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所述蝸桿與斜齒輪相互嚙合，所述蝸桿的底端轉動連接有安裝板，所述安裝板遠離立柱一側的側壁上安裝有橫板，所述橫板遠離安裝板一端的底壁上安裝有固定夾板，所述橫板的頂壁上安裝有第二電機，所述第二電機的驅動端安裝有第1轉盤，所述第1轉盤遠離第二電機一側的側壁上安裝有轉軸，所述第1轉盤的外側設有三角形傳動件，所述轉軸與三角形傳動件的頂端轉動連接，所述三角形傳動件的底端貫穿橫板的頂壁并延伸至的橫板的下側，所述三角形傳動件的外側對稱設有兩個第二轉盤，兩個所述第二轉盤靠近三角形傳動件一側的側壁上同樣安裝有轉軸，兩個所述轉軸分別轉動在三角形傳動件的底端，兩個所述第二轉盤遠離三角形傳動件一側的側壁上均安裝有...

所述的伸展電機、所述的一級關節、所述的二級關節和所述的三級關節依次傳動，所述的手指固定座始終保持直線運動。上述技術方案中，的，所述的一級關節、所述的二級關節和所述的三級關節的傳動比為1:2:1。上述技術方案中，的，所述的伸展電機通過諧波減速機驅動所述一級伸展臂轉動。上述技術方案中，的，所述的一級關節上設置有一級同步輪，所述的二級關節上設置有二級同步輪，所述的一級同步輪和所述的二級同步輪通過一級同步帶傳動連接。上述技術方案中，的，所述的一級伸展臂內還設置有與所述一級同步帶相配合的一級張緊輪。上述技術方案中，的，所述的二級關節上設置有三級同步輪，所述的三級關節上設置有四級同步輪，所述的三級...

而不是全部的實施例。在本發明的描述中，需要理解的是，術語“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“頂”、“底”、“內”、“外”等指示的方位或位置關系為基于附圖所示的方位或位置關系，只是為了便于描述本發明和簡化描述，而不是指示或暗示所指的裝置或元件必須具有特定的方位、以特定的方位構造和操作，因此不能理解為對本發明的限制。如圖1-3所示，本發明的一種板材搬運自動化設備的機械手，包括立柱1，立柱1的底部安裝有滑輪，滑輪可配合滑軌等移動裝置以使得機械手的移動范圍更廣，立柱1的頂壁上安裝有第1電機2，第1電機2的驅動端安裝有斜齒輪8，立柱1的一側的側壁上安裝有兩個支撐板10，兩個支撐板1...

本發明能夠有效解決現有技術中機械手運行速度低，定位精度差的問題。本機械手包含3個軸，分別為升降軸、旋轉軸和伸展軸，其中伸展軸又包含3個關節，三個關節分別為一級關節、二級關節和三級關節，三個關節之間的傳動比為1:2:1，伸展電機通過諧波減速機驅動一級伸展臂轉動，通過一級關節、二級關節和三級關節之間設置有傳動結構，同時帶動二級伸展臂和手指固定座的移動，間接將第1級關節遠端的一級同步帶輪變為主動輪，通過這種結構，可以在一級伸展臂和二級伸展臂移動時，保持手指固定座的始終直線運動，既晶圓中心始終保持直線運動，晶圓的角度也保持不變。這種結構還提高了機械手整體強度，達到高速度運行和重復定位精度高的雙...

隔著所述電容器的配置位置在所述第1電力電路或所述第2電力電路所包含的電子元器件的配置位置的相反側存在所述檢測電路的配置位置。由此，能夠進一步增大第1電力電路與磁傳感器之間的間隔距離、或第2電力電路與磁傳感器之間的間隔距離。作為理想的技術方案，自所述電路基板的法線方向觀察時，隔著經過所述電路基板的中心的直線在所述第1電力電路或所述第2電力電路所包含的電子元器件的配置位置的相反側存在所述檢測電路的配置位置。由此，能夠進一步增大第1電力電路與磁傳感器之間的間隔距離、或第2電力電路與磁傳感器之間的間隔距離。作為理想的技術方案，還具備與所述電路基板相連接的連接器，自所述軸的軸向觀察時，所述連接器...

