類金剛石膜DLC具有良好的生物相容性,許多實驗都發現它對蛋白質的吸附率高,對血小板的吸附率低,可以在不影響主體特征前提下,從多種途徑促進材料表面生成具有活性的功能簇,從而減少了血液凝固,使生物組織和植入的人工材料和平相處,減輕了患者的痛苦。DLC作為固體潤滑材料,減摩性和耐磨性都很好,這樣就降低了生物醫學材料的磨損,延長材料使用壽命。同時,DLC作為一種碳膜,是一種碳素生物醫學材料,在生理環境中呈化學惰性,不會引起生物化學反應。研究表明,金屬生物醫學材料磨損所產生的碎屑可以引起嚴重的組織反應,從而導致植入物周圍的骨損傷,引起裝置松動。DLC具有良好的耐磨性和生物化學惰性,研究表明鍍有DLC髖關...
類金剛石(DLC)膜良好耐磨損、耐腐蝕等性能為研發高壽命人工關節提供了新希望。分別綜述了采用常規摩擦學方法對DLC膜在鈷鉻合金、不銹鋼、鈦合金、超高分子量聚乙烯(UHMWPE)等人工關節材料表面和采用模擬試驗機方法對DLC膜在人工髖膝關節、人工椎間盤等假體的關節面發揮耐磨性、耐腐蝕性的應用和研究進展,對DLC膜失效機理和發展趨勢進行了總結和展望。上海英屹涂層技術有限公司引進美國PE-CVD設備技術制備的類金剛石DLC膜層沉積速率快膜厚可達60um膜層硬度高膜層摩擦系數低小于結合力好耐腐蝕性能好優異的耐磨性膜層具有自潤滑性的優點。可以解決PVD涂層鍍不到的工件內孔的問題。公司涂層已經應用于航空機...
類金剛石碳膜(diamond-likecarbonfilms,簡稱DLC膜),是含有類似金剛石結構的非晶碳膜,也是我們在這里真正需要介紹的一種。DLC膜的基本成分是碳,由于其碳的來源和制備方法的差異,DLC膜可分為含氫和不含氫兩大類。DLC膜是一種亞穩態長程無序的非晶材料,碳原子間的鍵合方式是共價鍵,主要包含sp2和sp3兩種雜化鍵,在含氫DLC膜中還存在一定數量的C-H鍵。我們從1996年起開始磁過濾真空弧及沉積DLC膜研究,正在完善工業化技術。如等離子體源沉積法、離子束源沉積法、孿生中頻磁控濺射法、真空陰極電弧沉積法和脈沖高壓放點等。DLC(類金剛石鍍膜(Diamond-like carb...
采用直流磁控濺射法在硅基底上交替沉積類金剛石碳(DLC)和氮化碳(CNx)薄膜,制備了不同DLC層厚度的CNx/DLC納米多層膜.使用X射線衍射、場發射掃描電子顯微鏡、X射線光電子譜、Raman光譜等測試手段表征了薄膜的微觀組織形貌、化學成分和原子價鍵結構等.采用原位納米壓入技術、涂層附著力劃痕儀、球盤式摩擦磨損試驗機對薄膜的力學和摩擦學性能進行了測試.結果表明:所制備的CNx/DLC多層膜均為微晶或非晶結構,組織致密.隨著DLC層厚度的減小,多層膜內sp3雜化鍵的含量先升高后下降,壓應力由135MPa增至538MPa,結合力先上升后降低,而磨損率則呈相反變化趨勢.多層膜在大氣和真空中的摩擦因...
類金剛石碳膜(diamond-likecarbonfilms,簡稱DLC膜),是含有類似金剛石結構的非晶碳膜,也是我們在這里真正需要介紹的一種。DLC膜的基本成分是碳,由于其碳的來源和制備方法的差異,DLC膜可分為含氫和不含氫兩大類。DLC膜是一種亞穩態長程無序的非晶材料,碳原子間的鍵合方式是共價鍵,主要包含sp2和sp3兩種雜化鍵,在含氫DLC膜中還存在一定數量的C-H鍵。我們從1996年起開始磁過濾真空弧及沉積DLC膜研究,正在完善工業化技術。如等離子體源沉積法、離子束源沉積法、孿生中頻磁控濺射法、真空陰極電弧沉積法和脈沖高壓放點等。更多詳情,歡迎咨詢:上海英屹涂層技術有限公司!什么是類金...
