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本發明涉及玻璃減薄技術領域，具體涉及一種玻璃減薄設備。背景技術：隨著便攜式電子器件的發展，手機、平板等便攜式電子器件越來越纖細化及薄型化，因此需要制造較薄的玻璃基板。為了制造較薄的玻璃基板，目前的采用的方法是浸泡式減薄法。用浸泡式減薄法減薄玻璃是將玻璃減薄液放入玻璃減薄設備的反應槽中，然后將玻璃放入玻璃減薄液中放置一定時間，使玻璃減薄液與玻璃反應，實現玻璃減薄。目前的浸泡式減薄法中，反應產物會懸浮于玻璃減薄液中，然后再粘附在玻璃上，造成不良品；并且，這種方法容易造成蝕刻不均，導致進行減薄后還需要進行拋光處理，提高了制備成本。鑒于上述缺陷，本發明創作者經過長時間的研究和實踐終于獲得了本發...

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圖1為本發明實施例提供的一種拋光減薄裝置的結構示意圖；圖2為本發明實施例提供的一種托盤和待加工部件的鍵合固定方式示意圖；圖3為本發明實施例提供的一種磁轉子的結構示意圖；圖4為本發明實施例提供一種磁轉子的旋轉方式的示意圖；圖5為本發明實施例提供的一種拋光減薄方法的流程示意圖。具體實施方式以上是本發明的思想，為使本發明的上述目的、特征和優點能夠更加明顯易懂，下面將結合本發明實施例中的附圖，對本發明實施例中的技術方案進行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實施例是本發明一部分實施例，而不是全部的實施例?；诒景l明中的實施例，本領域普通技術人員在沒有做出創造性勞動前提下所獲得的所有其他實施例，都屬...

圖2為所述蝕刻區的結構示意圖；圖3為所述玻璃加工治具的種結構正視圖；圖4為所述玻璃加工治具的第二種結構正視圖；圖5為圖3中的局部放大圖；圖6為所述玻璃加工治具的結構俯視圖；圖7為所述底支撐件的結構正視圖；圖8為所述底支撐件的結構側視圖。圖中數字表示：1-轉換區；2-沖洗區；3-蝕刻區；4-玻璃加工治具；31-腔室；32-主厚度測量儀；33-噴淋組件；41-底座；42-支撐架；43-底支撐件；44-側支撐件；421-豎直平板；422-側板；423-固定板；424-水平槽；425-豎直槽；426-固定槽；427-固定卡塊；428-定位槽；429-定位孔；431-支撐條；432-第二支撐條；...

較佳的，所述沖洗區包括沖洗區、第二沖洗區和第三沖洗區，所述第二沖洗區設置于所述沖洗區和所述第三沖洗區之間，所述沖洗區設置于所述第二沖洗區和所述轉換區之間，所述第三沖洗區設置于所述第二沖洗區和所述蝕刻區之間。較佳的，所述沖洗區設置有輔助厚度測量儀。較佳的，所述第三沖洗區設置有第二輔助厚度測量儀。較佳的，所述轉換區設置為可升降的折疊式結構。較佳的，所述轉換區設置有裝卸臂。與現有技術比較本發明的有益效果在于：1，本發明中所述玻璃減薄生產線采用噴淋減薄的方式對豎直容納在玻璃加工治具中的玻璃進行減薄處理，可實現單次多片玻璃減薄，同時避免浸泡式減薄法中反應產物粘附在玻璃上造成不良品的問題；2，本發...

銅清洗劑品牌四輝科技系列清洗系列是否危險化學品否是否進口否產地廣東東莞主營產品：工業清洗劑表面處理劑研磨液拋光設備東莞市四輝表面處理有限公司所在地：廣東東莞在線詢價東莞凈徹供應銅光亮劑系列鍍銅光亮劑堿銅清洗劑類別銅光亮劑型號JC-031主要用途除油執行標準國家標準CAS2016主營產品：設備油污清洗劑金屬除油除銹劑除垢除銹劑水處理殺菌滅藻劑￥東莞市凈徹清洗劑科技有限公司所在地：廣東東莞在線詢價供應溫州甌北閥門酸洗清洗光亮劑主營產品：其他化學試劑工業用清洗劑其他加工助劑生化試劑￥溫州奧洋金屬表面處理有限公司所在地：浙江溫州在線詢價銅拋光光亮清洗劑是否進口否產地液體類別酸性清洗液型號JPL...