譬如增設可調節高度的支撐腿等滑道的固定方式也是可行的，這里不做詳細介紹。利用第1滑道200和第二滑道300的鉸接關系，可對兩個滑道的傾角進行調整，并較終通過絞索600來固定滑道位置。從而讓輸送滑道滿足輸送不同規格產品時，摩擦系數變化所帶來的影響。此外，對于長距離滑道運輸的場景，還可在上述實施例的基礎上增設前段滑道400和支撐腿500。前段滑道400底端搭接于第1滑道200的頂端，而其頂端對接于前段設備，在本實施例中，因為前段設備為一輸送皮帶，在前段滑道400的頂端增設有u字形缺口，貼合皮帶端頭的外形，同時為防止物料卡包，對u字形缺口的邊緣進行卷邊處理。為了對前段滑道400進行必要的支撐...

本發明涉及一種半導體制造技術，尤其是一種用于晶圓搬運的機械手。背景技術：在半導體加工設備中，經常需要將晶圓在各個工位之間進行傳送，在傳送的過程中，傳送精度越高，設備工藝一致性就越好，速度越快，單臺設備的產能就越大。隨著半導體工藝的發展，設備處理的工藝越來越復雜，對設備自動化程度、柔性化程度要求也越來越高，這就需要一種定位精度高，速度快的多自由度的機械手。技術實現要素：本發明針對現有技術中的不足，提供了一種晶圓搬運機械手，本發明的機械手在傳送過程中晶片中心始終保證直線運動，且角度不會發生改變。從而提高機械手整體剛度和承重能力，同時提高了重復定位精度。本發明結構合理性能穩定，維護方便，多功...

隔著所述第1電力電路所包含的電子元器件的配置位置在所述第1通孔的相反側存在所述控制電路所包含的電子元器件的配置位置。由此，能夠使自第1電力電路到達電動馬達的電流路徑遠離控制電路。作為理想的技術方案，所述第2線圈布線的所述第2部位自比所述第2電力電路所包含的電子元器件靠近所述電路基板的外周的位置連接于所述第2電力電路。由此，能夠使第2線圈布線遠離磁傳感器，能夠抑制因電流在第2線圈布線中流動而產生的磁場對磁傳感器造成的影響。作為理想的技術方案，所述電路基板具有與所述第2線圈布線的所述第2部位相連接的第2通孔，自所述電路基板的法線方向觀察時，在所述檢測電路的配置位置與所述第2通孔之間存在所述...

能夠抑制磁傳感器相對于磁體的振動。由此，能夠進一步將磁傳感器與磁體之間的間隔距離保持為恒定。磁傳感器能夠精度良好地檢測磁體的旋轉角度。作為理想的技術方案，所述彈性體具有環形狀，在自所述軸的軸向俯視時，所述通孔位于所述彈性體的環的內側。由此，當彈性體分別貼緊于壁部和電路基板時，壁部的環被電路基板封堵。由此，能夠防止異物自散熱器的第1面側進入壁部的環的內側。由于磁于壁部的環的內側，因此能夠抑制異物附著于磁體(發生污染)。作為理想的技術方案，所述壁部具有在與所述電路基板相對的面設置的槽部，所述彈性體能嵌入所述槽部。由此，易于將彈性體配置于壁部的與電路基板相對的面側。能夠防止彈性體相對于壁部錯...

根據不同客戶的不同的需求，費蘭智能設備一般都生產出不同類型的助力機械手產品，主要就是根據用戶的需求定制，其中包括軟索式助力機械手、硬臂式助力機械手、碼垛機械手、KBK軌道、助力機械臂等等。這些雖然名稱不相同但是大致組成結構有一定的形同部分的，也就是助力機械手主要的功能部件！一、主機部分：可實現不同重量物料的重力平衡狀態，適用于物料的精確移載操作。空載、滿載及處理不同工件時，系統可感知其重量變化，并實現載荷在三維空間中的浮動狀態，便于精確定位。全程平衡、運動順滑等特點，使得操作者可以很便捷地實現工件的搬運、定位、裝配等操作。剛性手臂可使機械手帶工件越過障礙；系統可始終保持機械手頭部的水平...