類金剛石薄膜通常又被人們稱為DLC薄膜,是英文詞匯DiamondLikeCarbon的簡稱,它是一類性質近似于金剛石,具有高硬度.高電阻率.良好光學性能等,同時又具有自身獨特摩擦學特性的非晶碳薄膜。碳元素因碳原子和碳原子之間的不同結合方式,從而使其終產生不同的物質:金剛石(diamond)-碳碳以sp3鍵的形式結合;石墨(graphite)-碳碳以sp2鍵的形式結合;而如同緒論里所述類金剛石(DLC)-碳碳則是以sp3和sp2鍵的形式結合,生成的無定形碳的一種亞穩定形態,它沒有嚴格的定義,可以包括很寬性質范圍的非晶碳,因此兼具了金剛石和石墨的優良特性;所以由類金剛石而來的DLC膜同樣是一種亞穩...
隨著現代科學技術的不斷進步,普通硬質涂層和超硬涂層有了明顯的發展,部分涂層已經在某些領域實現了應用。主要介紹了氮化物、碳化物、氧化物、硼化物等普通硬質涂層和金剛石、類金剛石(DLC)、cBN、納米多層結構涂層及納米復合涂層等超硬涂層的性能、應用、制備技術及其發展趨勢,并對部分常見涂層面臨的性能改進及其今后可能的發展方向進行了探討。上海英屹涂層技術有限公司引進美國PE-CVD設備技術制備的類金剛石DLC膜層沉積速率快膜厚可達60um膜層硬度高膜層摩擦系數低小于結合力好耐腐蝕性能好優異的耐磨性膜層具有自潤滑性的優點。可以解決PVD涂層鍍不到的工件內孔的問題。公司涂層已經應用于航空機械模具電子醫療汽...
類金剛石膜有望代替SO2成為下一代集成電路的介質材料。近年來,類金剛石膜在微電子領域的應用,逐漸成為熱點。采用類金剛石膜和碳膜交替出現的多層膜結構構造成的多量子阱結構,具有共振隧道效應的和獨特的電特性,在微電子領域有著潛在的應用前景。類金剛石膜具有良好的表面平面光滑度,電子發射均勻性好,并且其具有負的電子親和勢,有效功函數相對較低的和較寬的禁帶寬度,即使在較低的外電場作用下,也可產生較大的發生電流,這個性能在平板顯示器中有著特殊的使用價值。上海冶金所研制的DLC平面柱狀陣列場發射平板顯示器樣品就是利用了這一原理。類金剛石薄膜的微觀結構與其物理特性。無錫工具類金剛石技術類金剛石碳膜(diamon...
采用磁控濺射的方法,利用氬氣和甲烷為氣源,在中國較早汽車股份有限公司自主研發的發動機配氣機構的挺柱上制備類金剛石(DLC)薄膜.利用摩擦磨損試驗機和發動機配氣機構試驗臺架,研究了DLC涂層挺柱的摩擦學行為及其對發動機節能的影響.試驗結果表明,在邊界潤滑條件下,DLC涂層挺柱的摩擦因數比原零件降低67%,抗磨損性能大幅度提高;在實際使用工況下,配氣機構的摩擦損失降低6%.DLC涂層零件可以降低發動機摩擦損失,適用于汽車低碳技術路線.上海英屹涂層技術有限公司引進美國PE-CVD設備技術制備的類金剛石DLC膜層沉積速率快膜厚可達60um膜層硬度高膜層摩擦系數低小于結合力好耐腐蝕性能好優異的耐磨性膜層...
類金剛石薄膜(Diamond—likecarbonfilms)發現于20世紀70年代,是一系列含有sp3和sp2鍵的非晶碳膜,它有著和金剛石膜非常接近的性質——高硬度、高彈性模量、耐磨損、低摩擦系數、高電阻率、高透光率和高化學穩定性等。因此,類金剛石薄膜技術被廣泛應用到機械、電子、光學和醫學等各個領域。摻雜的DLC膜是一種非晶半導體材料,禁帶寬度可以在1—4eV之間調制,可大面積生長,材料自身和加工過程環保,在光電探測領域的運用具有非常大的潛力。但目前DLC半導體摻雜尚無法獲得n型或者p型DLC半導體材料。上海英屹涂層技術有限公司引進美國PE-CVD設備技術制備的類金剛石DLC膜層沉積速率快膜...
