標(biāo)測(cè)量平臺(tái)上集成表面粗糙度測(cè)量的方法。搭建實(shí)驗(yàn)測(cè)量系統(tǒng)且在Lab VIEW平臺(tái)上開發(fā)系統(tǒng)的硬件通訊控制模塊，并配套了高斯輪廓濾波處理及表面粗糙度的評(píng)價(jià)環(huán)境，建立...

光纖白光干涉測(cè)量使用的是寬譜光源。光源的輸出光功率和中心波長(zhǎng)的穩(wěn)定性是光源選取時(shí)需要重點(diǎn)考慮的參數(shù)。論文所設(shè)計(jì)的解調(diào)系統(tǒng)是通過檢測(cè)干涉峰值的中心波長(zhǎng)的移動(dòng)實(shí)現(xiàn)的，所以光源中心波長(zhǎng)的穩(wěn)定性將對(duì)實(shí)驗(yàn)結(jié)果產(chǎn)生很大的影響。實(shí)驗(yàn)中我們所選用的光源是由INPHENIX公司...

薄膜是指分子、原子或者是離子在基底表面沉積形成的一種特殊的二維材料。近幾十年來，隨著材料科學(xué)和鍍膜工藝的不斷發(fā)展，厚度在納米量級(jí)（幾納米到幾百納米范圍內(nèi)）薄膜的研究和應(yīng)用迅速增加。與體材料相比，因?yàn)榧{米薄膜的尺寸很小，使得表面積與體積的比值增加，表面效應(yīng)所表現(xiàn)...

干涉測(cè)量法[9-10]是基于光的干涉原理實(shí)現(xiàn)對(duì)薄膜厚度測(cè)量的光學(xué)方法，是一種高精度的測(cè)量技術(shù)。采用光學(xué)干涉原理的測(cè)量系統(tǒng)一般具有結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，成本低廉，穩(wěn)定性好，抗干擾能力強(qiáng)，使用范圍廣等優(yōu)點(diǎn)。對(duì)于大多數(shù)的干涉測(cè)量任務(wù)，都是通過薄膜表面和基底表面之間產(chǎn)生的干涉條紋...

液晶玻璃基板品質(zhì)管控要求嚴(yán)格、設(shè)備精度要求高，傳統(tǒng)的接觸式測(cè)厚裝置因其測(cè)量精度差、測(cè)量頻次有限而無法形成連續(xù)測(cè)量、接觸式測(cè)量裝置損耗快，需頻繁定期更換等不足，已無法滿足當(dāng)前生產(chǎn)要求。激光測(cè)厚裝置的應(yīng)用有效彌補(bǔ)了接觸式測(cè)厚裝置的不足，從效率、精度、準(zhǔn)度、連續(xù)性、...

光譜共焦位移傳感器作為一種新型位移傳感器，因?yàn)槠錅y(cè)量精度高，對(duì)于雜光等干擾光線傳感器不敏感具有較強(qiáng)的抵抗能力等特點(diǎn)，應(yīng)用前景十分大量。文章通過對(duì)原理的分析，設(shè)計(jì)了一款色散鏡頭使用H-K9L和H-ZF4A玻璃，采用正負(fù)透鏡組分離結(jié)構(gòu)組合形成鏡頭組，使用凹凸透鏡補(bǔ)...

在操作高精度光譜共焦傳感器時(shí)，有一些重要的注意事項(xiàng)需要遵守。首先，需要確保設(shè)備處于穩(wěn)定的環(huán)境中，避免外部振動(dòng)或干擾對(duì)傳感器的影響。其次，在使用過程中要注意保持設(shè)備的清潔和維護(hù)，避免灰塵或污垢影響傳感器的準(zhǔn)確性。另外，操作人員需要嚴(yán)格按照設(shè)備說明書中的操作步驟進(jìn)...