所述的伸展電機、所述的一級關節、所述的二級關節和所述的三級關節依次傳動，所述的手指固定座始終保持直線運動。上述技術方案中，的，所述的一級關節、所述的二級關節和所述的三級關節的傳動比為1:2:1。上述技術方案中，的，所述的伸展電機通過諧波減速機驅動所述一級伸展臂轉動。上述技術方案中，的，所述的一級關節上設置有一級同步輪，所述的二級關節上設置有二級同步輪，所述的一級同步輪和所述的二級同步輪通過一級同步帶傳動連接。上述技術方案中，的，所述的一級伸展臂內還設置有與所述一級同步帶相配合的一級張緊輪。上述技術方案中，的，所述的二級關節上設置有三級同步輪，所述的三級關節上設置有四級同步輪，所述的三級...

機械手主機是實現物料（或工件）在空中無重力化浮動狀態的主體裝置。機械手則是實現工件抓取，并完成用戶相應搬運和裝配要求的裝置。安裝結構則是根據用戶服務區域及現場狀況要求以支撐整套設備的機構。助力機械手產品系列為實現物料移載的省力操作，國內機械手的專業廠商已推出豐富的平衡吊機型，滿足不同行業中不同物料不同工藝要求的搬運需要。按工作原理不一樣，有臂桿式和軟索式。其中臂桿式平衡吊又因工作曲線差異，有PBF、PBC等；軟索式則因主體執行元件不同，分卷筒式（IRB）和直線氣缸式（PBB）、鋼絲繩式和鏈條式等。根據動力源不同，有氣動式和電動式（EBC）等。另外，按系統所采用基座不同，有落地固定式、落...

起到防滑作用。固定夾和轉動夾閉合后形成一個由四個沿圓周方向等間隔排列的圓弧形凹槽組成的空間，使得夾持件可以從兩個垂直的角度夾持艙壁助力扶手。根據本發明的一個方案，固定夾持機構與長度調整機構之間通過萬向球頭接頭結構連接。萬向球頭接頭結構中的球頭位于弧形槽中，并可在其中自由轉動。使得長度調整機構也可自由轉動，而航天員可通過鎖緊件來壓緊球頭，從而鎖定長度調整機構使其不再轉動。而位于弧形槽中的阻尼件則可在長度調整機構轉動到位后依靠其與球頭之間的摩擦力使轉動自動停止。根據本發明的一個方案，外調節桿可往復移動地套設在內調節桿上，內調節桿上設有多個固定孔。而外調節桿上設有開關結構。航天員可通過撥動開...

末端扶手301同樣為矩形框，有兩個長邊梁和兩個短邊梁組成。連桿302為圓柱形桿件，其可轉動地插在末端扶手301的一個長邊梁上，且該長邊梁與兩個短邊梁連接處為圓弧形。由此，末端扶手301可繞連桿302的軸線轉動。結合圖6可知，萬向接頭結構5包括球形槽501和第二球頭502。球形槽501為一個由兩部分組成的空心殼體，其一部分為截頭圓錐形殼體，另一部分為從截頭圓錐形殼體錐底向遠處延伸的一段球面殼體。截頭圓錐形殼體的錐頂固定在外調節桿202未開口的一端。而球形槽501的球面殼體部分遠離外調節桿202的一端設有開口。如圖9所示，第二球頭502固定在連桿302遠離末端扶手301的一端。其設置在球形...

如圖1至圖3所示，一種晶圓搬運機械手，包括升降軸1、旋轉軸2和伸展軸3，所述的伸展軸3包括伸展電機34、一級伸展臂31、二級伸展臂32和手指固定座33，所述的一級伸展臂31與所述伸展電機34之間設置有一級關節5，所述的一級伸展臂31與所述的二級伸展臂32之間設置有二級關節6，所述的二級伸展臂32和所述的手指固定座33之間設置有三級關節7。所述的伸展電機34通過諧波減速機35驅動所述一級伸展臂31轉動。所述的伸展電機34、所述的一級關節5、所述的二級關節6和所述的三級關節7依次傳動，所述的一級關節5、所述的二級關節6和所述的三級關節7的傳動比為1:2:1，根據本機械手的運動原理，所述的手...