采用直流磁控濺射法在硅基底上交替沉積類金剛石碳(DLC)和氮化碳(CNx)薄膜,制備了不同DLC層厚度的CNx/DLC納米多層膜.使用X射線衍射、場發射掃描電子顯微鏡、X射線光電子譜、Raman光譜等測試手段表征了薄膜的微觀組織形貌、化學成分和原子價鍵結構等.采用原位納米壓入技術、涂層附著力劃痕儀、球盤式摩擦磨損試驗機對薄膜的力學和摩擦學性能進行了測試.結果表明:所制備的CNx/DLC多層膜均為微晶或非晶結構,組織致密.隨著DLC層厚度的減小,多層膜內sp3雜化鍵的含量先升高后下降,壓應力由135MPa增至538MPa,結合力先上升后降低,而磨損率則呈相反變化趨勢.多層膜在大氣和真空中的摩擦因...
類金剛石膜DLC具有良好的光學特性,高的光學透過率,光散射吸收少,其折射率可以依沉積條件的不同在。它的光學帶隙的范圍為。類金剛石膜在光學領域備受關注的主要原因,是因為它在紅外和微波頻段的光學折射率和透過性都很高。類金剛石膜與常見的ZnS,ZnSe等紅外材料相比,它具有機械強度高和耐腐蝕等優點。在Ge片上沉積類金剛石膜,然后用作CO2激光器發射窗口,透射率和表面硬度都有明顯提高,從而使激光器的效率提高了。類金剛石膜光學性能非常優越,其在紅外范圍內透明度高,而且具備耐磨損,高硬度等性能。從而使其能夠滿足紅外光學元件對單層減反射涂層的要求,使其可用作為一種光學儀器的紅外增透保護膜。此外,類金剛石膜(...
采用磁控濺射的方法,利用氬氣和甲烷為氣源,在中國較早汽車股份有限公司自主研發的發動機配氣機構的挺柱上制備類金剛石(DLC)薄膜.利用摩擦磨損試驗機和發動機配氣機構試驗臺架,研究了DLC涂層挺柱的摩擦學行為及其對發動機節能的影響.試驗結果表明,在邊界潤滑條件下,DLC涂層挺柱的摩擦因數比原零件降低67%,抗磨損性能大幅度提高;在實際使用工況下,配氣機構的摩擦損失降低6%.DLC涂層零件可以降低發動機摩擦損失,適用于汽車低碳技術路線.上海英屹涂層技術有限公司引進美國PE-CVD設備技術制備的類金剛石DLC膜層沉積速率快膜厚可達60um膜層硬度高膜層摩擦系數低小于結合力好耐腐蝕性能好優異的耐磨性膜層...
固體潤滑薄膜材料具有優異的摩擦學性能,可以有效降低相對運動摩擦副之間的摩擦磨損,是汽車節能減排技術的重要研究方向.對固體潤滑薄膜尤其是DLC薄膜的摩擦學性能進行了介紹,研究了其在高壓柴油噴射系統和發動機挺柱等零部件上的應用.臺架試驗結果表明,DLC薄膜可以有效降低發動機挺柱和柱塞等零部件表面的摩擦系數,減少供油和配氣系統的摩擦損失,從而提高發動機的燃油經濟性.上海英屹涂層技術有限公司引進美國PE-CVD設備技術制備的類金剛石DLC膜層沉積速率快膜厚可達60um膜層硬度高膜層摩擦系數低小于結合力好耐腐蝕性能好優異的耐磨性膜層具有自潤滑性的優點。可以解決PVD涂層鍍不到的工件內孔的問題。公司涂層已...
隨著技術及航空航天技術的發展,紅外技術越來越受到人們的重視,在及航天領域有著舉足輕重的作用。紅外光學元件的工作環境往往非常惡劣,如空-空導彈、超音速飛機等裝備光電系統的紅外窗口,需要承受灰塵、高溫、高壓、雨淋、冰雹撞擊、熱沖擊等嚴峻考驗,因此對紅外窗口材料的性能要求越來越苛刻,既要求材料在工作波段具有優良的光學性能,還要求材料具有優良的力學、耐磨損、耐高溫、耐腐蝕等性能。常作為紅外窗口的材料有鍺(Ge)、硫化鋅(ZnS)、硒化鋅(ZnSe)、砷化鎵(GaAs)、氟化鎂(MgF2)、藍寶石(sapphire)、尖晶石等,但這些材料在應用中都存在著一些問題,例如,Ge在高溫時透過率下降;GaAs制...