光譜共焦測(cè)量技術(shù)是共焦原理和編碼技術(shù)的融合。一個(gè)完整的相對(duì)高度范疇能夠通過使用白光燈燈源照明燈具和光譜儀完成精確測(cè)量。光譜共焦位移傳感器的精確測(cè)量原理如下圖1所顯示，燈源發(fā)出光經(jīng)過光纖，再通過超色差鏡片，超色差鏡片能夠聚焦在直線光軸上，產(chǎn)生一系列可見光聚焦點(diǎn)。...

薄膜是指分子、原子或者是離子在基底表面沉積形成的一種特殊的二維材料。近幾十年來，隨著材料科學(xué)和鍍膜工藝的不斷發(fā)展，厚度在納米量級(jí)（幾納米到幾百納米范圍內(nèi)）薄膜的研究和應(yīng)用迅速增加。與體材料相比，因?yàn)榧{米薄膜的尺寸很小，使得表面積與體積的比值增加，表面效應(yīng)所表現(xiàn)...

由于光譜共焦傳感器對(duì)于不同的反射面反射回來的單色光的波長(zhǎng)不同，因此對(duì)于材料的厚度精密測(cè)量具有獨(dú)特的優(yōu)勢(shì)。光學(xué)玻璃、生物薄膜、平行平板等，兩個(gè)反射面都會(huì)反射不同波長(zhǎng)的單色光，進(jìn)而只需一個(gè)傳感器，即可推算出厚度，測(cè)量精度可達(dá)微米量級(jí)，且不損傷被測(cè)表面。利用光譜共焦...

激光位移傳感器的光斑尺寸參數(shù)是指激光束所形成的光斑在被測(cè)物體表面的實(shí)際直徑大小。光斑尺寸對(duì)位移傳感器的測(cè)量精度和分辨率具有重要影響。因此，對(duì)光斑尺寸的測(cè)試是激光位移傳感器研究中的一個(gè)重要方面。測(cè)試方法主要是通過接收散射光信號(hào)計(jì)算光斑直徑大小，或者通過對(duì)被測(cè)物體...

隨著機(jī)械加工水平的不斷發(fā)展，各種的微小的復(fù)雜工件都需要進(jìn)行精密尺寸測(cè)量與輪廓測(cè)量，例如：小工件內(nèi)壁溝槽尺寸、小圓倒角等的測(cè)量，對(duì)于某些精密光學(xué)元件可以進(jìn)行非接觸的輪廓形貌測(cè)量，避免在接觸測(cè)量時(shí)劃傷光學(xué)表面，解決了傳統(tǒng)傳感器很難解決的測(cè)量難題。一些精密光學(xué)元件也...

靶丸殼層折射率、厚度及其分布參數(shù)是激光慣性約束聚變（ICF）物理實(shí)驗(yàn)中非常關(guān)鍵的參數(shù)，精密測(cè)量靶丸殼層折射率、厚度及其分布對(duì)ICF精密物理實(shí)驗(yàn)研究具有非常重要的意義。由于靶丸尺寸微小（亞毫米量級(jí)）、結(jié)構(gòu)特殊（球形結(jié)構(gòu)）、測(cè)量精度要求高，如何實(shí)現(xiàn)靶丸殼層折射率及...

自上世紀(jì)60年代起，利用X及β射線、近紅外光源開發(fā)的在線薄膜測(cè)厚系統(tǒng)廣泛應(yīng)用于西方先進(jìn)國(guó)家的工業(yè)生產(chǎn)線中。20世紀(jì)70年代后，為滿足日益增長(zhǎng)的質(zhì)檢需求，電渦流、電磁電容、超聲波、晶體振蕩等多種膜厚測(cè)量技術(shù)相繼問世。90年代中期，隨著離子輔助、離子束...

光譜共焦技術(shù)是在共焦顯微術(shù)基礎(chǔ)上發(fā)展而來，其無需軸向掃描，直接由波長(zhǎng)對(duì)應(yīng)軸向距離信息，從而大幅提高測(cè)量速度。而基于光譜共焦技術(shù)的傳感器是近年來出現(xiàn)的一種高精度、非接觸式的新型傳感器，精度理論上可達(dá) nm 量級(jí)。由于光譜共焦傳感器對(duì)被測(cè)表面狀況要求低，允許被測(cè)表...