蝸桿旋轉的同時通過與兩個支撐板的配合可將蝸桿底端安裝的安裝板進行提升，進而可對板材進行提升，操作完畢后，只需分別將第1電機與第二電機反轉，即可重復作業，除此之外立柱的底部安裝的滑輪可配合滑軌等移動裝置對機械手進行移動，以增加機械手對板材的移動范圍。本發明結構簡單易于實現，通過各個部件間的相互配合可對板材進行穩固的夾取并提升，節約了人力勞動提高了效率，除此之外機械手還可在惡劣的環境中進行操作，以保護人身安全。附圖說明圖1為本發明提出的一種板材搬運自動化設備的機械手的整體結構示意圖；圖2為本發明提出的一種板材搬運自動化設備的機械手的橫板與移動夾板的連接示意圖；圖3為本發明提出的一種板材搬運...

所述壁部與散熱器形成為一體。由此，在壁部與散熱器之間不存在接合的邊界，因此，能夠提高壁部與散熱器之間的連結強度。另外，壁部的材料與散熱器相同，例如是金屬。若壁部的材料為金屬，則在壁部的環的內側與外側之間能夠屏蔽磁場。作為理想的技術方案，所述散熱器具有設于所述第1面的凹部，所述壁部能嵌入所述凹部。由此，能夠分開制造散熱器和壁部。作為理想的技術方案，還具備設于所述壁部的內周面的磁屏蔽層。由此，即使壁部由樹脂制成，在壁部的環的內側與外側之間也能夠屏蔽磁場。再一技術方案的電動驅動裝置具備：電動馬達，其包含軸、與所述軸連動的馬達轉子、具有使所述馬達轉子旋轉的定子芯的馬達定子、每3相至少分成第1線...

而不是全部的實施例。在本發明的描述中，需要理解的是，術語“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“頂”、“底”、“內”、“外”等指示的方位或位置關系為基于附圖所示的方位或位置關系，只是為了便于描述本發明和簡化描述，而不是指示或暗示所指的裝置或元件必須具有特定的方位、以特定的方位構造和操作，因此不能理解為對本發明的限制。如圖1-3所示，本發明的一種板材搬運自動化設備的機械手，包括立柱1，立柱1的底部安裝有滑輪，滑輪可配合滑軌等移動裝置以使得機械手的移動范圍更廣，立柱1的頂壁上安裝有第1電機2，第1電機2的驅動端安裝有斜齒輪8，立柱1的一側的側壁上安裝有兩個支撐板10，兩個支撐板1...

對于本領域普通技術人員而言，在不付出創造性勞動的前提下，還可以根據這些附圖獲得其他的附圖。在針對本發明的實施方式進行描述時，術語“縱向”、“橫向”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“豎直”、“水平”、“頂”、“底”“內”、“外”所表達的方位或位置關系是基于相關附圖所示的方位或位置關系，其只是為了便于描述本發明和簡化描述，而不是指示或暗示所指的裝置或元件必須具有特定的方位、以特定的方位構造和操作，因此上述術語不能理解為對本發明的限制。下面結合附圖和具體實施方式對本發明作詳細地描述，實施方式不能在此一一贅述，但本發明的實施方式并不因此限定于以下實施方式。圖1是示意性表示根據...

而后依靠絞索固定滑道位置。從而讓輸送滑道不同產品時，通過改變傾角來適應摩擦系數的變化。符合同一生產線生產多規格產品的需要。附圖說明圖1是本實用新型實施例的結構示意圖；圖2是本實用新型實施例的鉸接組件結構示意圖；圖3是本實用新型實施例的絞索固定件的結構示意圖。具體實施方式為了使本實用新型的目的、技術方案及優點更加清楚明白，以下結合附圖及實施例，對本實用新型進行進一步詳細說明。應當理解，此處所描述的具體實施例只只用以解釋本實用新型，并不用于限定本實用新型。如圖1至圖2所示，本實用新型提供了一種輸送滑道，包括塔架100、第1滑道200和第二滑道300。因為塔架100要對鉸接組件130提供穩定...