固體潤滑薄膜材料具有優異的摩擦學性能,可以有效降低相對運動摩擦副之間的摩擦磨損,是汽車節能減排技術的重要研究方向.對固體潤滑薄膜尤其是DLC薄膜的摩擦學性能進行了介紹,研究了其在高壓柴油噴射系統和發動機挺柱等零部件上的應用.臺架試驗結果表明,DLC薄膜可以有效降低發動機挺柱和柱塞等零部件表面的摩擦系數,減少供油和配氣系統的摩擦損失,從而提高發動機的燃油經濟性.上海英屹涂層技術有限公司引進美國PE-CVD設備技術制備的類金剛石DLC膜層沉積速率快膜厚可達60um膜層硬度高膜層摩擦系數低小于結合力好耐腐蝕性能好優異的耐磨性膜層具有自潤滑性的優點。可以解決PVD涂層鍍不到的工件內孔的問題。公司涂層已...
表面硬質涂層硬度的檢測方法,并分別利用顯微硬度計和納米壓入儀對類金剛石(DLC)涂層進行了硬度檢測試驗,運用Jonsson-Hogmark提出的顯微硬度模型進行了涂層本征硬度的推算,并與納米壓入硬度進行了對比分析,結果表明,在加載力為1N時,兩者具有較好的一致性,推算結果可信.上海英屹涂層技術有限公司引進美國PE-CVD設備技術制備的類金剛石DLC膜層沉積速率快膜厚可達60um膜層硬度高膜層摩擦系數低小于0.1結合力好耐腐蝕性能好優異的耐磨性膜層具有自潤滑性的優點。可以解決PVD涂層鍍不到的工件內孔的問題。公司涂層已經應用于航空機械模具電子醫療汽車發動機部件等領域。類金剛石薄膜(DLC)的制備...
隨著現代科學技術的不斷進步,普通硬質涂層和超硬涂層有了明顯的發展,部分涂層已經在某些領域實現了應用。主要介紹了氮化物、碳化物、氧化物、硼化物等普通硬質涂層和金剛石、類金剛石(DLC)、cBN、納米多層結構涂層及納米復合涂層等超硬涂層的性能、應用、制備技術及其發展趨勢,并對部分常見涂層面臨的性能改進及其今后可能的發展方向進行了探討。上海英屹涂層技術有限公司引進美國PE-CVD設備技術制備的類金剛石DLC膜層沉積速率快膜厚可達60um膜層硬度高膜層摩擦系數低小于結合力好耐腐蝕性能好優異的耐磨性膜層具有自潤滑性的優點。可以解決PVD涂層鍍不到的工件內孔的問題。公司涂層已經應用于航空機械模具電子醫療汽...
涂層刀具結合了基體度高韌性以及涂層高硬度高耐磨性的特點,可以提高刀具壽命和加工效率.類金剛石薄膜(DLC)是由無序sp3鍵、sp2鍵、sp1鍵配位碳原子混合而成,具有一系列與金剛石膜相類似的性能(如熱導率高,熱膨脹系數小,化學穩定性好,硬度和彈性模量高,耐磨性好及摩擦系數低等)以及優異的耐摩擦性能和自潤滑特性,因此成為高速鋼和硬質合金刀具理想的表面改性膜.DLC薄膜起源于20世紀70年代,其沉積方法主要有物理相沉積法(包括磁控濺射沉積、離子束沉積、脈沖激光沉積)和化學氣相沉積法,近幾年還發展了液相電化學沉積法.其表征方法主要有拉曼光譜、X射線光電子能譜(XPS)、原子力顯微鏡(AFM)等.DL...
隨著現代科學技術的不斷進步,普通硬質涂層和超硬涂層有了明顯的發展,部分涂層已經在某些領域實現了應用。主要介紹了氮化物、碳化物、氧化物、硼化物等普通硬質涂層和金剛石、類金剛石(DLC)、cBN、納米多層結構涂層及納米復合涂層等超硬涂層的性能、應用、制備技術及其發展趨勢,并對部分常見涂層面臨的性能改進及其今后可能的發展方向進行了探討。上海英屹涂層技術有限公司引進美國PE-CVD設備技術制備的類金剛石DLC膜層沉積速率快膜厚可達60um膜層硬度高膜層摩擦系數低小于結合力好耐腐蝕性能好優異的耐磨性膜層具有自潤滑性的優點。可以解決PVD涂層鍍不到的工件內孔的問題。公司涂層已經應用于航空機械模具電子醫療汽...