來對所述待加工表面進行減薄。可選地，還包括：在所述磁轉子運行一段時間后，更換所述磁轉子?？蛇x地，將待加工部件固定在托盤上包括：采用光刻膠將所述待加工部件固定在所述托盤上?？蛇x地，對所述待加工部件的待加工表面進行拋光和減薄之后，還包括：對所述待加工部件進行清洗；采用特定溶液對所述光刻膠進行腐蝕，以將所述待加工部件與所述托盤分離。與現有技術相比，本發明所提供的技術方案具有以下優點：本發明所提供的拋光減薄裝置和拋光減薄方法，采用托盤固定待加工部件，采用噴頭向待加工部件的待加工表面噴涂拋光液，來對所述待加工表面進行拋光，采用磁轉子旋轉對待加工表面進行機械研磨，來對所述待加工表面進行減薄，由于減...

醬類,油類,膠水,其他主營產品：液體定量灌裝秤上下限檢測分選秤粉粒體定量包裝秤稱重相關定制￥廣州市凡控自動化控制設備有限公司所在地：廣東廣州在線詢價供應***原裝長城采棉機清洗液歡迎采購咨詢價格從優品牌長城型號棉花主營產品：其他工業潤滑油其他添加劑其他石油燃料其他車用潤滑油￥東莞市金門石化有限公司所在地：在線詢價供應東莞D40溶劑油—涂料油漆稀釋劑—碳氫環保清洗劑溶劑油-中國東莞品牌長城型號D40環保溶劑油40℃運動粘度傾點-10比重粘度等級主營產品：其他工業潤滑油溶劑油其他醇類乳膠￥(英)茂名市正茂石化有限公司所在地：廣東茂名在線詢價60N基礎油10#白礦油無色無味環保溶劑油-肇慶鼎...

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實現玻璃與噴淋液充分均勻接觸的同時，控制玻璃的擺動幅度，提高玻璃在減薄過程中的安全性。實施例六所述主厚度測量儀32與所述蝕刻區3的內壁相鄰，并且具有滑動結構以移動到豎直容納在所述玻璃加工治具4內的玻璃之中的靠外玻璃附近，從而便于對玻璃厚度進行檢測；具體的，在所述控制器的控制下，所述主厚度測量儀32通過向玻璃發射激光束來實時測量玻璃厚度并且在玻璃正經歷滑動處理的同時將關于測得厚度的信息發送到所述控制器；所述控制器實時將預設的目標厚度與從所述主厚度測量儀32接收的測得玻璃厚度進行比較。如果確定從所述主厚度測量儀32接收的測得玻璃厚度達到目標厚度，則所述控制器停止減薄處理等操作，并且將所述玻...

免責聲明本網頁所展示的有關【RO清洗劑/納爾科清洗劑/OSM711清洗劑_清潔劑/清洗劑_深圳市華昊水處理技術有限公司】的信息/圖片/參數等由智慧環衛網的會員【深圳市華昊水處理技術有限公司】提供，由智慧環衛網會員【深圳市華昊水處理技術有限公司】自行對信息/圖片/參數等的真實性、準確性和合法性負責，本平臺（本網站）提供展示服務，請謹慎交易，因交易而產生的法律關系及法律由您自行協商解決，本平臺（本網站）對此不承擔任何責任。您在本網頁可以瀏覽【RO清洗劑/納爾科清洗劑/OSM711清洗劑_清潔劑/清洗劑_深圳市華昊水處理技術有限公司】有關的信息/圖片/價格等及提供【RO清洗劑/納爾科清洗劑/...

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LCD清洗劑光學鏡片清洗劑芯片模塊清洗劑清洗劑的清洗對象，包括各種電子元器件、CCD和CMOS圖像感應芯片及模塊、半導體生產裝置零件和腔體、醫療設備零部件、LCD/OLED顯示器、光學件、鏡片、精密加工零部件等。由于HFEs清洗劑與HCFC-141b性能接近，使用氫氟醚清洗劑進行替代的一個好處是可直接使用原有設備和工藝，無須增加太多的投資，對生產的擾動也較小。但目前我國市場上的HFEs清洗劑幾乎均為進口，價格相對較高。目前主要用于高附加值零件的清洗和一些特殊要求的清洗場合?？蓮囊韵聝蓚€方面著手，提高HFEs清洗劑使用的經濟性。一是通過完善清洗工藝加強對HFEs清洗劑的蒸餾回收和再生，提...