開展白光干涉理論分析，在此基礎(chǔ)詳細(xì)介紹了白光垂直掃描干涉技術(shù)和白光反射光譜技術(shù)的基本原理，完成了應(yīng)用于靶丸殼層折射率和厚度分布測(cè)量實(shí)驗(yàn)裝置的設(shè)計(jì)及搭建。該實(shí)驗(yàn)裝置主要由白光反射光譜探測(cè)模塊、靶丸吸附轉(zhuǎn)位模塊、三維運(yùn)動(dòng)模塊、氣浮隔震平臺(tái)等幾部分組成，可實(shí)現(xiàn)靶丸的...

對(duì)同一靶丸相同位置進(jìn)行白光垂直掃描干涉，圖4-3是靶丸的垂直掃描干涉示意圖，通過控制光學(xué)輪廓儀的運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)帶動(dòng)干涉物鏡在垂直方向上的移動(dòng)，從而測(cè)量到光線穿過靶丸后反射到參考鏡與到達(dá)基底直接反射回參考鏡的光線之間的光程差，顯然，當(dāng)一束平行光穿過靶丸后，偏離靶丸中心...

隨著社會(huì)不斷的發(fā)展，我們智能能設(shè)備的進(jìn)化日新月異，人們已經(jīng)越來越追求個(gè)性化。愈發(fā)復(fù)雜的形狀意味著，對(duì)點(diǎn)膠設(shè)備提出更高的要求，需要應(yīng)對(duì)更高的點(diǎn)膠精度!更靈活的點(diǎn)膠角度!目前手機(jī)中板和屏幕模組貼合時(shí)，需要在中板上面點(diǎn)一圈透明的UV膠，這種膠由于白色反光的原因，只能...

光譜共焦傳感器作為一種新型高精密傳感器，其測(cè) 量精密度可達(dá) 土 0.02%。開始產(chǎn)生在法國(guó)的，相較于光柵尺、容柵 或電感器電臺(tái)廣播、電感器差動(dòng)變壓器式偏移傳感器，其在偏移測(cè)量方面的優(yōu)勢(shì)更加明顯。現(xiàn)如今，因?yàn)楣庾V共焦傳感器擁有高精密、，因而，其在幾何量高精密測(cè)量...

光譜共焦位移傳感器基本原理如圖1所示，由光源、分光鏡、光學(xué)色散鏡頭組、小孔以及光譜儀等部分組成。傳感器通過色散鏡頭進(jìn)行色散，將位移信息轉(zhuǎn)換成波長(zhǎng)信息，使用光譜儀進(jìn)行光譜分解得出波長(zhǎng)的變化信息，再反解得出被測(cè)位移。其中色散鏡頭作為光學(xué)部分完成了波長(zhǎng)和位移的一一映...

表面粗糙度是指零件在加工過程中由于不同的加工方法、機(jī)床與刀具的精度、振動(dòng)及磨損等因素在工件加工表面上形成的具有較小間距和較小峰谷的微觀水平狀況，是表面質(zhì)量的一個(gè)重要衡量指標(biāo)，關(guān)系零件的磨損、密封、潤(rùn)滑、疲勞、研和等機(jī)械性能。表面粗糙度測(cè)量主要可分為接觸式測(cè)量和...

共焦測(cè)量方法由于具有高精度的三維成像能力，已經(jīng)大量用于表面輪廓與三維精細(xì)結(jié)構(gòu)的精密測(cè)量。本文通過分析白光共焦光譜的基本原理，建立了透明靶丸內(nèi)表面圓周輪廓測(cè)量校準(zhǔn)模型;同時(shí)，基于白光共焦光譜并結(jié)合精密旋轉(zhuǎn)軸系，建立了靶丸內(nèi)表面圓周輪廓精密測(cè)量系統(tǒng)和靶丸圓心精密定...