類金剛石膜DLC因其具有抗磨性、化學惰性、沉積溫度低、膜面光滑,可以將其作為一些電子產品的保護膜。如噴墨打印機墨盒加熱層上、磁存儲器的表面、錄音機磁頭極尖加一層類金剛石膜DLC保護層、不僅能有效的減少機械損傷,又不影響數據存儲。類金剛石膜具有電阻率高、絕緣性強、化學惰性高和低電子親和力等性能,且易在較大的基體上成膜。人們將類金剛石膜用作光刻電路板的掩膜,不僅可以避免操作過程中的機械損傷,還可以在去除薄膜表面的污染物允許用較激烈的機械或化學腐蝕方法,且同時不會破壞薄膜的表面,所以類金剛石膜有望代替SO2成為下一代集成電路的介質材料。金剛石膜和類金剛石膜的區別在什么地方?嘉定區銑刀類金剛石哪個好傳...
隨著現代科學技術的不斷進步,普通硬質涂層和超硬涂層有了明顯的發展,部分涂層已經在某些領域實現了應用。主要介紹了氮化物、碳化物、氧化物、硼化物等普通硬質涂層和金剛石、類金剛石(DLC)、cBN、納米多層結構涂層及納米復合涂層等超硬涂層的性能、應用、制備技術及其發展趨勢,并對部分常見涂層面臨的性能改進及其今后可能的發展方向進行了探討。上海英屹涂層技術有限公司引進美國PE-CVD設備技術制備的類金剛石DLC膜層沉積速率快膜厚可達60um膜層硬度高膜層摩擦系數低小于結合力好耐腐蝕性能好優異的耐磨性膜層具有自潤滑性的優點。可以解決PVD涂層鍍不到的工件內孔的問題。公司涂層已經應用于航空機械模具電子醫療汽...
為了提高活塞銷表面類金剛石(DLC)涂層的結合力及抗磨損性能,使用掃描電子顯微鏡、圓度儀、粗糙度儀等檢測設備對2種活塞銷DLC涂層表面、截面及涂層結合處的微觀形貌、組成元素和成分進行了對比分析,并對2種活塞銷進行了發動機臺架耐久試驗.結果表明:原樣件活塞銷耐久試驗后涂層大面積脫落且磨損嚴重,通過改變工藝參數將原樣件活塞銷進行優化,優化后的活塞銷DLC涂層表面的均勻性、平整性及光滑度都有了明顯改善,涂層厚度由μm增加到了μm,且粗糙度Ra值由原樣件的μm減小為μm,同時圓柱度也明顯減小,耐久試驗后涂層完好,沒有發生脫落.此研究為提高活塞銷表面質量,改善活塞銷在工作中的磨損及失效提供了參考。上海英...
采用磁控濺射的方法,利用氬氣和甲烷為氣源,在中國較早汽車股份有限公司自主研發的發動機配氣機構的挺柱上制備類金剛石(DLC)薄膜.利用摩擦磨損試驗機和發動機配氣機構試驗臺架,研究了DLC涂層挺柱的摩擦學行為及其對發動機節能的影響.試驗結果表明,在邊界潤滑條件下,DLC涂層挺柱的摩擦因數比原零件降低67%,抗磨損性能大幅度提高;在實際使用工況下,配氣機構的摩擦損失降低6%.DLC涂層零件可以降低發動機摩擦損失,適用于汽車低碳技術路線.上海英屹涂層技術有限公司引進美國PE-CVD設備技術制備的類金剛石DLC膜層沉積速率快膜厚可達60um膜層硬度高膜層摩擦系數低小于結合力好耐腐蝕性能好優異的耐磨性膜層...
類金剛石(DLC)薄膜與不銹鋼的結合強度是DLC薄膜應用于血管支架表面改性的關鍵技術問題.利用磁過濾陰極真空弧源沉積方法在316L不銹鋼表面沉積DLC薄膜,研究沉積時基體偏壓、薄膜厚度以及鈦過渡層對DLC薄膜與基體結合強度的影響.研究結果表明,316L表面制備相同厚度的DLC薄膜,采用-1000V脈沖偏壓制備的薄膜結合強度明顯優于-80V直流偏壓下制備的DLC薄膜;隨著DLC薄膜厚度的增大,DLC薄膜與316L基體的結合力下降;316L不銹鋼表面制備一層100nm的鈦過渡層之后可以改善DLC薄膜的結合狀況,并且經過20%的拉伸變形后,DLC薄膜完整,耐蝕性優于未表面處理的316L不銹鋼.以上研...