本發明能夠有效解決現有技術中機械手運行速度低，定位精度差的問題。本機械手包含3個軸，分別為升降軸、旋轉軸和伸展軸，其中伸展軸又包含3個關節，三個關節分別為一級關節、二級關節和三級關節，三個關節之間的傳動比為1:2:1，伸展電機通過諧波減速機驅動一級伸展臂轉動，通過一級關節、二級關節和三級關節之間設置有傳動結構，同時帶動二級伸展臂和手指固定座的移動，間接將第1級關節遠端的一級同步帶輪變為主動輪，通過這種結構，可以在一級伸展臂和二級伸展臂移動時，保持手指固定座的始終直線運動，既晶圓中心始終保持直線運動，晶圓的角度也保持不變。這種結構還提高了機械手整體強度，達到高速度運行和重復定位精度高的雙...

能夠使第1線圈布線和第2線圈布線在與軸的軸向交叉的方向上進一步遠離磁傳感器。作為理想的技術方案，所述散熱器具有凹部和凸部中的一者，所述適配器具有所述凹部和所述凸部中的另一者，所述凸部能嵌入所述凹部。由此，能夠將適配器相對于散熱器定位。作為理想的技術方案，還具備配置于所述凹部的第1粘接劑，利用所述第1粘接劑將所述散熱器和所述適配器粘接起來。由此，能夠確保適配器不脫離散熱器。作為理想的技術方案，還具備：蓋體，其覆蓋所述電路基板；以及快速裝配機構，其將所述蓋體固定于所述散熱器，所述快速裝配機構的卡定部和被卡定部中的一者設于所述蓋體的外周部，所述卡定部和所述被卡定部中的另一者設于所述散熱器的外...

能夠抑制磁傳感器相對于磁體的振動。由此，能夠進一步將磁傳感器與磁體之間的間隔距離保持為恒定。磁傳感器能夠精度良好地檢測磁體的旋轉角度。作為理想的技術方案，所述彈性體具有環形狀，在自所述軸的軸向俯視時，所述通孔位于所述彈性體的環的內側。由此，當彈性體分別貼緊于壁部和電路基板時，壁部的環被電路基板封堵。由此，能夠防止異物自散熱器的第1面側進入壁部的環的內側。由于磁于壁部的環的內側，因此能夠抑制異物附著于磁體(發生污染)。作為理想的技術方案，所述壁部具有在與所述電路基板相對的面設置的槽部，所述彈性體能嵌入所述槽部。由此，易于將彈性體配置于壁部的與電路基板相對的面側。能夠防止彈性體相對于壁部錯...

該多個肋將所述壁部的外周面和所述第1面連結起來。由此，能夠提高壁部與散熱器之間的連結強度。作為理想的技術方案，所述多個肋沿著所述壁部的周圍以等間隔配置。由此，在壁部的周圍，能夠確保壁部與散熱器之間的連結強度不產生偏差。作為理想的技術方案，還具備帽，該帽安裝于所述壁部的靠所述電路基板側的端部，所述帽具有與所述磁體相對的頂板部和對所述頂板部的外周進行支承的緣部，所述頂板部的材料是樹脂。由此，從磁體發出的磁通能夠透過帽的頂板部，磁傳感器能夠檢測該磁通。不必為了使磁通透過而從壁部的端部拆下帽。因此，在電動驅動裝置的組裝工序中，不需要拆下帽的工序，能夠抑制工序數量的增大。另外，在電路基板安裝于散...

抓取運動的物件）情況，決定了手指是的大小、形狀、個數、種類配置和動作，而這些又決定了手指的抓取機能（即該手指能抓取的極限尺寸；手指對物件的約束和握緊程度；抓取精度-定位精度等）。2、手指的種類機械手的手指有機械式和吸盤式兩種形式。人手抓取物件時，手指常與手掌相對握緊。機械式手指沒有手掌，全靠手指握緊物件；而吸盤式手指則剛好相當于只有手掌吸附物件。機械式手指的應用比較。機械式手指常按指根的動作及手指的數目或手指的形狀進行分類。（1）按指根的動作不同分類回轉型手指：手指的張開與閉合是靠指根的回轉動作完成的。無關節手指的本體是一個直構件；固定關節指的本體是一個彎構件，即在指的中間處形成一個“...