硅片柵線的厚度測(cè)量方法我們還用創(chuàng)視智能TS-C系列光譜共焦傳感器和CCS控制器，TS-C系列光譜共焦位移傳感器能夠?qū)崿F(xiàn)0.025 μm的重復(fù)精度，±0.02% of F.S.的線性精度，10kHz的測(cè)量速度，以及±60°的測(cè)量角度，能夠適應(yīng)鏡面、透明、半透明、...

在塑料薄膜及透明材料薄厚測(cè)量層面，朱萬彬等闡述了光譜共焦傳感器在測(cè)量全透明平板電腦的平整度時(shí)，由全透明平板電腦的折光率不同而引進(jìn)的測(cè)量誤差并進(jìn)行補(bǔ)償；曹太騰等基千三維數(shù)據(jù) 測(cè)量的機(jī)器視覺技術(shù)，利用光譜共焦傳感器對(duì)透明材料薄厚及弧形玻璃曲面薄厚進(jìn)行檢測(cè)。在外表粗...

激光位移傳感器在手機(jī)組裝行業(yè)中也有著廣泛的應(yīng)用。在手機(jī)制造過程中，需要對(duì)各個(gè)組件進(jìn)行精確的測(cè)量，以確保其質(zhì)量和可靠性。其中，激光位移傳感器可以應(yīng)用于段差測(cè)量。通過將激光發(fā)射光束投射到被測(cè)組件表面，利用漫反射效應(yīng)接收反射光并將光信號(hào)轉(zhuǎn)換為電信號(hào)輸出，從而獲取被測(cè)...

根據(jù)以上分析可知，白光干涉時(shí)域解調(diào)方案的優(yōu)點(diǎn)是：①能夠?qū)崿F(xiàn)測(cè)量；②抗干擾能力強(qiáng)，系統(tǒng)的分辨率與光源輸出功率的波動(dòng)，光源的波長(zhǎng)漂移以及外界環(huán)境對(duì)光纖的擾動(dòng)等因素?zé)o關(guān)；③測(cè)量精度與零級(jí)干涉條紋的確定精度以及反射鏡的精度有關(guān)；④結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，成本較低。但是，時(shí)域解調(diào)方法...

表面粗糙度是指零件在加工過程中由于不同的加工方法、機(jī)床與刀具的精度、振動(dòng)及磨損等因素在工件加工表面上形成的具有較小間距和較小峰谷的微觀水平狀況，是表面質(zhì)量的一個(gè)重要衡量指標(biāo)，關(guān)系零件的磨損、密封、潤(rùn)滑、疲勞、研和等機(jī)械性能。表面粗糙度測(cè)量主要可分為接觸式測(cè)量和...

光譜共焦傳感器可以用于數(shù)碼相機(jī)的相位測(cè)距，可大幅提高相機(jī)的對(duì)焦精度和成像質(zhì)量。同時(shí)，還可以通過檢測(cè)相機(jī)的微小振動(dòng)，實(shí)現(xiàn)圖像的防抖和抗震功能。光譜共焦傳感器可以用于計(jì)算機(jī)硬盤的位移和振動(dòng)測(cè)量，從而實(shí)現(xiàn)對(duì)硬盤存儲(chǔ)數(shù)據(jù)的穩(wěn)定性和可靠性的實(shí)時(shí)監(jiān)控。在硬盤的生產(chǎn)過程中，...

集成于2D掃描系統(tǒng)上，光譜共焦位移傳感器可以提供針對(duì)負(fù)載表面形貌的2D和高度測(cè)量數(shù)據(jù)。創(chuàng)新的光譜共焦原理使本傳感器可以直接透過透明件工件的前后表面測(cè)量厚度，整個(gè)過程需要使用一個(gè)傳感器從工件的一個(gè)側(cè)面測(cè)量。相對(duì)于三角反射原理的激光位移傳感器，本儀器因采用同軸光，...