本發明提供如下技術方案：一種拋光減薄裝置，包括：托盤，用于固定待加工部件，所述待加工部件包括inp基晶圓；噴頭，用于向所述待加工部件的待加工表面噴涂拋光液，以對所述待加工表面進行拋光；磁轉子，放置在所述待加工部件的待加工表面上，用于通過旋轉對所述待加工表面進行機械研磨，對所述待加工表面進行減薄。可選地，還包括控制部件；所述控制部件與所述磁轉子和所述噴頭相連，用于控制所述噴頭和所述磁轉子交替工作，以對所述待加工表面交替進行拋光和減薄?？蛇x地，所述磁轉子包括截面為半圓形的柱狀磁性結構和位于所述磁性結構底部的研磨層，以通過所述研磨層對所述待加工表面進行機械研磨。可選地，所述研磨層為金屬氧化物...

降低待加工部件20如inp基晶圓的機械加工損傷。由于本發明實施例中采用光刻膠對托盤和待加工部件進行了固定，因此，對待加工部件的待加工表面進行拋光和減薄之后，還包括：對待加工部件進行清洗；采用特定溶液對光刻膠進行腐蝕，以將待加工部件與托盤分離。具體地，在完成拋光和減薄后，可以采用直鏈烷基苯磺酸鹽溶劑對待加工部件20進行清洗，用di水沖洗干凈，40℃的氮氣吹干。之后，將清洗后的待加工部件20和托盤10侵入60℃的nmp(n甲基吡咯烷酮)30min，使得待加工部件20和托盤10自動分離，取出待加工部件20后清洗干凈即可。本發明實施例提供的方法，還包括：在磁轉子運行一段時間后，更換磁轉子。如磁...

圖1為本發明實施例提供的一種拋光減薄裝置的結構示意圖；圖2為本發明實施例提供的一種托盤和待加工部件的鍵合固定方式示意圖；圖3為本發明實施例提供的一種磁轉子的結構示意圖；圖4為本發明實施例提供一種磁轉子的旋轉方式的示意圖；圖5為本發明實施例提供的一種拋光減薄方法的流程示意圖。具體實施方式以上是本發明的思想，為使本發明的上述目的、特征和優點能夠更加明顯易懂，下面將結合本發明實施例中的附圖，對本發明實施例中的技術方案進行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實施例是本發明一部分實施例，而不是全部的實施例?；诒景l明中的實施例，本領域普通技術人員在沒有做出創造性勞動前提下所獲得的所有其他實施例，都屬...

即兩所述側板422之間設置有一排所述固定板423，從而形成對應設置有所述側支撐件44的所述豎直平板421，在各所述放置部內放置有一排玻璃，可實現所述放置部結構的小型化，便于在同一所述玻璃加工治具4上設置若干所述放置部以使各所述放置部對應不同尺寸的玻璃。圖4為所述調節槽的另一種實施方式，所述調節槽包括若干所述水平槽424和與所述水平槽424均豎直貫通連接的所述豎直槽425，所述固定槽426設置于所述水平槽424的下邊緣；兩所述豎直平板421均設置有所述側支撐件44，同一所述水平槽424可設置兩個所述固定卡塊427，即兩所述側板422之間設置有兩排所述固定板423，兩所述固定板423分別對...

將待加工部件固定在托盤上包括：采用光刻膠將待加工部件固定在托盤上。具體地，將待加工部件背面噴涂厚度約為2μm的光刻膠，如az4620光刻膠，然后在托盤表面噴涂厚度約為3μm的光刻膠，如az4620光刻膠，之后，將托盤光刻膠面向上放于溫度為90℃的熱板上，將待加工部件光刻膠面和托盤光刻膠面貼合，在2×10-2mabr真空下，施加1bar壓強于待加工部件上進行鍵合，鍵合時間20min。s102：通過噴頭向待加工部件的待加工表面噴涂拋光液，來對待加工表面進行拋光；s103：通過磁轉子旋轉對待加工表面進行機械研磨，來對待加工表面進行減薄。可選地，本發明實施例中，s102和s103可以交替進行，...