其包含軸、與所述軸連動的馬達轉子、具有使所述馬達轉子旋轉的定子芯的馬達定子、每3相至少分成第1線圈組和第2線圈組這兩個系統且用3相交流電對所述定子芯進行勵磁的多個線圈組、以及在內側收納所述馬達轉子、所述馬達定子和所述多個線圈組的筒狀的殼體；電子控制裝置，其是為了對所述電動馬達進行驅動控制而設置的，包含設于所述軸的靠負載相反側的端部的磁體、以及位于所述軸的負載相反側且配置在所述軸的軸向的延長線上的電路基板；第1線圈布線，其將所述第1線圈組和所述電路基板連接起來；以及第2線圈布線，其將所述第2線圈組和所述電路基板連接起來，所述電路基板具有：檢測電路，其包含對所述磁體的旋轉進行檢測的磁傳感器...

機械手停止作業，避免意外的傷害。e）設備配套安全控制系統，在操作時，系統不會因為誤動作，而突然改變負載或空載壓力，因此機械手不會因此快速上升或下降而對人身、設備和產品造成傷害。助力機械手發展趨勢世界工業機械手均有高精化，高速化，多軸化，輕量化的發展趨勢。定位精度可以滿足微米及亞微米級要求，將機械手、柔性制造系統和柔性制造單元相結合，從而根本改變機械制造系統的人工操作狀態。隨著機械手的小型化和微型化，其應用領域將會突破傳統的機槭領域，而向著電子信息、生物技術、生命科學及航空航天等行業發展[3]。助力機械手助力機械手分類助力機械手分為：硬臂式助力機械手、軟索式助力機械手、折臂吊、電動平衡吊...

本發明涉及自動化設備技術領域，尤其涉及一種板材搬運自動化設備的機械手。背景技術：板材是做成標準大小的扁平矩形建筑材料板，應用于建筑行業，用來作墻壁、天花板或地板的構件。也多指鍛造、軋制或鑄造而成的金屬板。板材可劃分為薄板、中板、厚板、特厚板、通常做成標準大小的扁平矩形建筑材料板。現有技術中在板材的生產與搬運過程中依然存在著依靠人力勞動進行對板材的搬運，人力作業方式效率低下同時對于一些體積大質量比較重的板材搬運時往往無法進行操作，費時費力，除此之外對與在惡劣的環境中依靠人力便會對人體造成危害，因此針對此類問題需要進行改進。技術實現要素：本發明的目的是為了解決現有技術中存在的人力搬運板材費...

其將所述第1線圈組和所述電路基板連接起來；以及第2線圈布線，其將所述第2線圈組和所述電路基板連接起來，所述電路基板具有：檢測電路，其包含對所述磁體的旋轉進行檢測的磁傳感器；第1電力電路，其包含向所述第1線圈組供給電流的多個電子元器件；第2電力電路，其包含向所述第2線圈組供給電流的多個電子元器件；以及控制電路，其包含對所述第1電力電路和所述第2電力電路中的至少一者所供給的電流進行控制的電子元器件，所述第1線圈布線和所述第2線圈布線均具有：第1部位，其在與所述軸的軸向交叉的方向上突出到所述殼體的外側；以及第2部位，其在所述外側自所述第1部位朝向所述電路基板突出，所述蓋體具有：蓋體主體；以及...

而不是全部的實施例。在本發明的描述中，需要理解的是，術語“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“頂”、“底”、“內”、“外”等指示的方位或位置關系為基于附圖所示的方位或位置關系，只是為了便于描述本發明和簡化描述，而不是指示或暗示所指的裝置或元件必須具有特定的方位、以特定的方位構造和操作，因此不能理解為對本發明的限制。如圖1-3所示，本發明的一種板材搬運自動化設備的機械手，包括立柱1，立柱1的底部安裝有滑輪，滑輪可配合滑軌等移動裝置以使得機械手的移動范圍更廣，立柱1的頂壁上安裝有第1電機2，第1電機2的驅動端安裝有斜齒輪8，立柱1的一側的側壁上安裝有兩個支撐板10，兩個支撐板1...