DLC膜的成分、結構和性能不同。類金剛石碳膜(Diamond-likecarbonfilms,簡稱DLC膜)作為新型的硬質薄膜材料具有一系列優異的性能,如高硬度、高耐磨性、高熱導率、高電阻率、良好的光學透明性、化學惰性等,可用于機械、電子、光學、熱學、聲學、醫學等領域,具有良好的應用前景。我們開發了等離子體-離子束源增強沉積系統,并同過該系統中的磁過濾真空陰極弧和非平衡磁控濺射來進行DLC膜的開發。該項技術用于電子、裝飾、宇航、機械和信息等領域,用于摩擦、光學功能等用途。目前在我國技術正處于發展和完善階段,有巨大市場潛力。淺談DLC薄膜在生活上面的運用。常州類金剛石涂層廠表面硬質涂層硬度的檢測...
類金剛石薄膜通常又被人們稱為DLC薄膜,是英文詞匯DiamondLikeCarbon的簡稱,它是一類性質近似于金剛石,具有高硬度.高電阻率.良好光學性能等,同時又具有自身獨特摩擦學特性的非晶碳薄膜。碳元素因碳原子和碳原子之間的不同結合方式,從而使其終產生不同的物質:金剛石(diamond)-碳碳以sp3鍵的形式結合;石墨(graphite)-碳碳以sp2鍵的形式結合;而如同緒論里所述類金剛石(DLC)-碳碳則是以sp3和sp2鍵的形式結合,生成的無定形碳的一種亞穩定形態,它沒有嚴格的定義,可以包括很寬性質范圍的非晶碳,因此兼具了金剛石和石墨的優良特性;所以由類金剛石而來的DLC膜同樣是一種亞穩...
類金剛石(DLC)膜良好耐磨損、耐腐蝕等性能為研發高壽命人工關節提供了新希望。分別綜述了采用常規摩擦學方法對DLC膜在鈷鉻合金、不銹鋼、鈦合金、超高分子量聚乙烯(UHMWPE)等人工關節材料表面和采用模擬試驗機方法對DLC膜在人工髖膝關節、人工椎間盤等假體的關節面發揮耐磨性、耐腐蝕性的應用和研究進展,對DLC膜失效機理和發展趨勢進行了總結和展望。上海英屹涂層技術有限公司引進美國PE-CVD設備技術制備的類金剛石DLC膜層沉積速率快膜厚可達60um膜層硬度高膜層摩擦系數低小于結合力好耐腐蝕性能好優異的耐磨性膜層具有自潤滑性的優點。可以解決PVD涂層鍍不到的工件內孔的問題。公司涂層已經應用于航空機...
隨著技術及航空航天技術的發展,紅外技術越來越受到人們的重視,在及航天領域有著舉足輕重的作用。紅外光學元件的工作環境往往非常惡劣,如空-空導彈、超音速飛機等裝備光電系統的紅外窗口,需要承受灰塵、高溫、高壓、雨淋、冰雹撞擊、熱沖擊等嚴峻考驗,因此對紅外窗口材料的性能要求越來越苛刻,既要求材料在工作波段具有優良的光學性能,還要求材料具有優良的力學、耐磨損、耐高溫、耐腐蝕等性能。常作為紅外窗口的材料有鍺(Ge)、硫化鋅(ZnS)、硒化鋅(ZnSe)、砷化鎵(GaAs)、氟化鎂(MgF2)、藍寶石(sapphire)、尖晶石等,但這些材料在應用中都存在著一些問題,例如,Ge在高溫時透過率下降;GaAs制...
類金剛石碳膜(diamond-likecarbonfilms,簡稱DLC膜),是含有類似金剛石結構的非晶碳膜,也是我們在這里真正需要介紹的一種。DLC膜的基本成分是碳,由于其碳的來源和制備方法的差異,DLC膜可分為含氫和不含氫兩大類。DLC膜是一種亞穩態長程無序的非晶材料,碳原子間的鍵合方式是共價鍵,主要包含sp2和sp3兩種雜化鍵,在含氫DLC膜中還存在一定數量的C-H鍵。我們從1996年起開始磁過濾真空弧及沉積DLC膜研究,正在完善工業化技術。如等離子體源沉積法、離子束源沉積法、孿生中頻磁控濺射法、真空陰極電弧沉積法和脈沖高壓放點等。更多詳情,歡迎咨詢:上海英屹涂層技術有限公司!DLC(類...