實現玻璃與噴淋液充分均勻接觸的同時，控制玻璃的擺動幅度，提高玻璃在減薄過程中的安全性。實施例六所述主厚度測量儀32與所述蝕刻區3的內壁相鄰，并且具有滑動結構以移動到豎直容納在所述玻璃加工治具4內的玻璃之中的靠外玻璃附近，從而便于對玻璃厚度進行檢測；具體的，在所述控制器的控制下，所述主厚度測量儀32通過向玻璃發射激光束來實時測量玻璃厚度并且在玻璃正經歷滑動處理的同時將關于測得厚度的信息發送到所述控制器；所述控制器實時將預設的目標厚度與從所述主厚度測量儀32接收的測得玻璃厚度進行比較。如果確定從所述主厚度測量儀32接收的測得玻璃厚度達到目標厚度，則所述控制器停止減薄處理等操作，并且將所述玻...

7保質期24主營產品：工業清洗劑空調清洗劑水處理藥劑除銹除油劑￥所在地：四川眉山在線詢價供應鋁材防氧劑、銅保護劑、銅清洗劑產品名稱銅保護劑品牌FABLE/福邦系列36是否危險化學品否是否進口否主營產品：工業潤滑油自行車潤滑油鐘表加工潤滑油防水油食品級油格林潤滑科技（惠州）有限公司所在地：廣東惠州在線詢價KRB-206環保鋁、銅清洗劑鋁制品清洗劑強除油無腐蝕不變色類別堿性清洗液型號KRB-206主要用途金屬表面除油脫脂執行標準國標企標CAS略主營產品：切削液除銹劑防銹油防銹劑清洗劑除油粉中性除油除銹劑￥武漢科瑞博科技有限公司所在地：湖北武漢在線詢價生產廠家提供銅及其合金高效清洗劑1分鐘快...

較佳的，所述沖洗區包括沖洗區、第二沖洗區和第三沖洗區，所述第二沖洗區設置于所述沖洗區和所述第三沖洗區之間，所述沖洗區設置于所述第二沖洗區和所述轉換區之間，所述第三沖洗區設置于所述第二沖洗區和所述蝕刻區之間。較佳的，所述沖洗區設置有輔助厚度測量儀。較佳的，所述第三沖洗區設置有第二輔助厚度測量儀。較佳的，所述轉換區設置為可升降的折疊式結構。較佳的，所述轉換區設置有裝卸臂。與現有技術比較本發明的有益效果在于：1，本發明中所述玻璃減薄生產線采用噴淋減薄的方式對豎直容納在玻璃加工治具中的玻璃進行減薄處理，可實現單次多片玻璃減薄，同時避免浸泡式減薄法中反應產物粘附在玻璃上造成不良品的問題；2，本發...

若干所述側支撐件44固定設置在所述固定板423的端面上；所述固定板423兩端均設置有至少兩個固定卡塊427，所述固定卡塊427一般設置為矩形橫截面結構，便于所述固定板423端面的朝向定位；對應的，所述調節槽內設置有固定槽426，當所述固定板423兩端各自的兩所述固定卡塊427分別設置于對應的所述固定槽426內時，設置有所述側支撐件44的端面對應所述豎直平板421上的所述側支撐件44，且設置所述側支撐件44的所述豎直平板421和所述固定板423設置在所述底支撐件43的兩側，從而實現對所述盛放部內玻璃的支撐限位。其中，如圖3所示，所述側板422上所述調節槽的一種實施方式為，所述調節槽包括若...

產品名稱：LCD清洗劑光學鏡片清洗劑芯片模塊清洗劑產品鏈接：/zhizhangtianjiaji-qingxiji/手機版鏈接：，包括各種電子元器件、CCD和CMOS圖像感應芯片及模塊、半導體生產裝置零件和腔體、醫療設備零部件、LCD/OLED顯示器、光學件、鏡片、精密加工零部件等。由于HFEs清洗劑與HCFC-141b性能接近，使用氫氟醚清洗劑進行替代的一個好處是可直接使用原有設備和工藝，無須增加太多的投資，對生產的擾動也較小。但目前我國市場上的HFEs清洗劑幾乎均為進口，價格相對較高。目前主要用于高附加值零件的清洗和一些特殊要求的清洗場合?？蓮囊韵聝蓚€方面著手，提高HFEs清洗劑使...

本發明提供如下技術方案：一種拋光減薄裝置，包括：托盤，用于固定待加工部件，所述待加工部件包括inp基晶圓；噴頭，用于向所述待加工部件的待加工表面噴涂拋光液，以對所述待加工表面進行拋光；磁轉子，放置在所述待加工部件的待加工表面上，用于通過旋轉對所述待加工表面進行機械研磨，對所述待加工表面進行減薄。可選地，還包括控制部件；所述控制部件與所述磁轉子和所述噴頭相連，用于控制所述噴頭和所述磁轉子交替工作，以對所述待加工表面交替進行拋光和減薄?？蛇x地，所述磁轉子包括截面為半圓形的柱狀磁性結構和位于所述磁性結構底部的研磨層，以通過所述研磨層對所述待加工表面進行機械研磨。可選地，所述研磨層為金屬氧化物...

所述控制器用于控制減薄處理過程，具體的，在所述玻璃加工治具4從所述沖洗區2移動至所述腔室31內合適位置時打開所述噴淋組件33進行減薄處理操作，并在由所述主厚度測量儀32測得的玻璃厚度達到目標厚度時關閉所述噴淋組件33停止對玻璃進行的減薄處理，以及在減薄完成后控制所述玻璃加工治具4再次向所述沖洗區2移動。所述控制器在噴淋減薄過程中控制所述玻璃加工治具4在所述腔室31內的往復移動。一般的，所述噴淋組件33包括設置于所述腔室31頂部的噴淋頭、設置于所述腔室31底部的收集槽、以及與所述噴淋頭、所述收集槽均連通的外部噴淋液管路，通過所述噴淋頭對所述玻璃加工治具4上的玻璃噴淋噴淋液從而實現玻璃的減...

磁轉子12放置在待加工部件20的待加工表面上，用于通過旋轉對待加工部件20的待加工表面進行機械研磨，對待加工表面進行減薄。由于減薄過程中待加工部件20如inp基晶圓本身不旋轉，因此，可以降低拋光減薄過程中對待加工部件20如inp基晶圓的擠壓應力，降低待加工部件20如inp基晶圓的機械加工損傷。可選地，本發明實施例中通過光刻膠鍵合固定待加工部件20和托盤10。當然，本發明并不限于此，在其他實施例中，待加工部件20和托盤10還可以采用其他膠體進行鍵合固定?；诖?，如圖2所示，本發明實施例中的拋光減薄裝置還包括熱板14，該熱板14設置在托盤10底部，用于對托盤10進行加熱，以使待加工部件20...

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7保質期24主營產品：工業清洗劑空調清洗劑水處理藥劑除銹除油劑￥所在地：四川眉山在線詢價供應鋁材防氧劑、銅保護劑、銅清洗劑產品名稱銅保護劑品牌FABLE/福邦系列36是否危險化學品否是否進口否主營產品：工業潤滑油自行車潤滑油鐘表加工潤滑油防水油食品級油格林潤滑科技（惠州）有限公司所在地：廣東惠州在線詢價KRB-206環保鋁、銅清洗劑鋁制品清洗劑強除油無腐蝕不變色類別堿性清洗液型號KRB-206主要用途金屬表面除油脫脂執行標準國標企標CAS略主營產品：切削液除銹劑防銹油防銹劑清洗劑除油粉中性除油除銹劑￥武漢科瑞博科技有限公司所在地：湖北武漢在線詢價生產廠家提供銅及其合金高效清洗劑1分鐘快...

所述控制器控制所述玻璃加工治具4在所述蝕刻區3內作往復移動，所述主厚度測量儀32測量玻璃厚度并且將關于測得厚度的信息實時發送到所述控制器；當測得玻璃厚度達到預設目標厚度時，所述控制器停止在所述蝕刻區3中噴射噴淋液的減薄處理，并且控制所述玻璃加工治具4向所述沖洗區2移動。一般的，在所述腔室31內，減薄處理的具體工藝參數為：所述玻璃加工治具4的往復運動中單程單向時間設置為～4s，來回往復一次時間設置為3s～8s，往復移動幅度設置約為180mm左右；所述噴淋系統控制的噴淋液流量設置為1500lpm～2400lpm，在所述腔室31內的酸蝕溫度一般設置為20℃～40℃；在上述參數下，玻璃的酸蝕速...